一种半导体级石英坩埚制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体级石英坩埚，属于石英坩埚技术领域，针对了石英坩埚在放置架存放时，需浪费较多时间去找寻与石英坩埚尺寸相配的凹槽的问题，包括放置架、凹槽以及石英坩埚主体，还包括定位支撑机构，定位支撑机构包括定位套环和抵紧板，定位套环的周身上竖直开设有与抵紧板相对应的操控槽，操控槽内设置有用于操控抵紧板平滑的供力部件；本实用新型专利技术通过定位支撑机构的设置，确保石英坩埚主体在任意孔径凹槽内放置时稳固性的前提下，使得作业人员在石英坩埚主体放置时，无需浪费较多时间用于找寻与石英坩埚主体相配合的凹槽，节省时间成本，便于快速放置。便于快速放置。便于快速放置。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体级石英坩埚


[0001]本技术属于石英坩埚
，具体涉及一种半导体级石英坩埚。

技术介绍

[0002]石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源和质量稳定等优点，应用越来越广泛，石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节，而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展。
[0003]在半导体级石英坩埚生产过程中一般会运用到放置架，利用放置架上合理存放石英坩埚，且放置架上会设置有各种大小不同的凹槽，以便于不同尺寸的石英坩埚存放，这样会导致在实际放置石英坩埚时，操作人员需浪费较多时间去找寻与石英坩埚尺寸相配的凹槽，造成操作不便，严重影响工作效率。
[0004]因此，需要一种半导体级石英坩埚，解决现有技术中存在的石英坩埚在放置架存放时，需浪费较多时间去找寻与石英坩埚尺寸相配的凹槽的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种半导体级石英坩埚，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体级石英坩埚，包括放置架、开设于所述放置架上的凹槽以及设置于所述凹槽内的石英坩埚主体，还包括定位支撑机构；
[0007]所述定位支撑机构包括紧固套接于所述石英坩埚主体锅身上的定位套环和若干个环绕设置于所述定位套环外周的抵紧板，所述定位套环的周身上竖直开设有与所述抵紧板相对应的操控槽，所述操控槽内设置有用于操控所述抵紧板平滑的供力部件。
[0008]方案中需要说明的是，所述供力部件包括竖直转动设置于所述操控槽两端内壁之间的双向螺杆、两个对称螺纹连接于所述双向螺杆杆身上的螺母座以及两个呈八字状铰接于所述抵紧板朝向所述操控槽敞口侧面上的推杆，两个所述推杆的末端分别与两个所述螺母座相对应铰接，所述操控槽最内侧的内壁上竖直开设有限位缝，所述限位缝内滑动设置有与所述螺母座相垂直固接的限位块。
[0009]进一步值得说明的是，所述供力部件包括竖直转动设置于所述操控槽两端内壁之间的双向螺杆、两个对称螺纹连接于所述双向螺杆杆身上的螺母座以及两个呈八字状铰接于所述抵紧板朝向所述操控槽敞口侧面上的推杆，两个所述推杆的末端分别与两个所述螺母座相对应铰接，所述操控槽最内侧的内壁上竖直开设有限位缝，所述限位缝内滑动设置有与所述螺母座相垂直固接的限位块。
[0010]更进一步需要说明的是，所述定位套环的顶面固定有呈倒L状的支座，所述支座的横板上螺纹穿设有固定螺柱，所述内齿盘的顶面上开设有若干个与所述固定螺柱相适配的固定插孔。
[0011]作为一种优选的实施方式，所述定位套环的顶面固定有呈倒L状的支座，所述支座的横板上螺纹穿设有固定螺柱，所述内齿盘的顶面上开设有若干个与所述固定螺柱相适配的固定插孔。
[0012]作为一种优选的实施方式，所述抵紧板背离所述操控槽敞口的侧面上胶合有防滑垫，所述防滑垫上开设有防滑纹。
[0013]与现有技术相比，本技术提供的一种半导体级石英坩埚，至少包括如下有益效果：
[0014](1)通过定位支撑机构的设置，在放置架上摆放石英坩埚主体时，可将石英坩埚主体放入任意孔径的凹槽内，随后利用供力部件操控抵紧板平滑，以使抵紧板抵紧凹槽内壁，你补石英坩埚主体与凹槽内壁之间的间隙，以此确保石英坩埚主体在任意孔径凹槽内放置时稳固性的前提下，使得作业人员在石英坩埚主体放置时，无需浪费较多时间用于找寻与石英坩埚主体相配合的凹槽，节省时间成本，便于快速放置。
[0015](2)通过固定螺柱和固定插孔的设置，待转动内齿盘，完成抵紧板与凹槽内壁紧贴效果后，作业人员紧接着可旋钮固定螺柱，使得固定螺柱在螺纹结构下对准插入对应的固定插孔，即可将内齿盘锁紧，确保内齿盘与传动齿轮之间啮合稳固性，并同理稳固双向螺杆。
附图说明
[0016]图1为本技术的石英坩埚主体和定位支撑机构结构示意图；
[0017]图2为本技术的图1中A处结构示意图；
[0018]图3为本技术的定位支撑机构内部结构示意图；
[0019]图4为本技术的图3中B处结构示意图；
[0020]图5为本技术的放置架、凹槽以及石英坩埚主体结构示意图。
[0021]图中：1、放置架；2、凹槽；3、石英坩埚主体；4、定位套环；5、抵紧板；6、操控槽；7、双向螺杆；8、螺母座；9、限位块；10、推杆；11、传动杆；12、内齿盘；13、传动齿轮；14、拨动杆；15、支座；16、固定插孔；17、固定螺柱。
具体实施方式
[0022]下面结合实施例对本技术做进一步的描述。
[0023]请参阅图1
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5，本技术提供一种半导体级石英坩埚，包括放置架1、开设于放置架1上的凹槽2以及设置于凹槽2内的石英坩埚主体3；
[0024]利用凹槽2，可方便相应尺寸的石英坩埚主体3放入，进而利用间隙配合关系将石英坩埚主体3稳固在放置架1内，即可方便石英坩埚主体3在凹槽2内晃动，又可避免石英坩埚主体3在生产后摆放混乱，易于石英坩埚主体3的生产运输。
[0025]但从实际出发，现有技术中的放置架1上一般会配合有多种孔径不一的凹槽2，以便于不同尺寸型号的石英坩埚主体3放置，这样会导致在放置石英坩埚主体3时，操作人员需浪费较多时间去找寻与石英坩埚主体3尺寸相配的凹槽2，造成操作不便，严重影响工作效率；
[0026]有鉴于此，如图1和图5所示，值得说明的是，还包括便于石英坩埚主体3在不同孔
径凹槽2内放置的定位支撑机构；
[0027]定位支撑机构包括紧固套接于石英坩埚主体3锅身上的定位套环4和若干个环绕设置于定位套环4外周的抵紧板5，定位套环4的周身上竖直开设有与抵紧板5相对应的操控槽6，操控槽6内设置有用于操控抵紧板5平滑的供力部件；
[0028]通过定位支撑机构的设置，在放置架1上摆放石英坩埚主体3时，可将石英坩埚主体3放入任意孔径的凹槽2内，随后利用供力部件操控抵紧板5平滑，以使抵紧板5抵紧凹槽2内壁，你补石英坩埚主体3与凹槽2内壁之间的间隙，以此确保石英坩埚主体3在任意孔径凹槽2内放置时稳固性的前提下，使得作业人员在石英坩埚主体3放置时，无需浪费较多时间用于找寻与石英坩埚主体3相配合的凹槽2，节省时间成本，便于快速放置。
[0029]进一步地，如图3和图4所示，值得说明的是，供力部件包括竖直转动设置于操控槽6两端内壁之间的双向螺杆7、两个对称螺纹连接于双向螺杆7杆身上的螺母座8以及两个呈八字状铰接于抵紧板5朝向操控槽6敞口侧面上的推杆10，两个推杆10的末端分别与两个螺母座8相对应铰接，操控槽6最内侧的内壁上竖直开设有限位缝，限位缝内滑动设置有与螺母座8相垂直固接的限位块9；
[0030]通过双向螺杆7、螺母座8以及推杆10的设置，操控双向螺杆7自转，两个螺母座8即可在限位缝与限位块9的限位作用下由螺纹结构在螺母座8杆身上对向滑动，以此螺母座8滑动过程中便可利用推杆10平推抵紧板5，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体级石英坩埚，包括放置架（1）、开设于所述放置架（1）上的凹槽（2）以及设置于所述凹槽（2）内的石英坩埚主体（3），其特征在于，还包括定位支撑机构；所述定位支撑机构包括紧固套接于所述石英坩埚主体（3）锅身上的定位套环（4）和若干个环绕设置于所述定位套环（4）外周的抵紧板（5），所述定位套环（4）的周身上竖直开设有与所述抵紧板（5）相对应的操控槽（6），所述操控槽（6）内设置有用于操控所述抵紧板（5）平滑的供力部件。2.根据权利要求1所述的一种半导体级石英坩埚，其特征在于：所述供力部件包括竖直转动设置于所述操控槽（6）两端内壁之间的双向螺杆（7）、两个对称螺纹连接于所述双向螺杆（7）杆身上的螺母座（8）以及两个呈八字状铰接于所述抵紧板（5）朝向所述操控槽（6）敞口侧面上的推杆（10），两个所述推杆（10）的末端分别与两个所述螺母座（8）相对应铰接，所述操控槽（6）最内侧的内壁上竖直开设有限位缝，所述限位缝内滑动设置有与所述螺母座（8）相垂直固接的限位块（9）。3.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王利娜，庄兴凤，
申请(专利权)人：东海县艾尔法石英制品有限公司，
类型：新型
国别省市：