一种单晶硅片制绒装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅片制绒装置，属于单晶硅片制绒技术领域，包括反应箱，所述反应箱顶部的两端分别固定连接有升降架，两个所述升降架的内腔分别转动连接有丝杆，两个所述丝杆的外侧均螺纹套接有升降块，两个所述升降块的一端延伸至升降架的外部且固定连接有悬吊块，两个所述悬吊块之间放置有放置架，所述放置架的内壁开设有多个插槽，两个所述升降架的顶面均固定连接有第一电机。本实用新型专利技术中，利用放置架上开设的多个插槽对多块单晶硅片进行放置夹持，另外通过转动座、封板以及第二电机之间的配合对反应箱内腔的顶部进行封堵，避免制绒时腐蚀液出现飞溅，提高了该单晶硅片制绒装置的实用性。硅片制绒装置的实用性。硅片制绒装置的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片制绒装置


[0001]本技术涉及单晶硅片制绒
，更具体地说，涉及一种单晶硅片制绒装置。

技术介绍

[0002]单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等，制绒是处理单晶硅片的一种工艺方法，单晶硅片在一定浓度范围的碱溶液中被腐蚀时是各向异性的，不同晶向上的腐蚀速率不一样，利用这一原理，将特定晶向的单晶硅片放入碱溶液中腐蚀，即可在硅片表面产生出许多细小的金字塔状外观，这一过程称为单晶碱制绒。
[0003]经检索，公告号为CN217052487U的技术专利公开了一种单晶硅片制绒装置，包括反应箱，所述反应箱上端靠近两侧位置均有传动机构，所述传动机构上设置有夹持机构，所述传动机构包括支撑板，所述支撑板侧壁且位于中间位置开设有竖槽，所述竖槽内侧壁之间设置有螺杆，所述螺杆底部开设有若干组齿槽，所述螺杆上设置有滑板，所述支撑板侧壁且靠近竖槽两侧位置均开设有限位槽，所述竖槽内部底端且靠近螺杆底部位置设置有齿轮，齿轮与齿槽相啮合，所述支撑板底端设置有电机；该单晶硅片制绒装置便于工作人员将单晶硅片移动至腐蚀液内部，可以有效的避免腐蚀液意外飞溅到工作人员身上，从而对单晶硅片夹持限位，便于制绒操作。但是上述专利存在以下不足：对单晶硅片进行夹持的数量较少，另外腐蚀液容易进行飞溅，为此我们提出了一种单晶硅片制绒装置。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种单晶硅片制绒装置。<br/>[0005]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案：
[0006]一种单晶硅片制绒装置，包括反应箱，所述反应箱顶部的两端分别固定连接有升降架，两个所述升降架的内腔分别转动连接有丝杆，两个所述丝杆的外侧均螺纹套接有升降块，两个所述升降块的一端延伸至升降架的外部且固定连接有悬吊块，两个所述悬吊块之间放置有放置架，所述放置架的内壁开设有多个插槽，两个所述升降架的顶面均固定连接有第一电机，所述第一电机的输出轴与丝杆的端部相连接，所述反应箱顶面的两侧分别设置有封堵机构，所述反应箱的端部设置有过滤机构。
[0007]作为本技术的一种优选方案，所述封堵机构包括固定连接在反应箱顶面的两个转动座，两个所述转动座之间转动连接有封板，所述转动座的端部固定安装有第二电机，所述第二电机的输出轴与封板转轴的一端相连接。
[0008]作为本技术的一种优选方案，所述过滤机构包括固定连接在反应箱端部的过滤箱，所述过滤箱的内腔设置有过滤棉，所述过滤棉的一侧固定套接有回流管，所述回流管的一端延伸至反应箱的内腔，所述过滤箱的另一侧固定安装有水泵，所述水泵的输出端延
伸至过滤箱的内腔，所述水泵的输入端固定连接有抽水管，所述抽水管的一端延伸至反应箱的内腔，所述过滤箱的正面铰接有密封门。
[0009]作为本技术的一种优选方案，所述放置架的两端分别开设有滑槽，所述悬吊块的内侧面固定连接有插块，所述插块的一端延伸至滑槽的内腔。
[0010]作为本技术的一种优选方案，所述反应箱的正面固定安装有控制面板。
[0011]作为本技术的一种优选方案，所述升降块的侧面与升降架的内壁相贴合。
[0012]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0013]（1）本技术中，利用放置架上开设的多个插槽对多块单晶硅片进行放置夹持，另外通过转动座、封板以及第二电机之间的配合对反应箱内腔的顶部进行封堵，避免制绒时腐蚀液出现飞溅，提高了该单晶硅片制绒装置的实用性。
[0014]（2）本技术中，通过过滤箱、水泵、抽水管、过滤棉以及回流管的配合使用，当制绒后利用水泵把反应箱内腔的腐蚀液抽进过滤箱的内腔，利用过滤箱内腔的过滤棉对腐蚀液中的废屑进行过滤，过滤后的腐蚀液从回流管排回到反应箱的内腔，实现了对腐蚀液中的废屑进行清理的功能，提高了该单晶硅片制绒装置的工作质量。
附图说明
[0015]图1为本技术的结构示意图；
[0016]图2为本技术反应箱的结构示意图；
[0017]图3为本技术放置架的结构示意图；
[0018]图4为本技术过滤机构的剖视示意图。
[0019]图中标号说明：
[0020]1、反应箱；2、升降架；3、丝杆；4、升降块；5、悬吊块；6、放置架；7、第一电机；8、过滤机构；9、封堵机构；10、插块；11、滑槽；12、插槽；13、过滤箱；14、水泵；15、抽水管；16、过滤棉；17、回流管；18、密封门；19、转动座；20、封板；21、第二电机；22、控制面板。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可
以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]实施例：
[0025]请参阅图1
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4，一种单晶硅片制绒装置，包括反应箱1，反应箱1顶部的两端分别固定连接有升降架2，两个升降架2的内腔分别转动连接有丝杆3，两个丝杆3的外侧均螺纹套接有升降块4，两个升降块4的一端延伸至升降架2的外部且固定连接有悬吊块5，两个悬吊块5之间放置有放置架6，放置架6的内壁开设有多个插槽12，两个升降架2的顶面均固定连接有第一电机7，第一电机7的输出轴与丝杆3的端部相连接，反应箱1顶面的两侧分别设置有封堵机构9，反应箱1的端部设置有过滤机构8。
[0026]本实施例中，悬吊块5的外侧面与反应箱1的内壁相平齐，另外悬吊块5的长度与反应箱1内腔的宽度相平齐，保证悬吊块5移动到反应箱1的内腔时对反应箱1内腔的对应上方进行封堵。
[0027]具体的，请参阅图1和图2，封堵机构9包括固定连接在反应箱1顶面的两个转动座19，两个转动座19之间转动连接有封板20，转动座19的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片制绒装置，包括反应箱（1），其特征在于：所述反应箱（1）顶部的两端分别固定连接有升降架（2），两个所述升降架（2）的内腔分别转动连接有丝杆（3），两个所述丝杆（3）的外侧均螺纹套接有升降块（4），两个所述升降块（4）的一端延伸至升降架（2）的外部且固定连接有悬吊块（5），两个所述悬吊块（5）之间放置有放置架（6），所述放置架（6）的内壁开设有多个插槽（12），两个所述升降架（2）的顶面均固定连接有第一电机（7），所述第一电机（7）的输出轴与丝杆（3）的端部相连接，所述反应箱（1）顶面的两侧分别设置有封堵机构（9），所述反应箱（1）的端部设置有过滤机构（8）。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片制绒装置，其特征在于：所述封堵机构（9）包括固定连接在反应箱（1）顶面的两个转动座（19），两个所述转动座（19）之间转动连接有封板（20），所述转动座（19）的端部固定安装有第二电机（21），所述第二电机（21）的输出轴与封板（20）转轴的一端相连接。3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片制...

【专利技术属性】
技术研发人员：褚俊杰，
申请(专利权)人：常州景佑微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：