一种金属支架表面的低温等离子体除锈方法技术

本申请提供了一种金属支架表面低温等离子体的除锈方法。传统除锈方法危害性大，污染严重，不利于工业生产。本申请提供的方法包括步骤S1:将所述金属支架放入反应腔室内；步骤S2:通过分子泵真空系统，将所述反应腔室内的气压降低至0.01

【技术实现步骤摘要】
一种金属支架表面的低温等离子体除锈方法


[0001]本申请涉及金属除锈领域，特别涉及一种金属支架表面的低温等离子体除锈方法。

技术介绍

[0002]金属铜、生铁、不锈钢、钴等金属是芯片加工、汽车发动机制造中广泛使用的金属部件，以上部件在使用过程中需要长期暴露于酸、碱、盐、有机、高湿等复杂环境中，作为活泼的3d过渡轻金属材料，其表面更容易产生锈层，因此为了提高金属部件的重复利用率，对表面含有锈渍的金属部件进行除锈是非常必要的。
[0003]传统的化学除锈法通常使用强酸，使其与锈渍中的主要成分金属氧化物/氢氧化物发生化学反应，生成可溶性盐类，从而达到除锈的目的。但在处理过程中，强酸同样会与金属基底反应生成氢气，导致金属表面出现缺陷、凹槽、甚至裂痕，严重影响其性能。同时，强酸的危害性极高、危险性极大，不利于工业生产的需求。虽然以强酸为基础，添加缓蚀剂、渗透剂、促进剂等除锈剂可降低强酸的危害性，例如CN103789775A公开了一种医疗器械除锈剂，该除锈剂是一种无色透明的温和弱酸性液体，不会刺激人体呼吸系统，危害性相对较低。CN10619187本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属支架表面低温等离子体的除锈方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：步骤S1：将所述金属支架放入反应腔室内；步骤S2:通过分子泵真空系统，将所述反应腔室内的气压降低至0.01
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0.1Pa；步骤S3:通过输气管路引入水蒸气或氢气并同时调节气氛流速，使所述反应腔室的气压维持在10
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100Pa，所述腔室具有多个腔室壁，所述水蒸气或氢气从所述多个腔室壁涌入形成等离子体流；步骤S4:调节放电功率与放电间距，开启辉光放电；步骤S5：对于锈渍严重并难以去除的凹槽区域，调节等离子体流的通气位置与放电电极位置，开启辉光放电，以实现对锈迹处的吹扫，实现高效除锈。2.根据权利要求1所述的金属表面除锈方法，其特征在于，所述气氛流速为10
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150sccm。...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳博，孙超，阚二军，朱吉鹏，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：发明
国别省市：