一种带有气动封严凹槽的罗茨泵转子及罗茨泵制造技术

本发明专利技术涉及一种带有气动封严凹槽的罗茨泵转子及罗茨泵。所述罗茨真空泵转子成对工作，二者垂直于旋转轴线的剖面呈8字叶形轮廓，所述8字叶形的两个侧面设置有环形气动封严凹槽，当转子两侧侧面与泵体壁面的间隙存在泄漏气流时，在侧面设置的气动封严凹槽能够减少侧面与泵体壁面的间隙的泄露量。本发明专利技术通过气动封严的原理，减小封严装置两侧的压差，结合转子旋转时在凹槽内形成的涡结构，在不改变转子厚度尺寸的前提下，可以明显改善转子两侧侧面与泵体壁面间隙内的倒流损失和漏气损失，有效抑制泵内由压差所导致的间隙泄漏流动，提高整体抽速。体抽速。体抽速。

【技术实现步骤摘要】
一种带有气动封严凹槽的罗茨泵转子及罗茨泵


[0001]本专利技术涉及真空泵
，尤其涉及一种带有气动封严凹槽的罗茨泵转子及罗茨泵。

技术介绍

[0002]真空泵的用途是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。主要应用在制药和化工、真空镀膜、真空干燥、表面处理、真空冶炼、陶瓷制造、食品包装、挤奶、饮料等行业。
[0003]随着科学技术和经济软实力的蓬勃发展和不断创新，真空技术的应用也愈加广泛，半导体、石油化工、医疗设施、食品制药、冶金等国民经济领域，对真空泵的需求也越来越大。真空泵包括罗茨真空泵、螺杆式泵、涡轮式无油泵等。其中，罗茨真空泵因为其具有较大的抽速、启动快、震动小、没有内压缩过程、摩擦损失小等特点，被半导体产业所青睐。
[0004]罗茨真空泵的转子两轴线互相平行，转子由叶轮与轴组合而成，叶轮之间、叶轮与机壳及轴承板之间具有微小间隙，以避免相互接触。随着罗茨泵技术的不断发展和完善，罗茨泵转子与壳体之间的间隙发生的泄露逐渐成为了制约罗茨泵性能的瓶颈问题。现有技术中，CN110741165A公本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有气动封严凹槽的罗茨泵转子，其特征在于，所述带有气动封严凹槽的罗茨泵转子垂直于其旋转轴线的剖面呈8字叶形轮廓；所述气动封严凹槽包括平行于8字叶形轮廓的外层凹槽；在罗茨泵转子旋转时，气流从罗茨泵转子侧壁与罗茨泵壳体内壁形成的通道流过时形成气动封严结构。2.根据权利要求1所述的一种带有气动封严凹槽的罗茨泵转子，其特征在于，所述带有气动封严凹槽的罗茨泵转子侧壁面的气动封严凹槽为多层嵌套形式，包括平行于8字叶形的外层凹槽，该外层凹槽包括两道相邻且彼此平行的凹槽。3.根据权利要求2所述的一种带有气动封严凹槽的罗茨泵转子，其特征在于，气动封严凹槽还包括与转子轴孔平行的内层凹槽，该外层凹槽包括两道相邻且彼此平行的凹槽。4.根据权利要求2所述的一种带有气动封严凹槽的罗茨泵转子，其特征在于，所述气动封严凹槽6的深度为5mm，工作时所述转子与罗茨泵壳体内壁无接触。5.根据权利要求4所述的一种带有气动封严凹槽的罗茨泵转子，其特征在于，所述两道相邻且彼此平行的凹槽之间的间距为0.3mm。6.根据权利要求1
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5任一项所述的一种带有气动封严凹槽的罗茨泵转子，其特征在于，所述气动封严凹槽使气流沿罗茨泵壳体和转子...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷晓宏，彭冲，魏民，张建华，冯伟，张凯，
申请(专利权)人：北京通嘉宏瑞科技有限公司，
类型：发明
国别省市：