下载自动光学检测设备的线性扫描装置的技术资料

文档序号:37803390

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本实用新型是一种自动光学检测设备的线性扫描装置,其包括影像撷取器、线性移动器及旋转器,所述旋转器位于所述影像撷取器的一侧,所述线性移动器枢设于所述旋转器上,所述线性移动器相对于所述旋转器进行转动,所述线性移动器上具有晶圆承载面,并且所述晶圆...
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