液体温控系统防冻保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及液体温控系统防冻保护装置，包括温控柜，所述温控柜的内部固定安装有制冷器，所述温控柜的内部固定连接有第一隔板，所述第一隔板的顶部固定连接有液体泵，所述温控柜的内部固定连接有第二隔板，所述第二隔板的顶部固定连接有储存箱，所述储存箱的内部固定安装有加热器，所述储存箱的顶部固定安装有温度传感器，所述温控柜的底部开设有安装槽，所述安装槽的内壁上固定安装有电动推杆。该液体温控系统防冻保护装置，通过制冷器、输送管、储存箱、温度传感器、加热器和液体泵互相配合保持液体泵出口温度的稳定性，解决了现有技术经过制冷装置冷却后的液体直接供给外部，进而导致整个半导体温控设备的出口温度不稳定的问题。定的问题。定的问题。

【技术实现步骤摘要】
液体温控系统防冻保护装置


[0001]本技术涉及温控设备
，具体为一种液体温控系统防冻保护装置。

技术介绍

[0002]在半导体制程工艺中，需要严格控制反应腔的温度，存储芯片最先进的工艺是3D NAND技术，其产品制造工艺中，刻蚀属于最重要的制程之一，刻蚀工艺过程中，射频装置会产生大量热量，晶圆温度变化会影响刻蚀精度，所以晶圆加工过程中需要对加工腔的温度进行精确控制，一般采用使用氟利昂制冷系统的温控装置持续往加工平台内通入恒温介质，及时带走产生的热量，实现对晶圆加工环境的温度控制。
[0003]目前，受到制冷装置内部结构和液体流速的影响，经制冷装置冷却后的液体温度存在小幅波动，而现有的半导体温控设备中水泵将液体泵入制冷装置后，经过制冷装置冷却后的液体直接供给外部，进而导致整个半导体温控设备的出口温度不稳定，而为了提高半导体温控设备出口温度的稳定性，这就需要制冷装置提高瞬时控温的能力，增加了制冷装置瞬时控温的负担，降低了其使用寿命，故而提出一种液体温控系统防冻保护装置来解决上述中所提出的问题。

技术实现思路
<br/>[0004]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.液体温控系统防冻保护装置，包括温控柜(1)，其特征在于：所述温控柜(1)的内部固定安装有制冷器(2)，所述温控柜(1)的内部固定连接有第一隔板(3)，所述第一隔板(3)的顶部固定连接有液体泵(4)，所述温控柜(1)的内部固定连接有第二隔板(5)，所述第二隔板(5)的顶部固定连接有储存箱(6)，所述储存箱(6)的内部固定安装有加热器(7)，所述储存箱(6)的顶部固定安装有温度传感器(8)，所述温控柜(1)的底部开设有安装槽(9)，所述安装槽(9)的内壁上固定安装有电动推杆(10)。2.根据权利要求1所述的液体温控系统防冻保护装置，其特征在于：所述电动推杆(10)的输出端上固定安装有滑轮(11)，所述温控柜(1)的底部固定连接有橡胶垫(12)。3.根据权利要求1所述的液体温控系统防冻保护装置，其特征在于：所述制冷器(2)的输入端固定连接有进液管(13)，所述进液管(13)的外部固定安装有第一电磁阀(14)。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱巧玲，
申请(专利权)人：无锡海力斯环境设备有限公司，
类型：新型
国别省市：