石英舟及扩散炉制造技术

本申请涉及光伏技术领域，具体而言，涉及一种石英舟及扩散炉。石英舟，包括：舟托以及多个硅片承载单元；多个硅片承载单元沿舟托的长度方向依次可拆卸安装于舟托上。其中，每个硅片承载单元均包括两个挡架以及至少两个连接杆，两个挡架沿舟托的宽度方向间隔设置，每个连接杆的相对两端均分别与两个挡架连接；沿舟托的宽度方向，至少两个连接杆上间隔设置有一一对应的用于卡设硅片的多个卡槽。本申请的石英舟有利于避免硅片的正面和背面受到扩散气体的挤压力而导致硅片的与卡槽接触的位置发生晶格缺陷甚至硅片发生碎片现象，也有利于避免在扩散炉高温环境下硅片的正面和背面的中部区域由于受到重力作用而导致硅片表面发生弯曲甚至碎片的现象。弯曲甚至碎片的现象。弯曲甚至碎片的现象。

【技术实现步骤摘要】
石英舟及扩散炉


[0001]本申请涉及光伏
，具体而言，涉及一种石英舟及扩散炉。

技术介绍

[0002]扩散是制备太阳能电池过程中的一个非常重要的工序，太阳能电池的发电的核心部分PN结就是在扩散工序中形成的。扩散工序中需要将装载有硅片的石英舟装载于扩散炉的内腔中，通过扩散炉内的扩散气体与硅片表面作用以形成PN结。
[0003]目前，现有的石英舟上用于卡设硅片的卡槽是沿石英舟的长度方向间隔设置，且石英舟装载于扩散炉的内腔中时，炉腔的长度方向与石英舟的长度方向一致，这使得扩散炉内的硅片的正面或背面与扩散气体的扩散方向垂直，导致扩散气体对硅片会产生一定的挤压力，也就使得硅片与石英舟的卡槽之间具有一定的挤压力，在扩散炉的高温环境下，卡槽对硅片的挤压力会使得硅片表面发生晶格的缺陷，从而导致硅片的与石英舟接触的位置的少子寿命下降，甚至硅片直接发生崩边缺角等碎片现象。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种石英舟及扩散炉，其旨在改善现有的扩散炉内装载的石英舟易导致硅片发生内部缺陷或者碎片的技术问题。<br/>[0005]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟，其特征在于，包括：舟托以及多个硅片承载单元；多个所述硅片承载单元沿所述舟托的长度方向依次可拆卸安装于所述舟托上；其中，每个所述硅片承载单元均包括两个挡架以及至少两个连接杆，两个所述挡架沿所述舟托的宽度方向间隔设置，每个所述连接杆的相对两端均分别与两个所述挡架连接；沿所述舟托的宽度方向，至少两个所述连接杆上间隔设置有一一对应的用于卡设硅片的多个卡槽。2.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述卡槽的槽壁包括底面，所述底面为内凹的弧形面。3.根据权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述卡槽的槽壁还包括均与所述底面连接且相对设置的两个侧面，两个所述侧面的远离所述底面的一端均朝外弯曲。4.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的石英舟，其特征在于，至少两个所述连接杆分别位于高度方向的相对两侧，且所述卡槽的槽深方向与高度方向一致。5.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的石英舟，其特征在于，任意相邻的两个所述卡槽的槽间距相等。6.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述石英舟还包括两个均...

【专利技术属性】
技术研发人员：周公庆，刘宗刚，马列，袁桃生，
申请(专利权)人：通威太阳能眉山有限公司，
类型：新型
国别省市：