一种X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统及装置制造方法及图纸

技术编号:37811456 阅读:11 留言:0更新日期:2023-06-09 09:41
本发明专利技术公开一种X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统及装置,涉及X射线技术领域;待测样品放置在样品台上;所述同步联用系统通过X射线光源子系统向待测样品发射X射线;待测样品对X射线进行衍射形成衍射信号;X射线激发待测样品形成荧光信号;XRF探测子系统与计算机连接,XRF探测子系统根据所述荧光信号得到荧光光谱;XRD探测子系统与计算机连接,设置在所述衍射信号的传输光路上,XRD探测子系统根据所述衍射信号得到X射线衍射结果;本发明专利技术实现了对待测样品的同一位置的XRD衍射和XRF荧光光谱的同步测试。光谱的同步测试。光谱的同步测试。

【技术实现步骤摘要】
一种X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统及装置


[0001]本专利技术涉及X射线
,特别是涉及一种X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用装置。

技术介绍

[0002]X射线是波长在0.01

10mm范围内的电磁波,利用X射线与物质之间的相互作用,发展出了X射线吸收谱、荧光光谱、光电子能谱、散射和衍射等分析方法。其中X射线衍射(XRD,X

RayDiffraction)是利用X射线照射在具有周期结构的晶体后会发生衍射,从而精确测定物质的晶体结构、织构及应力;X射线荧光光谱分析(XRF,X

RayFluorescence)是利用不同元素吸收X射线后会发出不同能量的荧光(X射线)的原理,定性或定量测定物质的元素组成。这两种方法被广泛用于科学研究、检验检测以及企业对产品的质量控制等方面。
[0003]通常这两种方法都使用独立的仪器进行测试,分别为X射线衍射仪和X射线荧光光谱仪。XRD可以得到X射线结果从而解析出物质的种类和晶相,但是由于往往比较类似的元素组成的同类物质衍射数据十分接近,比较难以区分。XRF则可以得到X射线荧光光谱从而解析出物质的元素组成,但是无法获知元素的化合价即物质的晶相。因此这两种方法通常一起使用,经过彼此验证能够更容易解析出物质的组成,所以很多分析测试部门需要配备两种仪器。
[0004]但是现有技术中多为两种方法进行独立测试得到结果进而进行分析,效率不高,亟需一种X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用仪器。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是提供一种X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统及装置,实现了对待测样品的同一位置的XRD衍射和XRF荧光光谱的同步测试。
[0006]为实现上述目的,本专利技术提供了如下方案:
[0007]一种X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统;待测样品放置在样品台上;所述X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统包括:
[0008]X射线光源子系统,用于向所述待测样品发射X射线;所述待测样品对所述X射线进行衍射形成衍射信号;所述X射线激发所述待测样品形成荧光信号;
[0009]XRF探测子系统,设置在所述样品台上,用于根据所述荧光信号得到荧光光谱;所述样品台设置在所述X射线的传输光路上;
[0010]XRD探测子系统,设置在所述衍射信号的传输光路上,用于根据所述衍射信号得到X射线衍射结果。
[0011]可选地,所述X射线光源子系统包括:
[0012]X射线光源发射器,用于向所述待测样品发射X射线;
[0013]X射线光源支架,用于固定所述X射线光源发射器。
[0014]可选地,其特征在于,所述XRF探测子系统包括:
[0015]XRF探测器,用于根据所述荧光信号得到荧光光谱;
[0016]XRF探测器支架,设置在所述样品台上,用于固定所述XRF探测器。
[0017]可选地,所述XRF探测器为Si

PIN探测器或SDD探测器。
[0018]可选地,所述XRD探测子系统包括:
[0019]XRD探测器,设置在所述衍射信号的传输光路上,用于根据所述衍射信号得到X射线衍射结果;
[0020]XRD探测器支架,用于固定所述XRD探测器。
[0021]可选地,所述XRD探测器为一维阵列探测器或二维阵列探测器。
[0022]可选地,所述一种X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统还包括:
[0023]安全壳体,内部设有所述X射线光源子系统、XRF探测子系统和XRD探测子系统。
[0024]为实现上述目的,本专利技术还提供了如下方案:
[0025]一种X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用装置,所述X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用装置包括:
[0026]上述的X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统;
[0027]样品台,用于放置待测样品;且所述X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统的XRF探测子系统设置在所述样品台上;所述X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统的X射线光源子系统用于向所述样品台上的所述待测样品发射X射线;所述待测样品对所述X射线进行衍射形成衍射信号;所述X射线激发所述待测样品形成荧光信号;
[0028]计算机,与所述X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统的XRF探测子系统和XRD探测子系统连接,所述XRF探测子系统用于根据所述荧光信号得到荧光光谱,所述XRD探测子系统用于根据所述衍射信号得到X射线衍射结果;所述计算机用于根据所述荧光光谱和所述X射线衍射结果得到物质组成数据。
[0029]根据本专利技术提供的具体实施例,本专利技术公开了以下技术效果:
[0030]本专利技术一种X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统;通过X射线光源子系统向所述待测样品发射X射线;所述待测样品对所述X射线进行衍射形成衍射信号;所述X射线激发所述待测样品形成荧光信号;通过XRF探测子系统根据所述荧光信号得到荧光光谱;通过XRD探测子系统根据所述衍射信号得到X射线衍射结果;本专利技术实现了对待测样品的同一位置的XRD衍射和XRF荧光光谱的同步测试。
附图说明
[0031]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0032]图1为本专利技术X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统的结构示意图;
[0033]图2为本专利技术X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用装置的结构示意图;
[0034]图3为本专利技术X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统的实施例示意图。
[0035]符号说明:
[0036]待测样品

1,样品台

2,X射线光源子系统

3,X射线光源发射器

31,X射线光源支


32,XRF探测子系统

4,XRF探测器

41,XRF探测器支架

42,XRD探测子系统

5,XRD探测器

51,XRF探测器支架

52,安全壳体

6,计算机

7。
具体实施方式
[0037]下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。
[0038]本专利技术的目的是提供一种X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统及装置,实现了对待测样品的同一位本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统,其特征在于,待测样品放置在样品台上;所述X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统包括:X射线光源子系统,用于向所述待测样品发射X射线;所述待测样品对所述X射线进行衍射形成衍射信号;所述X射线激发所述待测样品形成荧光信号;XRF探测子系统,设置在所述样品台上,用于根据所述荧光信号得到荧光光谱;所述样品台设置在所述X射线的传输光路上;XRD探测子系统,设置在所述衍射信号的传输光路上,用于根据所述衍射信号得到X射线衍射结果。2.根据权利要求1所述的一种X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统,其特征在于,所述X射线光源子系统包括:X射线光源发射器,用于向所述待测样品发射X射线;X射线光源支架,用于固定所述X射线光源发射器。3.根据权利要求1所述的一种X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统,其特征在于,所述XRF探测子系统包括:XRF探测器,用于根据所述荧光信号得到荧光光谱;XRF探测器支架,设置在所述样品台上,用于固定所述XRF探测器。4.根据权利要求3所述的一种X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统,其特征在于,所述XRF探测器为Si

PIN探测器或SDD探测器。5.根据权利要求1所述的一种X射线衍射和X射线荧光光谱同步联用系统,其特征在于,所述XRD探测子系统包括:XRD探测器,设置在所述衍射信号的传输光路上,用于根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:张吉东宋新月张楠韩昕彤
申请(专利权)人:苏州锂影科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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