一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮及其锁定方法技术

本发明专利技术涉及硅片花篮领域，具体涉及一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮及其锁定方法。本发明专利技术提供了一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮及其锁定方法，包括：花篮本体；两锁定机构，锁定机构一端与花篮本体转动连接；以及花篮本体上具有上片工位和定位工位；其中上片时，锁定机构转动至上片工位，花篮本体的开口侧打开，硅片依次叠放在花篮本体内；锁定时，锁定机构转动至定位工位，锁定机构关闭花篮本体的开口侧。硅片上片后，连接件带动锁定杆转动至硅片的一侧，从而阻挡硅片向外滑落。连接件转动至定位工位后，滑动块能够沿滑动槽滑动至将锁定钩卡紧。通过扭簧能够拉动锁定钩向上片工位方向转动，以使锁定钩保持与滑动块卡接的状态。状态。状态。

【技术实现步骤摘要】
一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮及其锁定方法


[0001]本专利技术涉及硅片花篮领域，具体涉及一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮及其锁定方法。

技术介绍

[0002]随着市场硅片的变化，硅片日益薄片化。硅片在清洗或者烘干的过程中通常都需要专门的硅片花篮来承载硅片。但是，由于现有技术中，硅片花篮都是开口设置的，加上硅片本身既薄又脆。造成硅片在转运时，若发生机械故障，硅片有可能会从硅片花篮会与花篮碰撞，造成碎片，甚至从花篮上滑出。因此，设计一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮是必要的。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮及其锁定方法，以解决上述问题。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术提供了一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮，包括：花篮本体，所述花篮本体上适于放置若干硅片；两锁定机构，两所述锁定机构分别镜像设置在所述花篮本体两侧，所述锁定机构一端与所述花篮本体转动连接；以及所述花篮本体上具有上片工位和定位工位；其中上片时，所述锁定机构转动至所述上片工位，所述花篮本体的开口侧打开，硅片依次叠放在所述花篮本体内；锁定时，所述锁定机构转动至所述定位工位，所述锁定机构关闭所述花篮本体的开口侧。
[0005]进一步地，所述锁定机构包括两连接件和设置在两连接件之间的锁定杆；两所述连接件镜像设置在所述花篮本体的两端，所述连接件一端与所述花篮本体转动连接；所述锁定杆两端分别与两所述连接件的一侧固定；其中所述连接件转动至所述上片工位时，所述锁定杆位于所述花篮本体外侧，以打开所述花篮本体的开口侧；所述连接件转动至所述定位工位时，所述锁定杆位于所述花篮本体内侧，以关闭所述花篮本体的开口侧。
[0006]进一步地，所述连接件朝向所述花篮本体的一侧开设有摆动槽，所述摆动槽与所述花篮本体相对应；其中所述连接件绕转轴转动至摆动槽的槽底与所述花篮本体抵接时，所述连接件到达定位工位。
[0007]进一步地，所述花篮本体上开设有若干滑动槽，所述滑动槽内设置有滑动块，所述滑动块滑动设置在所述滑动槽内；
所述连接件一侧设置有锁定钩，所述锁定钩与所述滑动块相对应；其中所述连接件转动至定位工位时，所述滑动块转动至滑动槽靠近所述连接件的一端，以锁定所述连接件。
[0008]进一步地，所述滑动槽两侧镜像开设有限位槽，所述滑动块两侧镜像设置有限位块；所述限位块与所述限位槽相对应。
[0009]进一步地，所述花篮本体上设置有若干定位柱，所述锁定机构一端与所述定位柱与转动连接。
[0010]进一步地，所述定位柱上还设置有扭簧，所述扭簧一端与所述定位柱连接，另一端与所述锁定机构连接。
[0011]进一步地，所述花篮本体包括顶板、底板和两叠料板；两所述叠料板镜像设置在所述顶板和所述底板之间；所述叠料板内侧壁设置有若干放置板。
[0012]进一步地，各所述放置板沿所述叠料板高度方向均匀设置。
[0013]此外，本专利技术还提供了一种锁定方法。包括上文所述的一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮，具体如下：上片时，所述连接件转动至所述上片工位，以打开所述花篮本体的开口侧，硅片依次叠放在所述花篮本体内；锁定时，所述连接件转动至所述定位工位，以关闭所述花篮本体的开口侧。
[0014]相对于现有技术，本专利技术具有以下有益效果：1、硅片上片后，连接件带动锁定杆转动至硅片的一侧，从而阻挡硅片向外滑落。2、连接件转动至定位工位后，滑动块能够沿滑动槽滑动至将锁定钩卡紧。3、通过扭簧能够拉动锁定钩向上片工位方向转动，以使锁定钩保持与滑动块卡接的状态。
附图说明
[0015]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。
[0016]图1示出了本专利技术的一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮的立体图；图2示出了本专利技术的花篮本体的剖视图；图3示出了本专利技术的锁定机构的俯视图；图4示出了本专利技术的滑动槽的剖视图。
[0017]图中：1、花篮本体；11、滑动槽；111、限位槽；12、滑动块；121、限位块；13、定位柱；14、扭簧；15、顶板；16、底板；17、叠料板；171、放置板；2、锁定机构；21、连接件；211、摆动槽；22、锁定杆；23、锁定钩。
具体实施方式
[0018]现在结合附图对本专利技术做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本专利技术的基本结构，因此其仅显示与本专利技术有关的构成。
[0019]实施例一，如图1至4所示，本实施例提供了一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮，包括：花篮本体1和两锁定机构2。花篮本体1上适于放置若干硅片。两锁定机构2适于打
开或者关闭花篮本体1的开口侧。针对上述部件，下面进行一一详述。
[0020]花篮本体1，花篮本体1整体呈框架状，花篮本体1的一侧开口设置，以便于硅片能够从该开口侧插入花篮本体1内。
[0021]需要说明的是，由于现有技术中，硅片花篮也都是开口设置的，加上硅片本身既薄又脆。造成硅片在转运时，若发生机械故障，硅片有可能会与花篮碰撞，造成碎片，甚至从花篮上滑出。因此，本实施例中通过设置锁定机构2来解决上述问题。
[0022]锁定机构2，锁定机构2分别镜像设置在花篮本体1两侧，且靠近花篮本体1的开口侧。锁定机构2的一端与花篮本体1转动连接，以使锁定机构2整体能够绕与花篮本体1的转动部分摆动。此外，所述花篮本体1上具有上片工位和定位工位。通过上述设置，使得在对硅片上片时，操作者能够操控锁定机构2转动至上片工位，此时锁定机构2呈现向花篮本体1两侧打开的状态，也即花篮本体1的开口侧呈打开状态，硅片能够依次叠放在花篮本体1内；在对硅片转运时，需对花篮本体1的开口侧关闭，操作者能够操控锁定机构2转动至定位工位，此时锁定机构2呈现向花篮本体1的开口侧收缩的状态，也即花篮本体1的开口侧呈关闭状态。此外，还需要注意的是，上述将花篮本体1的开口侧关闭并不是指完全封闭花篮本体1的开口侧，而是当硅片上片后，两锁定机构2能够转动至之间的距离缩短为小于硅片的宽度，以使硅片无法从两锁定机构2之间脱出花篮本体1。
[0023]下面具体说明锁定机构2的结构，所述锁定机构2包括两连接件21和设置在两连接件21之间的锁定杆22。两所述连接件21镜像设置在所述花篮本体1的两端，所述连接件21一端与所述花篮本体1转动连接。所述锁定杆22两端分别与两所述连接件21的一侧固定。两连接杆能够将锁定杆22定位在花篮本体1上，以使锁定杆22通过连接杆正确绕花篮本体1转动。上片工位位于连接杆带动锁定杆22向外打开的最大行程处，所述连接件21转动至所述上片工位时，所述锁定杆22位于所述花篮本体1外侧，以打开所述花篮本体1的开口侧。定位工位位于连接杆带动锁定杆22向内收缩的最大行程处，具体来说，所述连接件21朝向所述花篮本体1的一侧开设有摆动槽211，所述摆动槽211与所述花篮本体1相对应。所述连接件21绕转轴转动至摆动槽211的槽底与所述花篮本体1抵接时，所述连接件21到达定位工位。所述连接件21转动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮，其特征在于，包括：花篮本体（1），所述花篮本体（1）上适于放置若干硅片；两锁定机构（2），两所述锁定机构（2）分别镜像设置在所述花篮本体（1）两侧，所述锁定机构（2）一端与所述花篮本体（1）转动连接；以及所述花篮本体（1）上具有上片工位和定位工位；其中上片时，所述锁定机构（2）转动至所述上片工位，所述花篮本体（1）的开口侧打开，硅片依次叠放在所述花篮本体（1）内；锁定时，所述锁定机构（2）转动至所述定位工位，所述锁定机构（2）关闭所述花篮本体（1）的开口侧。2.如权利要求1所述的具有锁定结构的高稳定性硅片花篮，其特征在于，所述锁定机构（2）包括两连接件（21）和设置在两连接件（21）之间的锁定杆（22）；两所述连接件（21）镜像设置在所述花篮本体（1）的两端，所述连接件（21）一端与所述花篮本体（1）转动连接；所述锁定杆（22）两端分别与两所述连接件（21）的一侧固定；其中所述连接件（21）转动至所述上片工位时，所述锁定杆（22）位于所述花篮本体（1）外侧，以打开所述花篮本体（1）的开口侧；所述连接件（21）转动至所述定位工位时，所述锁定杆（22）位于所述花篮本体（1）内侧，以关闭所述花篮本体（1）的开口侧。3.如权利要求2所述的具有锁定结构的高稳定性硅片花篮，其特征在于，所述连接件（21）朝向所述花篮本体（1）的一侧开设有摆动槽（211），所述摆动槽（211）与所述花篮本体（1）相对应；其中所述连接件（21）绕转轴转动至摆动槽（211）的槽底与所述花篮本体（1）抵接时，所述连接件（21）到达定位工位。4.如权利要求3所述的具有锁定结构的高稳定性硅片花篮，其特征在于，所述花篮本体（1）上开设有若干滑动槽（11），所述滑动槽（11）内设置有滑动块（12），所述滑动...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱军平，
申请(专利权)人：常州科讯精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：