本实用新型专利技术公开了一种片篮定位装置，涉及晶圆片篮领域，针对在目前市面上的片篮定位装置因一个装置只能定位一个片篮，所以生产效率较低，因定位装置需要经常放在溶液中，所以长时间使用后会产生大量的腐蚀，影响定位效果的问题，现提出如下方案，其包括两个片篮框，所述片篮框的下端连接有片篮脚，所述片篮脚的外侧一侧滑动连接有呈E型的第一定位板，所述片篮脚的外侧另一侧滑动连接有呈E型的第二定位板。本实用新型专利技术该装置为了提高生产效率，我们设计了同时能载两盒片篮的定位机构，将定位装置设置为PTEE材质，此材质拥有耐高低温，耐腐蚀的特性，防止长时间使用后会产生大量的腐蚀。蚀。蚀。
【技术实现步骤摘要】
一种片篮定位装置
[0001]本技术涉及晶圆片篮领域，具体为一种片篮定位装置。
技术介绍
[0002]12寸、8寸及以下晶圆在腐蚀清洗时，为了提高生产效率，将多片晶圆预先放置在片篮中，以片篮为单位进行批量生产。清洗腐蚀过程中，为获得更好的清洗效果，会将载有晶圆的片篮直接放在带有循环流动的清洗槽腐蚀溶液中进行清洗腐蚀。槽中的溶液液循环时，由外置的外槽到内槽循环流动，循环过程中。溶液均匀的流经晶圆表面。片篮在清洗槽中需要进行定位，定位要求具有一定的位置精度和一致性，并且在清洗或腐蚀液流动中，保持既定的姿态不得移动。在清洗槽中保持定位稳定，会提高工艺处理的稳定性；
[0003]在目前市面上的片篮定位装置因一个装置只能定位一个片篮，所以生产效率较低，因定位装置需要经常放在溶液中，所以长时间使用后会产生大量的腐蚀，影响定位效果，且单个进行定位也增加了操作流程，为此我们提出一种片篮定位装置来解决上述问题。
技术实现思路
[0004]本技术提出的一种片篮定位装置，解决了在目前市面上的片篮定位装置因一个装置只能定位一个片篮，所以生产效率较低，因定位装置需要经常放在溶液中，所以长时间使用后会产生大量的腐蚀，影响定位效果，且单个进行定位也增加了操作流程的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种片篮定位装置，包括两个片篮框，所述片篮框的下端连接有片篮脚，所述片篮脚的外侧一侧滑动连接有呈E型的第一定位板，所述片篮脚的外侧另一侧滑动连接有呈E型的第二定位板，所述第一定位板的中间一侧连接有固定板，所述固定板的一侧连接有丝杆，所述第二定位板的中间开设有移动孔，所述移动孔的一侧转动连接有第一旋钮，所述第一旋钮套设在丝杆的外侧，所述丝杆的一端连接有限位板。
[0007]优选的，所述第一定位板的上端两侧开设有两个第一固定槽，所述第二定位板的上端两侧开设有两个第一固定槽，所述第一固定槽的内部下端开设有直槽孔。
[0008]优选的，所述第一定位板的两侧连接有两个定位杆，所述第二定位板的两侧开设有定位孔，所述定位杆设置在定位孔的内部，呈滑动连接。
[0009]优选的，所述定位孔的侧面开设有固定孔，所述固定孔的内部设置有第一内螺纹，还包括第二旋钮，所述第二旋钮的两侧连接有两个第一侧杆。
[0010]优选的，所述第二旋钮的一侧连接有固定杆，所述固定杆设置在固定孔的内部，所述固定杆的外侧套设有外螺纹，所述外螺纹与第一内螺纹连接。
[0011]优选的，所述固定杆的一端开设有圆槽，所述圆槽设置在定位杆的外侧，呈活动连接。
[0012]优选的，所述移动孔的一端开设有第二固定槽，所述固定板设置在第二固定槽的内部，呈活动连接，所述移动孔的另一端连接有限位杆。
[0013]优选的，所述限位杆的一侧连接有限位环，所述第一旋钮的一端开设有限位孔，所述限位孔的内部顶端开设有限位槽，所述第一旋钮的两侧连接有两个第二侧杆。
[0014]优选的，所述限位槽的一侧开设有第二内螺纹，所述第二内螺纹套设在丝杆的外侧，所述限位环设置在限位槽的内部，呈转动连接，所述限位杆设置在限位孔的内部，呈转动连接。
[0015]本技术的有益效果为：
[0016]1、本片篮定位装置为了提高生产效率，我们设计了同时能载两盒片篮的定位机构，极大地提高了生产效率。
[0017]2、本片篮定位装置将定位装置设置为PTEE材质，此材质拥有耐高低温，耐腐蚀的特性，防止长时间使用后会产生大量的腐蚀，影响定位效果。
[0018]综上所述，该装置为了提高生产效率，我们设计了同时能载两盒片篮的定位机构，极大地提高了生产效率，将定位装置设置为PTEE材质，此材质拥有耐高低温，耐腐蚀的特性，防止长时间使用后会产生大量的腐蚀。
附图说明
[0019]图1为本技术的前面视角结构示意图。
[0020]图2为本技术的定位机构结构示意图。
[0021]图3为本技术的第一定位板上面结构示意图。
[0022]图4为本技术的第二定位板剖面结构示意图。
[0023]图5为本技术的第二定位板上面结构示意图。
[0024]图6为本技术的第二旋钮视角结构示意图。
[0025]图7为本技术的第一旋钮视角结构示意图。
[0026]图中标号：1、片篮框；2、第一定位板；3、第二定位板；4、第一旋钮；5、第二旋钮；6、第一固定槽；7、定位杆；8、固定板；9、丝杆；10、限位板；11、定位孔；12、固定孔；13、第一内螺纹；14、第二固定槽；15、移动孔；16、限位杆；17、限位环；18、第一侧杆；19、固定杆；20、圆槽；21、外螺纹；22、第二侧杆；23、第二内螺纹；24、限位槽；25、限位孔；26、片篮脚。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0028]参照图1
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图7所示，本实施例提供一种片篮定位装置，包括两个片篮框1，片篮框1的下端连接有片篮脚26，片篮脚26的外侧一侧滑动连接有呈E型的第一定位板2，第一定位板2为PTEE材质，片篮脚26的外侧另一侧滑动连接有呈E型的第二定位板3，第二定位板3为PTEE材质，第一定位板2的中间一侧连接有固定板8，固定板8的一侧连接有丝杆9，第二定位板3的中间开设有移动孔15，移动孔15的一侧转动连接有第一旋钮4，第一旋钮4套设在丝杆9的外侧，丝杆9的一端连接有限位板10，两个定位板用于固定住片篮脚26。
[0029]如图2
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图5所示，第一定位板2的上端两侧开设有两个第一固定槽6，第二定位板3的上端两侧开设有两个第一固定槽6，第一固定槽6的内部下端开设有直槽孔，第一定位板2
的两侧连接有两个定位杆7，第二定位板3的两侧开设有定位孔11，定位杆7设置在定位孔11的内部，呈滑动连接，定位孔11的侧面开设有固定孔12，固定孔12的内部设置有第一内螺纹13，还包括第二旋钮5，第二旋钮5的两侧连接有两个第一侧杆18，第二旋钮5的一侧连接有固定杆19，固定杆19设置在固定孔12的内部，固定杆19的外侧套设有外螺纹21，外螺纹21与第一内螺纹13连接，固定杆19的一端开设有圆槽20，圆槽20设置在定位杆7的外侧，呈活动连接，圆槽20用于挤压定位杆7，达到固定的目的。
[0030]如图6
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图7所示，移动孔15的一端开设有第二固定槽14，固定板8设置在第二固定槽14的内部，呈活动连接，移动孔15的另一端连接有限位杆16，限位杆16的一侧连接有限位环17，第一旋钮4的一端开设有限位孔25，限位孔25的内部顶端开设有限位槽24，第一旋钮4的两侧连接有两个第二侧杆22，限位槽24的一侧开设有第二内螺纹23，第二内螺纹23套设在丝杆9的外本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种片篮定位装置，包括两个片篮框(1)，其特征在于，所述片篮框(1)的下端连接有片篮脚(26)，所述片篮脚(26)的外侧一侧滑动连接有呈E型的第一定位板(2)，所述第一定位板(2)为PTEE材质，所述片篮脚(26)的外侧另一侧滑动连接有呈E型的第二定位板(3)，所述第二定位板(3)为PTEE材质，所述第一定位板(2)的中间一侧连接有固定板(8)，所述固定板(8)的一侧连接有丝杆(9)，所述第二定位板(3)的中间开设有移动孔(15)，所述移动孔(15)的一侧转动连接有第一旋钮(4)，所述第一旋钮(4)套设在丝杆(9)的外侧，所述丝杆(9)的一端连接有限位板(10)。2.根据权利要求1所述的一种片篮定位装置，其特征在于，所述第一定位板(2)的上端两侧开设有两个第一固定槽(6)，所述第二定位板(3)的上端两侧开设有两个第一固定槽(6)，所述第一固定槽(6)的内部下端开设有直槽孔。3.根据权利要求1所述的一种片篮定位装置，其特征在于，所述第一定位板(2)的两侧连接有两个定位杆(7)，所述第二定位板(3)的两侧开设有定位孔(11)，所述定位杆(7)设置在定位孔(11)的内部，呈滑动连接。4.根据权利要求3所述的一种片篮定位装置，其特征在于，所述定位孔(11)的侧面开设有固定孔(12)，所述固定孔(12)的内部设置有第一内螺纹(13)，还包括第二旋钮(5)，所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：李勇刚，周浩，刘凯，张萍，李玉萍，
申请(专利权)人：河北广创电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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