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本发明涉及一种用于聚焦离子束设备的装夹装置，包括基座；其特征在于：还包括转动件，可转动地设于所述基座上；运动机构，设于所述基座上、并用来驱动所述转动件转动；夹头，安装在所述转动件上、并用来夹持住样品。本发明还涉及一种应用有前述用于聚焦离子束...
该专利属于中国兵器科学研究院宁波分院所有，仅供学习研究参考，未经过中国兵器科学研究院宁波分院授权不得商用。

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