一种机械手臂的辅助校准工具制造技术

本实用新型专利技术提供一种机械手臂的辅助校准工具，包括：机械手、校准工具及定位销，其中，机械手位于去胶机台的传送腔内，机械手包括固定柱及固定于固定柱上的机械手臂，机械手臂包括第一机械手臂部及第二机械手臂部，且第二机械手臂部上设有第一校准孔及第二校准孔；校准工具包括校准工具主体及卡板组，卡板组包括至少两个间隔预设距离的卡板，卡板固定于校准工具主体上，两个相邻卡板之间的间隙作为卡槽，且所述卡板上设有多个定位孔，第一校准孔及第二校准孔分别与卡板上的两个不同的定位孔相对应；定位销插入定位孔内。本实用新型专利技术的校准工具，提升了机械手臂的校准成功率，间接降低了晶圆的报废率，提高了机械手臂的校准效率。提高了机械手臂的校准效率。提高了机械手臂的校准效率。

【技术实现步骤摘要】
一种机械手臂的辅助校准工具


[0001]本技术涉及半导体制造领域，特别是涉及一种机械手臂的辅助校准工具。

技术介绍

[0002]在半导体制造过程中，需要对蚀刻的去胶机台进行定期维护保养，蚀刻的去胶机台在机台定期的维护保养中均要按期校准传送腔内机械手臂在原点的位置。目前对蚀刻的去胶机台中的机械手臂的校准，暂无针对性的校准工具，传统方法是直接通过钢尺立于一旁，通过肉眼去比对并读取相邻两个机械手臂之间的高度差，而且每调节一次机械手臂的高度便需要重新再读取一次当前高度，无法实时观察到当前高度，校准十分不便，且高度误差也较大，校准成功率低；并且由于传送腔体内空间较小，观察不便，使得校准工作更加困难。采用传统方法对去胶机台的机械手臂进行校准，校准速度变慢，容易导致去胶机台复机超时，且不能准确校准机械手臂，可能会导致后续晶圆在传输过程中发生刮伤，继而造成经济损失。
[0003]因此，急需一种校准速度快、校准成功率高的机械手臂的辅助校准工具。

技术实现思路

[0004]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种机械手臂的辅助校准工具，用于解决现有技术中机械手臂的校准速度低、校准成功率低的问题。
[0005]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种机械手臂的辅助校准工具，包括：
[0006]机械手，位于去胶机台的传送腔内，所述机械手包括固定柱及固定于所述固定柱上的机械手臂，所述机械手臂包括第一机械手臂部及第二机械手臂部，且所述第二机械手臂部上设有第一校准孔及第二校准孔；
[0007]校准工具，包括校准工具主体及卡板组，所述卡板组包括至少两个间隔预设距离的卡板，所述卡板固定于所述校准工具主体上，相邻两个所述卡板之间的间隙作为卡槽，且所述卡板上设有多个定位孔，所述第一校准孔及所述第二校准孔分别与所述卡板上的两个不同的所述定位孔相对应；
[0008]定位销，插入于所述定位孔内。
[0009]可选地，相邻所述卡板中的所述定位孔在垂直方向的投影一一对应。
[0010]可选地，所述卡槽的高度大于所述机械手臂的厚度。
[0011]可选地，所述卡槽的高度尺寸范围为3.2mm～6mm。
[0012]可选地，所述定位销的形状包括圆柱形。
[0013]可选地，所述定位销的截面尺寸不大于所述定位孔的截面尺寸。
[0014]可选地，所述定位孔的截面尺寸范围为2mm～20mm。
[0015]可选地，所述定位销的截面尺寸范围为1mm～18mm。
[0016]可选地，位于底层的所述卡板中的所述定位孔未贯穿所述卡板；
[0017]可选地，除位于底层所述卡板中的所有所述定位孔之外的所述定位孔贯穿所述卡板。
[0018]如上所述，本技术的机械手臂的辅助校准工具，具有以下有益效果：设计能够校准所述去胶机中所述机械手臂的所述校准工具，所述校准工具包括所述校准工具主体及所述卡板组，通过调节去胶机台使所述机械手臂插入所述校准工具的所述卡槽中，从而使相邻两个所述机械手臂之间的高度差得到校准，避免了相邻两个所述机械手臂的高度差不准确，导致工作的过程中晶圆受到损伤；通过使所述第一校准孔及所述第二校准孔分别与所述定位孔相对应，利用所述定位销插入所述定位孔及所述机械手臂上的所述第一校准孔与所述第二校准孔，继而使所述机械手臂的原点的位置得到了校准，提升了所述机械手臂的校准成功率，间接降低了晶圆的报废率；利用所述校准工具校准所述机械手臂，提高了所述机械手臂的校准速度，从之前的平均每批次15分钟缩短到每批次10分钟。此外，所述校准工具主体及所述定位销的材质采用硬质塑料，避免了对所述机械手臂产生磨损，且保证所述机械手臂不发生变形。
附图说明
[0019]图1显示为本技术的机械手臂的辅助校准工具的机械手的结构示意图。
[0020]图2显示为本技术的机械手臂的辅助校准工具的机械手臂的结构示意图。
[0021]图3显示为本技术的机械手臂的辅助校准工具的校准工具的结构示意图。
[0022]图4显示为本技术的机械手臂的辅助校准工具的去胶机台上调整机械手臂位置的菜单。
[0023]元件标号说明
[0024]1机械手
[0025]11固定柱
[0026]12机械手臂
[0027]121第一机械手臂部
[0028]122第二机械手臂部
[0029]122a第一校准孔
[0030]122b第二校准孔
[0031]2校准工具
[0032]21校准工具主体
[0033]22卡板组
[0034]221卡板
[0035]221a定位孔
[0036]23卡槽
[0037]3定位销
具体实施方式
[0038]以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。
[0039]请参阅图1至图4。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。
[0040]实施例一
[0041]本技术提供一种机械手臂的辅助校准工具，如图1、图2及图3所示，分别为所述机械手1的结构示意图、所述机械手臂12的结构示意图及所述校准工具2的结构示意图，包括：机械手1、校准工具2及定位销3，其中，所述机械手1位于去胶机台的传送腔内，所述机械手1包括固定柱11及固定于所述固定柱11上的机械手臂12，所述机械手臂12包括第一机械手臂部121及第二机械手臂部122，且所述第二机械手臂部122上设有第一校准孔122a及第二校准孔122b；所述校准工具2包括校准工具主体21及卡板组22，所述卡板组22包括至少两个间隔预设距离的卡板221，所述卡板221固定于所述校准工具主体21上，相邻两个所述卡板221之间的间隙作为卡槽23，且所述卡板221上设有多个定位孔221a，所述第一校准孔122a及所述第二校准孔122b分别与所述卡板221上的两个不同的所述定位孔221a相对应；所述定位销3插入所述定位孔221a内。
[0042]具体的，所述去胶机台(未图示)的类型可根据实际情况进行选择，在此不作限制。
[0043]具体的，所述第一校准孔122a贯穿所述第二机械手臂部122；所述第二校准孔122b贯穿所述第二机械手臂部122。
[004本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手臂的辅助校准工具，其特征在于，包括：机械手，位于去胶机台的传送腔内，所述机械手包括固定柱及固定于所述固定柱上的机械手臂，所述机械手臂包括第一机械手臂部及第二机械手臂部，且所述第二机械手臂部上设有第一校准孔及第二校准孔；校准工具，包括校准工具主体及卡板组，所述卡板组包括至少两个间隔预设距离的卡板，所述卡板固定于所述校准工具主体上，相邻两个所述卡板之间的间隙作为卡槽，且所述卡板上设有多个定位孔，所述第一校准孔及所述第二校准孔分别与所述卡板上的两个不同的所述定位孔相对应；定位销，插入于所述定位孔内。2.根据权利要求1所述的机械手臂的辅助校准工具，其特征在于：相邻所述卡板中的所述定位孔在垂直方向的投影一一对应。3.根据权利要求1所述的机械手臂的辅助校准工具，其特征在于：所述卡槽的高度大于所述机械手臂的厚度。4.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈辉堂，严超雄，李家明，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：