下载石英舟及扩散炉的技术资料

文档序号:37502470

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本申请涉及光伏技术领域,具体而言,涉及一种石英舟及扩散炉。石英舟,包括:舟托以及多个硅片承载单元;多个硅片承载单元沿舟托的长度方向依次可拆卸安装于舟托上。其中,每个硅片承载单元均包括两个挡架以及至少两个连接杆,两个挡架沿舟托的宽度方向间隔设...
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