【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种固体摄像装置制造方法，在所述固体摄像装置中，在半导体基板上形成有检测电磁波并产生信号电荷的电荷生成部，并且在所述电荷生成部的检测面上方形成有具有负固定电荷的负电荷累积层，所述方法包括以下步骤： 在所述电荷生成部的检测面上形成能够供氧的供氧膜； 形成金属膜，使得所述金属膜覆盖所述电荷生成部的检测面上的所述供氧膜；以及 在不活泼气氛中对所述金属膜进行热处理，从而在所述金属膜与所述电荷生成部的检测面上的所述供氧膜之间形成所述金属膜的氧化物，所述氧化物用作所述负电荷累积层。
【技术特征摘要】
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