本实用新型专利技术是一种自动光学检测设备的线性扫描装置，其包括影像撷取器、线性移动器及旋转器，所述旋转器位于所述影像撷取器的一侧，所述线性移动器枢设于所述旋转器上，所述线性移动器相对于所述旋转器进行转动，所述线性移动器上具有晶圆承载面，并且所述晶圆承载面与所述影像撷取器相对应；借由所述线性移动器相对于所述影像撷取器进行线性移动，所述影像撷取器的扫描光源投射于所述晶圆承载面的动作路径上，并通过所述旋转器转动所述线性移动器提供平面上的各个位置上的位移，达到简化机械结构兼具提升检测扫描效率的目的。机械结构兼具提升检测扫描效率的目的。机械结构兼具提升检测扫描效率的目的。
【技术实现步骤摘要】
自动光学检测设备的线性扫描装置
[0001]本技术系关于一种自动光学检测技术，尤指一种自动光学检测设备的线性扫描装置。
技术介绍
[0002]现有技术中，自动光学检测(Automated Optical Inspection，AOI)技术主要系通过电荷耦合组件(Charge Coupled Device，CCD)及机械控制对晶圆进行不同角度的影像检视。然，习知的机械设备为了提供各种角度，需要操控多轴向(如X轴与Z轴)位移的机械设备，上述的控制方式不仅结构比较复杂，且制造的成本较高，甚至影响到检测效率。因此，如何针对于机械结构进行改良、简化机械结构的复杂性，为本案所欲解决的技术问题。
技术实现思路
[0003]有鉴于上述现有技术之不足，本技术主要目的在于提供一种自动光学检测设备的线性扫描装置，借由快速便捷的调整扫描角度与扫描位置之构造，简化机械结构兼具提升检测扫描效率。
[0004]为了达成上述目的，本技术所采取的主要技术手段系令前述一种自动光学检测设备的线性扫描装置包括：影像撷取器；旋转器位于影像撷取器的一侧；以及线性移动器枢转设置于旋转器，线性移动器相对于旋转器进行转动，线性移动器上具有晶圆承载面，并且晶圆承载面与影像撷取器相对应。
[0005]根据上述构造，本技术通过线性移动器相对于影像撷取器进行线性移动，影像撷取器的扫描光源投射于晶圆承载面的动作路径上，并通过旋转器转动线性移动器提供平面上的各个位置上的位移，达到简化机械结构兼具提升检测扫描效率的目的。
附图说明
[0006]图1是本技术一较佳实施方式的立体图；
[0007]图2是本技术的较佳实施方式的另一立体图；
[0008]图3是本技术的较佳实施方式的线性移动器的示意图；
[0009]图4是图3的A区域放大图；
[0010]图5是本技术的较佳实施方式的线性移动器的作动示意图；
[0011]图6是本技术的自动光学检测设备的旋转器的示意图；以及
[0012]图7是本技术的自动光学检测设备的旋转器的作动示意图。
具体实施方式
[0013]关于本技术自动光学检测设备的线性扫描装置的较佳实施方式，请参阅图1与图2所示，于本实施方式提供一种自动光学检测设备的线性扫描装置1，其包括：影像撷取器11、旋转器13与线性移动器15。所述影像撷取器11投射扫描光源110。所述旋转器13位于
所述影像撷取器11的一侧。所述线性移动器15枢转设置于所述旋转器13上，所述线性移动器15相对于所述旋转器13进行转动，所述线性移动器15上具有晶圆承载面150，并且所述晶圆承载面150与所述影像撷取器11相对应。于本实施方式更包括承载托架17，所述承载托架17对应所述晶圆承载面150，所述承载托架17滑动设置于所述线性移动器15，所述承载托架17相对于所述线性移动器15进行线性移动。
[0014]于本实施方式中，所述影像撷取器11包括镜头模块111与座体112，所述镜头模块111设置于所述座体112。所述影像撷取器11的所述镜头模块111投射扫描光源110朝向所述晶圆承载面150上的所述承载托架17的位置，换言之，所述影像撷取器11的所述扫描光源110对应所述承载托架17用于承载待扫描物19的承载区域B进行扫描。于本实施方式中所述镜头模块111可由个以上的影像传感器及至少发光单元所构成。
[0015]再者，所述旋转器13包括第一驱动件131、转轴132与固定板133，所述第一驱动件131连接所述转轴132的一端，所述转轴132的另一端固定于所述固定板133，所述线性移动器15设置于所述固定板133，所述线性移动器15相对所述旋转器13进行转动。其中，所述第一驱动件131驱动所述转轴132转动，所述转轴132连动所述固定板133转动，所述固定板133带动所述线性移动器15转动。又，所述转轴132与所述线性移动器15互相间隔着所述固定板133，所述转轴132相对位于所述线性移动器15的中心位置对应设置。另外，所述影像撷取器11的所述镜头模块111投射所述扫描光源110的高度位置对应于所述旋转器13的所述转轴132的高度位置。
[0016]于本实施方式中，所述线性移动器15包括本体151、第二驱动件152与滑件153，所述本体151为延伸的长型结构，所述本体151枢转设置于所述旋转器13的所述固定板133，所述第二驱动件152设置于所述本体151，所述滑件153滑动设置于所述本体151，所述承载托架17设置于所述滑件153。其中，所述第二驱动件152驱使所述滑件153沿着所述本体151的延伸方向往复移动，所述滑件153带动所述承载托架17于所述本体151上线性移动。
[0017]请一并参阅图3与图4所示，于本实施方式中，所述承载托架17包括夹座171、连接支架172与二夹具组件173，所述夹座171设置于所述线性移动器15的所述滑件153，所述连接支架172设置于所述夹座171上，所述二夹具组件173分别设置于所述连接支架172的两端，并所述二夹具组件173互相相对设置。
[0018]每一所述夹具组件173包括夹爪1731、滑轨1732与夹爪驱动件1733。所述夹爪1731包括组装件1734与夹持件1735，所述组装件1734更包括组装部1736、连动部1737与夹持部1738。所述连动部1737位于所述组装部1736的一侧，所述夹持部1738位于所述组装部1736的另一侧。所述滑轨1732设置于所述连接支架172的一侧，所述组装件1734的所述组装部1736滑动设置于所述滑轨1732。所述夹爪驱动件1733设置于所述连接支架172的另一侧，所述连动部1737自所述组装部1736的一侧延伸过所述连接支架172的一端，所述夹爪驱动件1733连动于所述连动部1737。所述夹持件1735组装于所述组装件1734的所述夹持部1738。所述夹持部1738具有夹持凹槽1739。
[0019]承上所述，所述夹爪驱动件1733驱动所述夹爪1731于所述滑轨1732向内侧移动，即所述二夹具组件173的所述夹爪1731互相靠近，以驱使所述夹爪1731夹持待扫描物19，其中，所述夹爪1731的所述夹持件1735具有互相相对的所述夹持凹槽1739，所述夹持凹槽1739用于容置所述待扫描物19，以有利于提高夹持的稳定性。进一步来说，所述待扫描物19
的扫描表面与所述承载托架17的线性移动的移动方向平行。本实施方式的所述待扫描物19为晶圆，也可为任意需要通过光学影像检测的产品，用户可依据夹持所述待扫描物19的需求更换所述夹持件1735，如此方便于使用者进行夹持检测。
[0020]请一并参阅图3与图5所示，所述影像撷取器11的所述扫描光源110固定直线投射于所述承载托架17承载的所述待扫描物19的表面，所述旋转器13驱动所述承载托架17转动，所述旋转器13相对于所述承载托架17的位置为旋转中心，使所述承载托架17能依所述旋转器13本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种自动光学检测设备的线性扫描装置，其特征在于，其包括：影像撷取器；旋转器，位于所述影像撷取器的一侧；以及线性移动器，枢设于所述旋转器上，所述线性移动器相对于所述旋转器进行转动，所述线性移动器上具有晶圆承载面，并且所述晶圆承载面与所述影像撷取器相对应。2.如权利要求1所述之自动光学检测设备的线性扫描装置，其特征在于，所述旋转器包括第一驱动件、转轴与固定板，所述第一驱动件连接所述转轴的一端，所述转轴的另一端固定于所述固定板，所述线性移动器设置于所述固定板。3.如权利要求2所述之自动光学检测设备的线性扫描装置，其特征在于，所述转轴相对位于所述线性移动器的中心位置。4.如权利要求2所述之自动光学检测设备的线性扫描装置，其特征在于，所述影像撷取器镜头模块投射扫描光源的高度位置对应于所述旋转器的所述转轴的高度位置。5.如权利要求1所述之自动光学检测设备的线性扫描装置，其特征在于，更包括承载托架，所述承载托架具有所述晶圆承载面，所述承载托架滑动设置于所述线性移动器，所述承载托架相对于所述线性移动器进行线性移动。6.如权利要求5所述之自动光学检测设备的线性扫描装置，其特征在于，所述线性移动器包括本体、第二驱动件与滑件，所述本体枢设于所述旋转器上，所述第二驱动件设置于所述本体，所述滑件滑动设置于所述本体，所述第二驱动件驱使...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶君基，刘达叡，
申请(专利权)人：易发精机股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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