一种石英舟扩散升降机构制造技术

本技术的一种石英舟扩散升降机构，包括柜体，在柜体上设置有对石英舟及硅片进行收储的收储机构、对收储机构进行输送的输送机构和将硅片转运至石英舟上的升降机构；所述的输送机构包括输送机构安装架、输送辊、对硅片进行输送的输送带Ⅰ及对石英舟进行输送的输送带Ⅱ；所述的升降机构包括升降安装柱、水平位移动力机构、升降板、竖向位移动力机构、承载板和若干根吸附管；收储机构可对硅片及石英舟进行承载，并通过输送机构将硅片及石英舟输送至升降机构的正下方，由升降机构上的吸附管将收储盒Ⅰ上的硅片吸附并转移至收储盒Ⅱ上的石英舟上，完成硅片的自动取放，一定程度上的减少了取放硅片的劳动力，降低了人工工作量，提高了产能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英舟扩散工艺设备，具体为一种石英舟扩散升降机构。

技术介绍

1、目前，在对石英舟进行扩散作业时，首先将扩散用的硅片放置在石英舟上，再将负载好硅片的石英舟放置在扩散炉的扩散炉传送带上，再由扩散炉传送带将负载有硅片的石英舟送入扩散炉中进行扩散作业，此时扩散炉内石英舟上的硅片被加热，加热期间在硅片的表面形成氧化层，扩散作业后降温出炉，再将扩散后的硅片从石英舟内取出，再次放入未经扩散处理的硅片；但是在实际生产中，硅片或石英舟需要提前购置，在硅片及石英舟均运送到厂区后再进行进一步组装并进行扩散作业，这会导致工作台面上堆积满待安装的硅片或石英舟，排布混乱不易计数；并且一般是人工将硅片放入在石英内，该方法效率比较低；因此，提出一种在扩散工艺前，当石英舟或硅片未同时抵达厂区前，可对石英舟或硅片提前排布，并在石英舟或硅片均抵达厂区内后，仅对石英舟或硅片其中一种物品进行装载/归集即可，不仅避免工作台面肆意堆积硅片或石英舟，且可使得硅片自动装载在石英舟上的石英舟扩散升降机构。

技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是提供一种在扩散工艺前，当石英舟或硅片未同时抵达厂区前，可对石英舟或硅片提前排布，并在石英舟或硅片均抵达厂区内后，仅对石英舟或硅片其中一种物品进行装载/归集即可，不仅避免工作台面肆意堆积硅片或石英舟，且可使得硅片自动装载在石英舟上的石英舟扩散升降机构。

2、本技术要解决的技术问题是通过以下技术方案来实现的，一种石英舟扩散升降机构，包括柜体，在柜体上设置有对石英舟及硅片进行收储的收储机构、对收储机构进行输送的输送机构和将硅片转运至石英舟上的升降机构；

3、所述的输送机构包括输送机构安装架、输送辊、对硅片进行输送的输送带ⅰ及对石英舟进行输送的输送带ⅱ；所述的输送机构安装架固定安装在柜体的顶面上；所述的输送辊转动安装在输送机构安装架上；所述的输送带ⅰ和输送带ⅱ安装在输送辊的外周面上；

4、所述的收储机构包括放置在输送带ⅰ上的收储盒ⅰ和放置在输送带ⅱ上的收储盒ⅱ；所述的收储盒ⅰ上开设有用于容纳硅片的硅片容纳槽；所述的收储盒ⅱ上开设有用于容纳石英舟的石英舟容纳槽；

5、在所述的输送带ⅰ及输送带ⅱ上安装有对收储盒ⅰ和收储盒ⅱ进行阻挡限位的限位组件；

6、所述的升降机构包括升降安装柱、水平位移动力机构、升降板、竖向位移动力机构、承载板和若干根吸附管；所述的升降安装柱固定安装在柜体的顶面上；所述的水平位移动力机构水平设置且其安装端安装在所述的升降安装柱的顶部侧壁上；所述的升降板固定安装在所述水平位移动力机构的伸缩端上；所述的竖向位移动力机构竖直设置且其安装端固定安装在升降板的顶面上；所述的承载板固定安装在竖向位移动力机构的伸缩端上；所述的吸附管竖直设置并固定在承载板上，所述的吸附管位于输送机构的正上方。

7、与现有技术相比，本技术的有益技术效果是：

8、（1）收储机构可对硅片及石英舟进行承载，并通过输送机构将硅片及石英舟输送至升降机构的正下方，由升降机构上的吸附管将收储盒ⅰ上的硅片吸附并转移至收储盒ⅱ上的石英舟上，完成硅片的自动取放，一定程度上的减少了取放硅片的劳动力，降低了人工工作量，提高了产能；

9、（2）设置在输送带ⅰ及输送带ⅱ上的收储盒ⅰ及收储盒ⅱ的可对硅片或石英舟进行分别收储并集中排布，避免以往人工插片时将硅片或石英舟大量的堆积在工作台上，不仅导致物品排放不规整，不易清点数量，堆积的硅片或石英舟也会因挤压导致其表面产生不必要的划痕。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：包括柜体，在柜体上设置有对石英舟及硅片进行收储的收储机构、对收储机构进行输送的输送机构和将硅片转运至石英舟上的升降机构；

2.根据权利要求1所述的一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：所述的限位组件包括若干组长度限位条和若干组宽度限位条；

3.根据权利要求1所述的一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：所述的升降板由竖板和横板构成；

4.根据权利要求3所述的一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：在所述的横板的底面上固定设有滑块，在所述的升降安装柱的顶面上固定设有供所述滑块移动所设的滑轨。

5.根据权利要求1所述的一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：所述的输送带Ⅰ和输送带Ⅱ同步输送，输送带Ⅰ和输送带Ⅱ左右安装在输送辊上。

6.根据权利要求1所述的一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：所述的柜体的立面侧壁上安装有开关门。

7.根据权利要求1所述的一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：所述的柜体的底面四角上固定安装有若干个对柜体进行支撑的支腿。

【技术特征摘要】

1.一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：包括柜体，在柜体上设置有对石英舟及硅片进行收储的收储机构、对收储机构进行输送的输送机构和将硅片转运至石英舟上的升降机构；

2.根据权利要求1所述的一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：所述的限位组件包括若干组长度限位条和若干组宽度限位条；

3.根据权利要求1所述的一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：所述的升降板由竖板和横板构成；

4.根据权利要求3所述的一种石英舟扩散升降机构，其特征在于：在所述的横...

【专利技术属性】
技术研发人员：王利娜，庄兴凤，
申请(专利权)人：东海县艾尔法石英制品有限公司，
类型：新型
国别省市：