一种旋转靶材清理设备制造技术

本发明专利技术涉及旋转靶材领域，具体涉及一种旋转靶材清理设备。发明专利技术提供一种旋转靶材清理设备，设有供旋转靶材可拆卸地装入的安装夹具，安装夹具旁侧设有激光清理装置，激光清理装置朝已装入到安装夹具中的旋转靶材的相邻靶管之间的缝隙发射激光清理缝隙中的杂质。该清理设备能够自动清理旋转靶材中相邻靶管之间的缝隙中的杂质，无需生产人员手动清缝，清缝操作省时省力。作省时省力。作省时省力。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶材清理设备


[0001]本专利技术涉及旋转靶材领域，具体涉及一种旋转靶材清理设备。

技术介绍

[0002]旋转靶材通常由圆管状背管和绑定在背管外侧的并列排布的多段圆管状靶管组成。生产人员需要生产旋转靶材时，会先取来一段经过预处理的背管并使其竖置固定，然后取来一段待绑定的靶管使其从上往下套在背管下部外侧，靶管套在背管外侧后其轴线与背管轴线重合。靶管内径略大于背管外径，在靶管套住背管外侧后，靶管内侧壁与背管外侧壁之间会留空有空隙，生产人员需要往该空隙中倒入铟液等绑定液，绑定液填满空隙后逐渐降温凝固，这段靶管就在绑定液作用下绑定到背管上了。生产人员重复此操作，把多段待绑定的靶管由下往上逐段绑定到背管上，直至全部靶管都绑定完成，即可制得所需的旋转靶材。现有的旋转靶材在使用时会产生大量热量，故其绑定的多段靶管一般为间隔设置，即相邻的两段靶管之间留出缝隙备作热膨胀空间。在绑定靶管的过程中，部分绑定液容易渗入到该缝隙中，因此，生产人员在绑定完全部靶管后，需要用刮刀手动清理凝固在该缝隙中的固态绑定液等杂质。若旋转靶材尺寸较大或靶管较多，则清缝工作较为耗时耗力。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是提供一种旋转靶材清理设备，其能够自动清理旋转靶材中相邻靶管之间的缝隙中的杂质，无需生产人员手动清缝，清缝操作省时省力。
[0004]为解决上述问题，本专利技术提供一种旋转靶材清理设备，设有供旋转靶材可拆卸地装入的安装夹具，安装夹具旁侧设有激光清理装置，激光清理装置朝已装入到安装夹具中的旋转靶材的相邻靶管之间的缝隙发射激光清理缝隙中的杂质。
[0005]进一步地，所述安装夹具包括前夹持件和后夹持件，前夹持件和后夹持件这两者相向靠近夹持置于两者之间的所述旋转靶材。
[0006]进一步地，所述前夹持件和后夹持件之间设有第一导轨，前夹持件安装在第一导轨外而后夹持件安装在第一导轨上，后夹持件具体沿第一导轨移动实现两者相向靠近。
[0007]进一步地，所述前夹持件和后夹持件轴线重合，能够带动所夹持的旋转靶材一同绕轴线旋转。
[0008]进一步地，所述安装夹具包括用于驱动所述前夹持件旋转的驱转电机。
[0009]进一步地，包括设在所述安装夹具旁侧的第二导轨，所述激光清理装置安装在该第二导轨中，能够沿第二导轨相对安装夹具移动直至对准所述旋转靶材的缝隙。
[0010]进一步地，所述激光清理装置包括朝向所述安装夹具的吹气管，吹气管对装入到安装夹具中的所述旋转靶材吹气，把被激光清理出缝隙的杂质吹离旋转靶材表面。
[0011]进一步地，所述激光清理装置包括朝向所述安装夹具的照射灯。
[0012]进一步地，在所述安装夹具下方设有杂质回收槽。
[0013]有益效果：旋转靶材绑定完成后，生产人员把旋转靶材安装到清理设备的安装夹
具中，激光清理装置对准所装入的旋转靶材的相邻靶管之间的缝隙发射激光，便可清理缝隙中的杂质，省时省力，无需手动清缝。
附图说明
[0014]图1是清理设备的结构示意简图。
[0015]图2是旋转靶材安装到清理设备的结构示意简图。
[0016]图3是旋转靶材安装到清理设备的另一个视角的结构示意简图。
[0017]图4是旋转靶材安装到清理设备的左视图。
[0018]图5是沿图4中A
‑
A方向的剖视简图。
[0019]符号说明：
[0020]1‑
清理设备；11
‑
机座；12
‑
第二导轨；2
‑
旋转靶材；21
‑
靶管；22
‑
缝隙；3
‑
安装夹具；31
‑
前轴承座；32
‑
后轴承座；33
‑
第一导轨；34
‑
前夹持件；35
‑
后夹持件；36
‑
驱转电机；4
‑
激光清理装置；41
‑
内凹弧面；42
‑
激光发射头；43
‑
照射灯；44
‑
吹气管；5
‑
杂质回收槽。
具体实施方式
[0021]以下结合具体实施方式对本专利技术创造作进一步详细说明。
[0022]见图1，清理设备1包括前后横置的机座11，机座11顶面左侧设有安装夹具3而右侧设有激光清理装置4。如图2所示，待清理的旋转靶材2可拆卸地装入到安装夹具3后，激光清理装置4能够朝已装入到安装夹具3中的旋转靶材2的相邻靶管21之间的缝隙22发射激光从而清理缝隙22中的杂质。
[0023]见图2，安装夹具3包括居前的前轴承座31和居后的后轴承座32，前轴承座31和后轴承座32之间设有前后横置的两条相互平行的第一导轨33。前轴承座31固定安装在机座11顶面，位于第一导轨33前方；后轴承座32安装在两条第一导轨33上。后轴承座32配设有第一驱动电机(图中未示出)，在第一驱动电机驱动下能够沿第一导轨33前后移动从而靠近、远离前轴承座31。前轴承座31上安装有朝后伸出的前夹持件34而后轴承座32上安装有朝前伸出的后夹持件35，前夹持件34和后夹持件35这两者轴线重合。为了把待清理的旋转靶材2装入安装夹具3，生产人员需控制第一驱动电机，使其驱动后轴承座32连同安装在后轴承座32上的后夹持件35一同沿第一导轨33向后移动，从而如图1所示，让出供旋转靶材2装入的空间。生产人员把旋转靶材2置于前夹持件34和后夹持件35之间，然后启动第一驱动电机驱动后轴承座32连同后夹持件35一同沿第一导轨33向前移动，后夹持件35就靠近前夹持件34直至夹持置于两者之间的旋转靶材2，旋转靶材2就如图2所示，以可拆卸的方式装入到安装夹具3中了。夹持后的旋转靶材2，与前夹持件34、后夹持件35这两者轴线重合。后夹持件35能够绕轴线相对后轴承座32旋转而前夹持件34能够绕轴线相对前轴承座31旋转。在前轴承座31前侧设有驱转电机36，驱转电机36的转轴朝后伸出并驱转连接前夹持件34前部。在旋转靶材2被前夹持件34和后夹持件35共同夹持的状态下，驱转电机36转轴旋转则带动前夹持件34连同旋转靶材2、后夹持件35一同绕轴线旋转。
[0024]在安装夹具3右侧设有前后横置的间隔设置的两条第二导轨12，两条第二导轨12安装在机架顶面，与两条第一导轨33平行。激光清理装置4安装在这两条第二导轨12上；激光清理装置4配设有第二驱动电机(图中未示出)，在第二驱动电机驱动下能够沿第二导轨
12相对安装夹具3前后移动。见图3，激光清理装置4的朝向安装夹具3的左侧面为内凹弧面41，其上设有激光发射头42，激光发射头42朝左下伸出，对准已被安装夹具3夹持的旋转靶材2。需要清理已装入到安装夹具3上的旋转靶材2的杂质时，生产人员先如上所述通过驱转电机36(见图2)使旋转靶材2绕轴线旋转，然后通过第二驱动电机驱动激光清理装置4沿第二导轨12相对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材清理设备，其特征在于，设有供旋转靶材可拆卸地装入的安装夹具，安装夹具旁侧设有激光清理装置，激光清理装置朝已装入到安装夹具中的旋转靶材的相邻靶管之间的缝隙发射激光清理缝隙中的杂质。2.如权利要求1所述的清理设备，其特征在于，所述安装夹具包括前夹持件和后夹持件，前夹持件和后夹持件这两者相向靠近夹持置于两者之间的所述旋转靶材。3.如权利要求2所述的清理设备，其特征在于，所述前夹持件和后夹持件之间设有第一导轨，前夹持件安装在第一导轨外而后夹持件安装在第一导轨上，后夹持件具体沿第一导轨移动实现两者相向靠近。4.如权利要求2所述的清理设备，其特征在于，所述前夹持件和后夹持件轴线重合，能够带动所夹持的旋转靶材一同绕轴线旋转。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：周昭宇，李传银，陈常清，周志宏，
申请(专利权)人：广州市尤特新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：