一种片篮定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种片篮定位装置，涉及晶圆片篮领域，针对在目前市面上的片篮定位装置因一个装置只能定位一个片篮，所以生产效率较低，因定位装置需要经常放在溶液中，所以长时间使用后会产生大量的腐蚀，影响定位效果的问题，现提出如下方案，其包括两个片篮框，所述片篮框的下端连接有片篮脚，所述片篮脚的外侧一侧滑动连接有呈E型的第一定位板，所述片篮脚的外侧另一侧滑动连接有呈E型的第二定位板。本实用新型专利技术该装置为了提高生产效率，我们设计了同时能载两盒片篮的定位机构，将定位装置设置为PTEE材质，此材质拥有耐高低温，耐腐蚀的特性，防止长时间使用后会产生大量的腐蚀。蚀。蚀。

【技术实现步骤摘要】
一种片篮定位装置


[0001]本技术涉及晶圆片篮领域，具体为一种片篮定位装置。

技术介绍

[0002]12寸、8寸及以下晶圆在腐蚀清洗时，为了提高生产效率，将多片晶圆预先放置在片篮中，以片篮为单位进行批量生产。清洗腐蚀过程中，为获得更好的清洗效果，会将载有晶圆的片篮直接放在带有循环流动的清洗槽腐蚀溶液中进行清洗腐蚀。槽中的溶液液循环时，由外置的外槽到内槽循环流动，循环过程中。溶液均匀的流经晶圆表面。片篮在清洗槽中需要进行定位，定位要求具有一定的位置精度和一致性，并且在清洗或腐蚀液流动中，保持既定的姿态不得移动。在清洗槽中保持定位稳定，会提高工艺处理的稳定性；
[0003]在目前市面上的片篮定位装置因一个装置只能定位一个片篮，所以生产效率较低，因定位装置需要经常放在溶液中，所以长时间使用后会产生大量的腐蚀，影响定位效果，且单个进行定位也增加了操作流程，为此我们提出一种片篮定位装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术提出的一种片篮定位装置，解决了在目前市面上的片篮定位装置因一个装置只能定位一个片篮，所以生产效率较低本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种片篮定位装置，包括两个片篮框(1)，其特征在于，所述片篮框(1)的下端连接有片篮脚(26)，所述片篮脚(26)的外侧一侧滑动连接有呈E型的第一定位板(2)，所述第一定位板(2)为PTEE材质，所述片篮脚(26)的外侧另一侧滑动连接有呈E型的第二定位板(3)，所述第二定位板(3)为PTEE材质，所述第一定位板(2)的中间一侧连接有固定板(8)，所述固定板(8)的一侧连接有丝杆(9)，所述第二定位板(3)的中间开设有移动孔(15)，所述移动孔(15)的一侧转动连接有第一旋钮(4)，所述第一旋钮(4)套设在丝杆(9)的外侧，所述丝杆(9)的一端连接有限位板(10)。2.根据权利要求1所述的一种片篮定位装置，其特征在于，所述第一定位板(2)的上端两侧开设有两个第一固定槽(6)，所述第二定位板(3)的上端两侧开设有两个第一固定槽(6)，所述第一固定槽(6)的内部下端开设有直槽孔。3.根据权利要求1所述的一种片篮定位装置，其特征在于，所述第一定位板(2)的两侧连接有两个定位杆(7)，所述第二定位板(3)的两侧开设有定位孔(11)，所述定位杆(7)设置在定位孔(11)的内部，呈滑动连接。4.根据权利要求3所述的一种片篮定位装置，其特征在于，所述定位孔(11)的侧面开设有固定孔(12)，所述固定孔(12)的内部设置有第一内螺纹(13)，还包括第二旋钮(5)，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：李勇刚，周浩，刘凯，张萍，李玉萍，
申请(专利权)人：河北广创电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：