温度调节装置、蒸发源及用于量子点发光器件的蒸镀装置制造方法及图纸

本申请提供一种温度调节装置、蒸发源及用于量子点发光器件的蒸镀装置。通过在壳体的表面开设用于放置蒸发组件的容置槽，且壳体的内腔环绕蒸发组件布置，使得当蒸发组件放置在容置槽中时，蒸发组件可以快速与壳体的内腔中的介质进行热交换。另在壳体上开设抽气口和换热口，通过抽真空组件抽取内腔中的气体，使得内腔中保持真空状态，即在蒸发组件的四周形成了真空保温层，大幅减少了热量散失，其有利于蒸发组件保持自身温度以提高蒸发组件的蒸镀效率；而通过设置送风组件向内腔中送入大量气体，使得蒸发组件可以与内腔中的气体进行热交换以快速降温，减少了维护等待时间。减少了维护等待时间。减少了维护等待时间。

【技术实现步骤摘要】
温度调节装置、蒸发源及用于量子点发光器件的蒸镀装置


[0001]本申请涉及真空蒸镀
，尤其涉及一种温度调节装置、蒸发源及用于量子点发光器件的蒸镀装置。

技术介绍

[0002]在制备OLED等显示面板的真空蒸镀过程中，常使用到蒸镀机，蒸镀机包括真空腔体以及安装在该腔体内的蒸镀托盘和蒸发源等部件；其中，待蒸镀的玻璃基板通常安装在蒸镀托盘上，蒸发源用于加热并蒸发蒸镀材料。
[0003]蒸发源在使用过程中需要保持其较高的自身温度，以避免蒸发源内部蒸镀材料降温凝结；另蒸发源经过一定时间使用后需要对其维护，则此时需要快速对蒸发源降温以缩减技术人员的维护等待时间。
[0004]通常可以选择为蒸发源设置温度调节装置以调节蒸发源的温度，但目前温度调节装置的功能单一且对蒸发源温度的调节效率较低。

技术实现思路

[0005]本申请提供一种温度调节装置、蒸发源及用于量子点发光器件的蒸镀装置，以解决现有技术中对蒸发源的温度调节效率低的技术问题。
[0006]一方面，本申请提供一种温度调节装置，用于调节蒸发组件的温度，包括：...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种温度调节装置，用于调节蒸发组件的温度，其特征在于，包括：壳体，所述壳体的外表面上形成有容置槽，所述容置槽用于容纳所述蒸发组件，所述壳体的内腔环绕所述容置槽布置，所述壳体上还开设有连通所述内腔的抽气口和换热口；抽真空组件，所述抽真空组件连通所述抽气口，所述抽真空组件用于抽取所述内腔中的气体；送风组件，所述送风组件连通所述换热口，所述送风组件用于向所述内腔中送入气体。2.如权利要求1所述的温度调节装置，其特征在于，所述壳体上还开设有连通所述内腔的出气口，所述出气口处设有出风阀。3.如权利要求2所述的温度调节装置，其特征在于，所述抽气口、和/或所述换热口，和/或所述出气口相邻布置在所述壳体的同一侧表面上。4.如权利要求2所述的温度调节装置，其特征在于，所述内腔中布置有多个挡板，多个所述挡板将所述内腔分隔形成S形迂回的换热流道。5.如权利要求4所述的温度调节装置，其特征在于，所述换热流道包括至少两条并联布置的子流道。6.如权利要求4所述的温度调节装置，其特征在于，所述挡板上间隔布置有多个微孔。7.如权利要求1
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6中任一项所述的温度调节装置，其特征在于，所述温度调节装置还包括换热器，所述换热器布置在所述送...

【专利技术属性】
技术研发人员：张成杰，
申请(专利权)人：TCL科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：