氢透过检测用试样支架和氢透过扩散路径观测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种用于使用电解液进行电化学补充型氢透过检测的试样支架、和测量透过了保持在该试样支架的试样的氢离子的氢透过扩散路径观测装置，该试样支架(30)包括：支架主体(31)，保持试样(17)；电解液导入室(31b)，具有相对于试样的测定区域(17a)开口的开口部(31c)；按压板(33)，与测定区域对应地具备通孔(33a)，在该通孔的周围从电子源侧按压试样，从而在与支架主体之间气密地夹持试样；双重的密封构件(32)，以包围试样的测定区域的周围的方式配置在支架主体的表面与试样之间；差动排气管(35)，在支架主体的表面的密封构件之间开口且从该开口排气；以及电极(19)，包括电解用的偏置电压施加电极(19a)和对置电极(36)，将按压板作为偏置施加电极而由导电性材料构成，将对置电极配设于电解液导入室，在偏置电压施加电极与对置电极之间施加电压而对电解液(34)进行电解，将产生的氢离子导入到试样内。将产生的氢离子导入到试样内。将产生的氢离子导入到试样内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】氢透过检测用试样支架和氢透过扩散路径观测装置


[0001]本专利技术涉及对氢透过检测用试样进行保持的试样支架和对透过该试样的氢进行测量的氢透过扩散路径观测装置，特别是涉及在利用扫描型电子显微镜观察从板状试样背面透过并从该试样表面涌出的氢原子时将该板状试样保持为能够出入分析室的试样支架、和使用该试样支架对氢离子进行测量的氢透过扩散路径观测装置。

技术介绍

[0002]以往，为了检测透过试样的氢，例如使用专利文献1所公开的氢透过扩散路径观测装置。该氢透过扩散路径观测装置具备扫描型电子显微镜，扫描型电子显微镜具备安装有分析室和试样的隔膜型真空容器和与隔膜型真空容器连接并向试样的背面侧供给氢的氢配管等。试样成为将分析室与隔膜型真空容器的收纳氢的氢室分隔的隔膜。通过该观测装置，通过电子束对试样扫描，获取试样表面的扫描型电子显微镜像(Scanning Electron Microscope像，以下称为SEM像)，同时从试样表面涌出的氢被电子束激发而成为氢离子并从表面脱离(将其称为ESD(Electron Stimulated Desorption，电子激励本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种氢透过检测用试样支架，其特征在于，包括：支架主体，安装于扫描型电子显微镜并保持用于检测通过电子束照射而产生的氢离子的试样；电解液导入室，具有相对于试样的测定区域开口的开口部；按压板，与试样的所述测定区域对应地具有通孔，在该通孔的周围从所述扫描型电子显微镜的电子源侧按压试样，从而在与所述支架主体之间气密地夹持试样；双重的密闭部件，以包围试样的所述测定区域周围的方式配置在所述支架主体的表面与试样之间；差动排气管，在所述支架主体表面的所述双重的密闭部件之间开口并从该开口排气；以及电极，包括电解用的偏置施加电极和对置电极，所述按压板作为所述偏置施加电极而由导电性材料构成，所述对置电极配设于电解液导入室，或者将所述试样支架作为所述对置电极，在所述偏置施加电极与所述对置电极之间施加电压而从电解液将氢导入至试样内。2.根据权利要求1所述的氢透过检测用试样支架，其中，所述电解液导入室包括在所述支架主体的表面开口的开口部和从该开口部起而设置于所述支架主体的内部的中空部，在该中空部内配设有所述对置电极。3.根据权利要求2所述的氢透过检测用试样支架，其特征在于，对所述中空部的内表面施加绝缘和耐蚀涂层。4.根据权利要求1所述的氢透过检测用试样支架，其特征在于，所述电解液导入室由所述试样的背面、所述双重的密闭部件中的内侧的密闭部件和所述支架主体的表面划分而成。5.根据权利要求4所述的氢透过检测用试样支架，其特征在于，所述对置电极与所述支架主体连接。6.根据权利要求1至5中任一项所述的氢透过检测用试样支架，其特征在于，具备向所述电解液导入室供给的电解液的供给管和将该电解液排出的排出管。7.根据权利要求6所述的氢透过检测用试样支架，其特征在于，在电解中，通过所述供给管供给所述电解液，并且从所述排出管排出使用过的电解液。8.根据权利要求1至7中任一项所述的氢透过检测用试样支架，其特征在于，所述支架主体、对置电极、电解液导入室和密闭部件分别由能够进行烘烤处理的材料构成。9.根据权利要求1至8中任一项所述的氢透过检测用试样支架，其特征在于，所述支架主体由导电性材料构成并作...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村明子，矢个部太郎，宮内直弥，
申请(专利权)人：国立研究开发法人物质，
类型：发明
国别省市：