一种用于聚焦离子束设备的装夹装置和聚焦离子束设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于聚焦离子束设备的装夹装置，包括基座；其特征在于：还包括转动件，可转动地设于所述基座上；运动机构，设于所述基座上、并用来驱动所述转动件转动；夹头，安装在所述转动件上、并用来夹持住样品。本发明专利技术还涉及一种应用有前述用于聚焦离子束设备的装夹装置的聚焦离子束设备。夹装置的聚焦离子束设备。夹装置的聚焦离子束设备。

【技术实现步骤摘要】
一种用于聚焦离子束设备的装夹装置和聚焦离子束设备


[0001]本专利技术涉及聚焦离子束设备，特别涉及一种用于聚焦离子束设备的装夹装置，还涉及一种应用有前述用于聚焦离子束设备的装夹装置的聚焦离子束设备。

技术介绍

[0002]聚焦离子束技术是通过液态金属离子源经过电场加速后形成离子流，该离子流经过光阑限束后由聚焦系统聚焦，然后通过不同孔径的可变光阑，得到束流可控的离子束；离子束在偏转系统控制下可按特定路径进行扫描，最后经过物镜入射到样品表面，从而对样品表面进行溅射刻蚀、诱导沉积、离子注入和扫描成像。目前商用系统的离子束为液相金属离子源(Liquid Metal Ion Source,LMIS)，金属材质为镓(Gallium,Ga)，因为镓元素具有低熔点、低蒸气压、及良好的抗氧化力。由于聚焦离子束技术具有加工精度高、对材料的加工适用性好等特点，被越来越广泛地用于不同领域的微纳结构制造。
[0003]在聚焦离子束对样品扫描和/或加工时，需要对采用夹具对样品进行固定。如专利号为ZL202121181366.5(CN214844915U)的中国技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于聚焦离子束设备的装夹装置，包括基座(1)；其特征在于：还包括转动件(2)，可转动地设于所述基座(1)上；运动机构，设于所述基座(1)上、并用来驱动所述转动件(2)转动；夹头(3)，安装在所述转动件(2)上、并用来夹持住样品(100)。2.根据权利要求1所述的装夹装置，其特征在于：所述夹头(3)为套筒，且所述夹头(3)的内孔供样品(100)插置于其中。3.根据权利要求2所述的装夹装置，其特征在于：所述夹头(3)的前端沿其周向间隔分布有至少两个弹性夹爪(31)，各弹性夹爪(31)能沿所述夹头(3)的径向向内收缩或向外扩张，而使所述夹头(3)能张紧于样品(100)外部，且所述夹头(3)和转动件(2)之间设有用于调节所述夹头(3)张紧程度的调节机构。4.根据权利要求2所述的装夹装置，其特征在于：所述转动件(2)呈长条状，所述调节机构包括沿所述转动件(2)的长度方向设于其前端的插孔(21)、以及连接于所述转动件(2)前端的螺母(4)，所述插孔(21)供所述夹头(3)插装于其中、并具有用来约束所述弹性夹爪(31)的锥形段(211)，所述锥形段(211)的内径从前到后逐渐缩小；所述螺母(4)的前端具有端壁(41)，该端壁(41)与所述夹头(3)的前端...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭海林，夏超翔，张旭，赵仕燕，黄思玲，王大森，聂凤明，裴宁，李维杰，
申请(专利权)人：中国兵器科学研究院宁波分院，
类型：发明
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