液体温控系统防冻保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及液体温控系统防冻保护装置，包括温控柜，所述温控柜的内部固定安装有制冷器，所述温控柜的内部固定连接有第一隔板，所述第一隔板的顶部固定连接有液体泵，所述温控柜的内部固定连接有第二隔板，所述第二隔板的顶部固定连接有储存箱，所述储存箱的内部固定安装有加热器，所述储存箱的顶部固定安装有温度传感器，所述温控柜的底部开设有安装槽，所述安装槽的内壁上固定安装有电动推杆。该液体温控系统防冻保护装置，通过制冷器、输送管、储存箱、温度传感器、加热器和液体泵互相配合保持液体泵出口温度的稳定性，解决了现有技术经过制冷装置冷却后的液体直接供给外部，进而导致整个半导体温控设备的出口温度不稳定的问题。定的问题。定的问题。

【技术实现步骤摘要】
液体温控系统防冻保护装置


[0001]本技术涉及温控设备
，具体为一种液体温控系统防冻保护装置。

技术介绍

[0002]在半导体制程工艺中，需要严格控制反应腔的温度，存储芯片最先进的工艺是3D NAND技术，其产品制造工艺中，刻蚀属于最重要的制程之一，刻蚀工艺过程中，射频装置会产生大量热量，晶圆温度变化会影响刻蚀精度，所以晶圆加工过程中需要对加工腔的温度进行精确控制，一般采用使用氟利昂制冷系统的温控装置持续往加工平台内通入恒温介质，及时带走产生的热量，实现对晶圆加工环境的温度控制。
[0003]目前，受到制冷装置内部结构和液体流速的影响，经制冷装置冷却后的液体温度存在小幅波动，而现有的半导体温控设备中水泵将液体泵入制冷装置后，经过制冷装置冷却后的液体直接供给外部，进而导致整个半导体温控设备的出口温度不稳定，而为了提高半导体温控设备出口温度的稳定性，这就需要制冷装置提高瞬时控温的能力，增加了制冷装置瞬时控温的负担，降低了其使用寿命，故而提出一种液体温控系统防冻保护装置来解决上述中所提出的问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种液体温控系统防冻保护装置，具备液体泵出口温度稳定等优点，解决了现有技术经过制冷装置冷却后的液体直接供给外部，进而导致整个半导体温控设备的出口温度不稳定的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：液体温控系统防冻保护装置，包括温控柜，所述温控柜的内部固定安装有制冷器，所述温控柜的内部固定连接有第一隔板，所述第一隔板的顶部固定连接有液体泵，所述温控柜的内部固定连接有第二隔板，所述第二隔板的顶部固定连接有储存箱，所述储存箱的内部固定安装有加热器，所述储存箱的顶部固定安装有温度传感器，所述温控柜的底部开设有安装槽，所述安装槽的内壁上固定安装有电动推杆。
[0006]进一步，所述电动推杆的输出端上固定安装有滑轮，所述温控柜的底部固定连接有橡胶垫。
[0007]进一步，所述制冷器的输入端固定连接有进液管，所述进液管的外部固定安装有第一电磁阀。
[0008]进一步，所述储存箱的侧壁上固定连接有添加管，所述储存箱的底部固定连接有连接管。
[0009]进一步，所述连接管的外部固定安装有第二电磁阀，所述连接管远离储存箱的一端与液体泵的输入端固定连接。
[0010]进一步，所述液体泵的输出端固定连接有出液管，所述出液管的外部固定安装有第三电磁阀。
[0011]进一步，所述制冷器的输出端固定连接有输送管，所述输送管远离制冷器的一端与储存箱固定连接。
[0012]进一步，所述温度传感器的底部固定连接有检测探头，所述检测探头延伸至储存箱的内部。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了液体温控系统防冻保护装置，具备以下有益效果：
[0014]该液体温控系统防冻保护装置，通过制冷器、输送管、储存箱、温度传感器、加热器和液体泵互相配合保持液体泵出口温度的稳定性，降低了制冷器瞬时控温的负担，解决了现有技术经过制冷装置冷却后的液体直接供给外部，进而导致整个半导体温控设备的出口温度不稳定的问题。
附图说明
[0015]图1为本技术结构示意图；
[0016]图2为本技术图1所示A的放大结构示意图；
[0017]图3为本技术图1所示B的放大结构示意图。
[0018]图中：1温控柜、2制冷器、3第一隔板、4液体泵、5第二隔板、6储存箱、7加热器、8温度传感器、9安装槽、10电动推杆、11滑轮、12橡胶垫、13进液管、14第一电磁阀、15添加管、16连接管、17第二电磁阀、18出液管、19第三电磁阀、20输送管。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]实施例一：
[0021]请参阅图1
‑
3，本实施例中的液体温控系统防冻保护装置，包括温控柜1，温控柜1的内部固定安装有制冷器2，制冷器2属于现有技术中公众所知的常规设备，因此不对其具体的工作原理进行过多赘述，制冷器2的输入端固定连接有进液管13，进液管13的外部固定安装有第一电磁阀14，打开第一电磁阀14使液体进入制冷器2的内部，通过制冷器2对液体进行制冷处理。
[0022]本实施例中，温控柜1的内部固定连接有第一隔板3，第一隔板3的顶部固定连接有液体泵4，温控柜1的内部固定连接有第二隔板5，第二隔板5的顶部固定连接有储存箱6，制冷器2的输出端固定连接有输送管20，输送管20远离制冷器2的一端与储存箱6固定连接，液体通过输送管20进入储存箱6的内部。
[0023]需要说明的是，储存箱6的顶部固定安装有温度传感器8，温度传感器8的底部固定连接有检测探头，检测探头延伸至储存箱6的内部，通过温度传感器8对储存箱6内部的液体进行温度检测，储存箱6的内部固定安装有加热器7，通过加热器7对液体进行加热，保持液体的恒温性。
[0024]本实施例中，储存箱6的侧壁上固定连接有添加管15，储存箱6的底部固定连接有
连接管16，连接管16的外部固定安装有第二电磁阀17，连接管16远离储存箱6的一端与液体泵4的输入端固定连接，打开第二电磁阀17使液体进入液体泵4的内部，液体泵4的输出端固定连接有出液管18，出液管18的外部固定安装有第三电磁阀19，通过启动液体泵4将液体输送至出液管18的内部，持续往加工平台内通入恒温介质，及时带走产生的热量。
[0025]实施例二：
[0026]请参阅图1
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2，在实施例一的基础上，包括固定安装于温控柜1内部的电动推杆10，温控柜1的底部开设有安装槽9，电动推杆10固定安装于安装槽9的内部，电动推杆10的输出端上固定安装有滑轮11，温控柜1的底部固定连接有橡胶垫12，通过滑轮11便于移动温控柜1，提高使用的便捷性。
[0027]采用上述技术方案，实现便于移动温控柜的目的，通过滑轮11便于移动温控柜1，通过启动电动推杆10使滑轮11回缩至安装槽9的内部，使橡胶垫12与地面进行接触，提高支撑的稳定性。
[0028]上述实施例的工作原理为：
[0029]受热的液体通过进液管13进入制冷器2的内部，通过制冷器2对液体进行制冷处理，液体通过输送管20进入储存箱6的内部，通过温度传感器8对储存箱6内部的液体进行温度检测，通过加热器7对液体进行加热，保持液体的恒温性，启动液体泵4将液体通过出液管18输送至加工平台内。
[0030]上述实施例的有益效果为：
[0031]该液体温控系统防冻保护装置，通过制冷器、输送管、储存箱、温度传感器、加热器和液体泵互相配合保持液体泵出口温度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.液体温控系统防冻保护装置，包括温控柜(1)，其特征在于：所述温控柜(1)的内部固定安装有制冷器(2)，所述温控柜(1)的内部固定连接有第一隔板(3)，所述第一隔板(3)的顶部固定连接有液体泵(4)，所述温控柜(1)的内部固定连接有第二隔板(5)，所述第二隔板(5)的顶部固定连接有储存箱(6)，所述储存箱(6)的内部固定安装有加热器(7)，所述储存箱(6)的顶部固定安装有温度传感器(8)，所述温控柜(1)的底部开设有安装槽(9)，所述安装槽(9)的内壁上固定安装有电动推杆(10)。2.根据权利要求1所述的液体温控系统防冻保护装置，其特征在于：所述电动推杆(10)的输出端上固定安装有滑轮(11)，所述温控柜(1)的底部固定连接有橡胶垫(12)。3.根据权利要求1所述的液体温控系统防冻保护装置，其特征在于：所述制冷器(2)的输入端固定连接有进液管(13)，所述进液管(13)的外部固定安装有第一电磁阀(14)。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱巧玲，
申请(专利权)人：无锡海力斯环境设备有限公司，
类型：新型
国别省市：