一种高精度硅片花篮制造技术

本实用新型专利技术涉及花篮技术领域，具体涉及一种高精度硅片花篮。本实用新型专利技术提供了一种高精度硅片花篮，两端盖板和若干侧挡杆，两所述端盖板对称设置，且每所述端盖板上开设有与所述侧挡杆相适配的定位槽；每两所述侧挡杆对称设置，且所述侧挡杆的两端分别与两所述端盖板相抵；其中，侧挡杆的两端分别插入两所述定位槽内后，90

【技术实现步骤摘要】
一种高精度硅片花篮


[0001]本技术涉及花篮
，具体涉及一种高精度硅片花篮。

技术介绍

[0002]花篮是一种广泛应用于太阳能电池、IC芯片、LED芯片等半导体制造领域的生产制具，花篮主要用于晶片的存放、蚀刻、搬运等，花篮主要包含方形花篮和圆形花篮。但是，现有技术中的花篮大多是针对一种尺寸规格的硅片进行设计的，若要清洗不同尺寸规格的硅片则需要用到不同尺寸规格的硅片花篮。因此，太阳能电池生产企业通常需要购置大量不同尺寸规格的硅片花篮以满足不同规格太阳能电池用硅片的生产需求，无形中增加了企业的设备投资成本；另外，对于没有正在进行生产加工的硅片还会导致相应硅片花篮的闲置，大量闲置的硅片花篮需要占用较大的存储空间。因此，研发一种高精度硅片花篮是很有必要的。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种高精度硅片花篮，以解决上述问题。
[0004]为了实现上述目的，本技术实施例提供了一种高精度硅片花篮，包括
[0005]两端盖板和若干侧挡杆，两所述端盖板对称设置，且每所述端盖板上开设有与所述侧挡杆相适配的定位槽；<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度硅片花篮，其特征在于，包括：两端盖板(1)和若干侧挡杆(2)，两所述端盖板(1)对称设置，且每所述端盖板(1)上开设有与所述侧挡杆(2)相适配的定位槽(10)；每两所述侧挡杆(2)对称设置，且所述侧挡杆(2)的两端分别与两所述端盖板(1)相抵；其中，侧挡杆(2)的两端分别插入两所述定位槽(10)内后，90
°
转动所述侧挡杆(2)，以使所述侧挡杆(2)与所述端盖板(1)固定连接。2.如权利要求1所述的一种高精度硅片花篮，其特征在于，所述侧挡杆(2)的一侧沿长度方向等间距固定有若干固定齿(20)，所述固定齿(20)适于限位硅片。3.如权利要求2所述的一种高精度硅片花篮，其特征在于，所述侧挡杆(2)的两端分别固定有一定位块(21)，所述定位块(21)凸出所述侧挡杆(2)的侧壁，且所述定位块(21)的延伸方向与所述固定齿(20)的方向相反。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：邱军平，
申请(专利权)人：常州科讯精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：