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自动光学检测设备的线性扫描装置制造方法及图纸
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下载自动光学检测设备的线性扫描装置的技术资料
文档序号:37803390
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本实用新型是一种自动光学检测设备的线性扫描装置,其包括影像撷取器、线性移动器及旋转器,所述旋转器位于所述影像撷取器的一侧,所述线性移动器枢设于所述旋转器上,所述线性移动器相对于所述旋转器进行转动,所述线性移动器上具有晶圆承载面,并且所述晶圆...
该专利属于易发精机股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过易发精机股份有限公司授权不得商用。
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