可监测防静电支架及具有其的转塔式设备制造技术

技术编号:37807332 阅读:11 留言:0更新日期:2023-06-09 09:37
本公开提供了一种可监测防静电支架及具有其的转塔式设备,该可监测防静电支架包括传导组件和监测组件,其中所述传导组件与转塔式设备的转塔相接触,用于将所述转塔产生的静电传输至地端;所述监测组件与所述传导组件之间绝缘,并与所述转塔相接触,所述监测组件用于检测所述转塔的阻值,并当所述阻值大于预设阈值时触发报警。采用本公开的可监测防静电支架,既能够传导静电,又能够实时监测设备的防静电功能,确保安全。确保安全。确保安全。

【技术实现步骤摘要】
可监测防静电支架及具有其的转塔式设备


[0001]本公开一般涉及半导体测试
,具体涉及一种可监测防静电支架及具有其的转塔式设备。

技术介绍

[0002]静电是电荷在物质系统中不平衡分布所产生的现象,其会对工业生产造成巨大危害,比如引起电子设备故障或误动作,以及击穿集成电路和精密电子元件,降低产品良率等。
[0003]目前,相关技术通过在转塔式设备的转塔与主塔之间连接金属片来释放静电,但金属片长期使用会因磨损而导致静电传导失败,且无法被检测,具有极大的安全隐患。

技术实现思路

[0004]鉴于相关技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种可监测防静电支架及具有其的转塔式设备,不仅能够传导静电,还能够实时监测设备的防静电功能,确保安全。
[0005]第一方面,本公开提供一种可监测防静电支架,所述可监测防静电支架包括:
[0006]传导组件,所述传导组件与转塔式设备的转塔相接触,所述传导组件用于将所述转塔产生的静电传输至地端;
[0007]监测组件,所述监测组件与所述传导组件之间绝缘,所述监测组件与所述转塔相接触,所述监测组件用于检测所述转塔的阻值,并当所述阻值大于预设阈值时触发报警。
[0008]可选地,在本公开一些实施例中,所述监测组件包括监测本体、信号连接线和报警器;所述监测本体位于所述传导组件上,且与所述传导组件之间设置有绝缘垫片,并与所述转塔相接触;所述信号连接线的一端连接所述监测本体,另一端连接所述报警器。
[0009]可选地,在本公开一些实施例中,所述监测本体上设置有弹性件,所述弹性件与所述转塔相接触。
[0010]可选地,在本公开一些实施例中,所述弹性件包括弹簧。
[0011]可选地,在本公开一些实施例中,所述报警器包括阈值设定模块、接口模块和报警模块;所述阈值设定模块用于设定所述预设阈值,所述接口模块用于分别接入电源和所述信号连接线,所述报警模块用于报警提示。
[0012]可选地,在本公开一些实施例中,所述报警模块包括指示灯和蜂鸣器中的至少一种。
[0013]可选地,在本公开一些实施例中,所述报警器还包括显示模块;所述显示模块用于显示触发报警的转塔式设备所对应的编号。
[0014]可选地,在本公开一些实施例中,所述传导组件包括支架基座和位于所述支架基座上的传导本体,所述传导本体与所述转塔相接触。
[0015]可选地,在本公开一些实施例中,所述传导本体上设置有可拆卸铜头,所述可拆卸铜头与所述转塔相接触。
[0016]第二方面,本公开提供一种转塔式设备,所述转塔式设备上设置有第一方面中任意一项所述的可监测防静电支架。
[0017]从以上技术方案可以看出,本公开实施例具有以下优点:
[0018]本公开实施例提供了一种可监测防静电支架及具有其的转塔式设备,该可监测防静电支架包括传导组件和监测组件,其中传导组件与转塔式设备的转塔相接触,能够将转塔产生的静电传输至地端,而监测组件与传导组件之间绝缘,并与转塔相接触,由此能够实时检测转塔的阻值,以及当阻值大于预设阈值时触发报警,确保了安全。
附图说明
[0019]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本公开的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
[0020]图1为本公开实施例提供的一种可监测防静电支架的结构示意图;
[0021]图2为本公开实施例提供的一种可监测防静电支架的具体示例;
[0022]图3为本公开实施例提供的一种支架基座的各视图;
[0023]图4为本公开实施例提供的一种可拆卸铜头的各视图;
[0024]图5为本公开实施例提供的一种监测本体的各视图;
[0025]图6为本公开实施例提供的一种绝缘垫片的各视图;
[0026]图7为本公开实施例提供的一种报警器的结构框图;
[0027]图8为本公开实施例提供的另一种报警器的结构框图;
[0028]图9为本公开实施例提供的一种转塔式设备的部分结构示意图。
[0029]附图标记:
[0030]10

可监测防静电支架,11

传导组件,111

支架基座,112

传导本体,1121

可拆卸铜头,12

监测组件,121

监测本体,1211

弹性件,122

信号连接线,123

报警器,1231

阈值设定模块,1232

接口模块,1233

报警模块,1234

显示模块,124

绝缘垫片,20

转塔式设备,21

转塔,22

主塔。
具体实施方式
[0031]为了使本
的人员更好地理解本公开方案,下面将结合本公开实施例中的附图,对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本公开一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本公开保护的范围。
[0032]本公开的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象,而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便描述的本公开的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
[0033]此外,术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含,例如,包含了一系列步骤或模块的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或模块,而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或模块。
[0034]为了便于理解和说明,下面通过图1至图9详细地阐述本公开实施例提供的可监测防静电支架及具有其的转塔式设备。
[0035]请参考图1,其为本公开实施例提供的一种可监测防静电支架的结构示意图。该可监测防静电支架10包括传导组件11和监测组件12,其中传导组件11与转塔式设备20的转塔21相接触,该传导组件11能够将转塔21产生的静电传输至地端,而监测组件12与传导组件11之间绝缘,并与转塔21相接触,该监测组件12能够检测转塔21的阻值,以及当阻值大于预设阈值时触发报警,由此既可以传导静电,又可以实时监测设备的防静电功能,确保了安全。
[0036]需要说明的是,本公开实施例中传导组件11连接转塔式设备20的转塔21和主塔22,从而形成接地回路以释放静电。
[0037]示例性地,如图2所示,下面对可监测防静电支架10的各个组件进行说明。比如,本公开实施例中传导组件11包括但不限于支架基座111(图本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可监测防静电支架,其特征在于,所述可监测防静电支架包括:传导组件,所述传导组件与转塔式设备的转塔相接触,所述传导组件用于将所述转塔产生的静电传输至地端;监测组件,所述监测组件与所述传导组件之间绝缘,所述监测组件与所述转塔相接触,所述监测组件用于检测所述转塔的阻值,并当所述阻值大于预设阈值时触发报警。2.根据权利要求1所述的可监测防静电支架,其特征在于,所述监测组件包括监测本体、信号连接线和报警器;所述监测本体位于所述传导组件上,且与所述传导组件之间设置有绝缘垫片,并与所述转塔相接触;所述信号连接线的一端连接所述监测本体,另一端连接所述报警器。3.根据权利要求2所述的可监测防静电支架,其特征在于,所述监测本体上设置有弹性件,所述弹性件与所述转塔相接触。4.根据权利要求3所述的可监测防静电支架,其特征在于,所述弹性件包括弹簧。5.根据权利要求2所述的可监测防静电支架,其特...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈炜刘洋周禹彬
申请(专利权)人:通富微电子股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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