自动光学检测设备的线性扫描装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是一种自动光学检测设备的线性扫描装置，其包括影像撷取器、线性移动器及旋转器，所述旋转器位于所述影像撷取器的一侧，所述线性移动器枢设于所述旋转器上，所述线性移动器相对于所述旋转器进行转动，所述线性移动器上具有晶圆承载面，并且所述晶圆承载面与所述影像撷取器相对应；借由所述线性移动器相对于所述影像撷取器进行线性移动，所述影像撷取器的扫描光源投射于所述晶圆承载面的动作路径上，并通过所述旋转器转动所述线性移动器提供平面上的各个位置上的位移，达到简化机械结构兼具提升检测扫描效率的目的。机械结构兼具提升检测扫描效率的目的。机械结构兼具提升检测扫描效率的目的。

【技术实现步骤摘要】
自动光学检测设备的线性扫描装置


[0001]本技术系关于一种自动光学检测技术，尤指一种自动光学检测设备的线性扫描装置。

技术介绍

[0002]现有技术中，自动光学检测(Automated Optical Inspection，AOI)技术主要系通过电荷耦合组件(Charge Coupled Device，CCD)及机械控制对晶圆进行不同角度的影像检视。然，习知的机械设备为了提供各种角度，需要操控多轴向(如X轴与Z轴)位移的机械设备，上述的控制方式不仅结构比较复杂，且制造的成本较高，甚至影响到检测效率。因此，如何针对于机械结构进行改良、简化机械结构的复杂性，为本案所欲解决的技术问题。

技术实现思路

[0003]有鉴于上述现有技术之不足，本技术主要目的在于提供一种自动光学检测设备的线性扫描装置，借由快速便捷的调整扫描角度与扫描位置之构造，简化机械结构兼具提升检测扫描效率。
[0004]为了达成上述目的，本技术所采取的主要技术手段系令前述一种自动光学检测设备的线性扫描装置包括：影像撷取器；旋转器位于影像撷取器的一侧；以及线性移动器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动光学检测设备的线性扫描装置，其特征在于，其包括：影像撷取器；旋转器，位于所述影像撷取器的一侧；以及线性移动器，枢设于所述旋转器上，所述线性移动器相对于所述旋转器进行转动，所述线性移动器上具有晶圆承载面，并且所述晶圆承载面与所述影像撷取器相对应。2.如权利要求1所述之自动光学检测设备的线性扫描装置，其特征在于，所述旋转器包括第一驱动件、转轴与固定板，所述第一驱动件连接所述转轴的一端，所述转轴的另一端固定于所述固定板，所述线性移动器设置于所述固定板。3.如权利要求2所述之自动光学检测设备的线性扫描装置，其特征在于，所述转轴相对位于所述线性移动器的中心位置。4.如权利要求2所述之自动光学检测设备的线性扫描装置，其特征在于，所述影像撷取器镜头模块投射扫描光源的高度位置对应于所述旋转器的所述转轴的高度位置。5.如权利要求1所述之自动光学检测设备的线性扫描装置，其特征在于，更包括承载托架，所述承载托架具有所述晶圆承载面，所述承载托架滑动设置于所述线性移动器，所述承载托架相对于所述线性移动器进行线性移动。6.如权利要求5所述之自动光学检测设备的线性扫描装置，其特征在于，所述线性移动器包括本体、第二驱动件与滑件，所述本体枢设于所述旋转器上，所述第二驱动件设置于所述本体，所述滑件滑动设置于所述本体，所述第二驱动件驱使...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶君基，刘达叡，
申请(专利权)人：易发精机股份有限公司，
类型：新型
国别省市：