一种高压曝光灯制造技术

本发明专利技术涉及曝光灯技术领域，公开了一种高压曝光灯，所述电极阴极和电极阳极相对设置，且相互背离的一端均插接固定设有钨杆，所述灯头通过引线固定连接有设置在玻壳发光部内部的钼导杆，再通过灯头引出引线另一端连接到电源。钨杆与电极连接，通过在钨杆四周包围摩擦系数较小钼箔，既保证钨杆顺利插入电极，又能保证钨杆与电极紧密型，确保电极不会掉落。钨杆与支撑体连接，钨杆与石英玻璃之间放入钼片，保证钨杆在高温情况下，钨杆与石英膨胀系数正常，不会导致石英玻璃炸裂。钼片焊接在金属箔片上，包围支撑体石英玻璃支撑体二，保证其导电性能良好。金属箔片通过铂金丝焊接到钨杆上，保证其气密性良好，确保汞灯寿命。确保汞灯寿命。确保汞灯寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种高压曝光灯


[0001]本专利技术涉及曝光灯
，具体涉及一种高压曝光灯。

技术介绍

[0002]高压曝光灯为中央形成椭球状发光部，在发光部内部由纯钨制成阳极及含有部分钍原元素的钍钨阴极，两者相对放置，并且在发光内部充入一定水银、氙气等物质。
[0003]近年来，在半导体元件、液晶显示元件等制造工序所使用曝光装置，要求放射发光强度大的灯，伴随与此，加入水银的量、电极尺寸、玻壳尺寸增加，导致汞灯制造难度增加，必须保证电极安装稳定、玻壳内部密封性良好以及防止玻壳炸裂风险。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种稳定性、导电性能好的高压曝光灯。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种高压曝光灯，包括玻壳发光部，所述玻壳发光部两端设有玻壳密封部，且玻壳密封部背离玻壳发光部的端头均固定设有灯头，所述玻壳发光部内部设有电极阴极和电极阳极，所述电极阴极和电极阳极相对设置，且相互背离的一端均插接固定设有钨杆，保证电极稳定，又能起到引线作用，所述灯头通过引线固定连接有设置在玻壳发光部内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高压曝光灯，包括玻壳发光部(1)，所述玻壳发光部(1)两端设有玻壳密封部(14)，且玻壳密封部(14)背离玻壳发光部(1)的端头均固定设有灯头(8)，所述玻壳发光部(1)内部设有电极阴极(2)和电极阳极(9)，其特征在于：所述电极阴极(2)和电极阳极(9)相对设置，且相互背离的一端均插接固定设有钨杆(10)，所述灯头(8)通过引线固定连接有设置在玻壳发光部(1)内部的钼导杆(7)，再通过灯头(8)引出引线另一端连接到电源，所述钼导杆(7)和钨杆(10)之间通过石英支撑体二(12)连接，所述石英支撑体二(12)外部包裹钼片(6)，且钼导杆(7)和钨杆(10)分别与钼片(6)两端连接，置于玻壳发光部(1)内的所述钨杆(10)外部绕接有钽丝(3)，在所述电极阴极(2)一侧的玻壳密封部(14)外部绕接有一圈触发丝(11)，然后经过玻壳发光部(1)外部、缠绕电极阳极(9)一侧的玻壳密封部(14)外部一圈，再连接到电极阳极(9)的灯头(8)。2.根据权利要求1所述一种高压曝光灯，其特征在于：所述电极阴极(2)的位置低于电极阳极(9)。3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：李治显，宋海峰，
申请(专利权)人：深圳市晶影光技术有限公司，
类型：发明
国别省市：