本发明专利技术涉及半导体电镀技术领域，尤其涉及一种电镀池飞靶组件及电镀装置。该电镀池飞靶组件主要包括支架、第一连接板、第二连接板和固定轴。其中，支架的下端面设置有滚轮，滚轮被配置为在电镀槽顶部的滑轨上滑动。第一连接板和第二连接板设置在支架上。固定轴的一端与第一连接板连接，固定轴的另一端与第二连接板连接；固定轴上等间隔地设置有多个安装位，安装位用于安装电镀夹具。该电镀池飞靶组件，稳定性和可靠性高，能够提高生产效率，提高电镀装置的产能，节约成本。节约成本。节约成本。
【技术实现步骤摘要】
电镀池飞靶组件及电镀装置
[0001]本专利技术涉及半导体电镀
，尤其涉及一种电镀池飞靶组件及电镀装置。
技术介绍
[0002]目前，在半导体电镀过程中通常采用电镀槽进行电镀，电镀槽上架设飞靶组件，飞靶组件携带着产品在电镀槽内的电解液中进行移动，从而完成电镀工艺。
[0003]现有技术中的电镀池飞靶组件携带产品的数量有限，产能和作业效率低。如果只通过增加电镀池飞靶组件的数量来提升产能，则会增加设备的投入成本。如果只通过增加电镀池飞靶组件的尺寸、体积来提升产能，则会使得电镀池飞靶组件的中心位置下塌，降低电镀池飞靶组件的稳定性和可靠性，甚至影响产品的电镀质量。
[0004]因此，亟需设计一种电镀池飞靶组件及电镀装置，来解决以上技术问题。
技术实现思路
[0005]本专利技术的第一目的在于提出一种电镀池飞靶组件，稳定性和可靠性高，能够提高生产效率，节约成本。
[0006]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0007]本专利技术提供一种电镀池飞靶组件，包括：
[0008]支架，所述支架的下端面设置有滚轮，所述滚轮被配置为在电镀槽顶部的滑轨上滑动；
[0009]第一连接板和第二连接板，所述第一连接板和所述第二连接板设置在所述支架上；
[0010]固定轴，所述固定轴的一端与所述第一连接板连接，所述固定轴的另一端与所述第二连接板连接；所述固定轴上等间隔地设置有多个安装位，所述安装位用于安装电镀夹具。
[0011]作为一种电镀池飞靶组件的可选技术方案，所述支架包括第一支撑件、第二支撑件和第三支撑件，所述第一支撑件与所述第三支撑件连接，所述第二支撑件与所述第三支撑件连接，且所述第三支撑件和所述固定轴平行设置；
[0012]所述第一支撑件靠近所述第三支撑件的一端朝向所述固定轴倾斜，所述第二支撑件靠近所述第三支撑件的一端朝向所述固定轴倾斜。
[0013]作为一种电镀池飞靶组件的可选技术方案，所述电镀池飞靶组件还包括第一加强板，所述第一加强板架设在所述第三支撑件上。
[0014]作为一种电镀池飞靶组件的可选技术方案，所述第一加强板上开设有第一通孔，所述固定轴穿设于所述第一通孔。
[0015]作为一种电镀池飞靶组件的可选技术方案，所述第一加强板上开设有第一避让位，部分所述第三支撑件容置在所述第一避让位内。
[0016]作为一种电镀池飞靶组件的可选技术方案，所述电镀池飞靶组件还包括多个第二
加强板，所述第二加强板架设在所述第一支撑件上，和/或，所述第二加强板架设在所述第二支撑件上。
[0017]作为一种电镀池飞靶组件的可选技术方案，所述第二加强板上开设有第二通孔，所述固定轴穿设于所述第二通孔。
[0018]作为一种电镀池飞靶组件的可选技术方案，所述第二加强板上开设有第二避让位，部分所述第一支撑件容置在所述第二避让位内，和/或，部分所述第二支撑件容置在所述第二避让位内。
[0019]作为一种电镀池飞靶组件的可选技术方案，所述第二加强板上设置有导电片，所述导电片与外界电源电连接。
[0020]本专利技术的第二目的在于提出一种电镀装置，该电镀装置稳定性和可靠性高，能够提高其产能和工作效率，达到节约成本的目的。
[0021]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0022]本专利技术提供一种电镀装置，所述电镀装置包括电镀槽和以上所述的电镀池飞靶组件，所述电镀池飞靶组件滑动设置在所述电镀槽的顶部。
[0023]本专利技术的有益效果至少包括：
[0024]本专利技术提供一种电镀池飞靶组件，主要包括支架、第一连接板、第二连接板和固定轴。其中，支架的下端面设置有滚轮，滚轮被配置为在电镀槽顶部的滑轨上滑动。第一连接板和第二连接板设置在支架上。固定轴的一端与第一连接板连接，固定轴的另一端与第二连接板连接；固定轴上等间隔地设置有多个安装位，安装位用于安装电镀夹具。通过支架、第一连接板和第二连接板的设置能够提高该电镀池飞靶组件的稳定性和可靠性，避免固定轴在运动过程中发生晃动的现象。同时，通过在每一根固定轴上等间隔地设置挂设电镀夹具的安装位，从而能够增加该电镀池飞靶组件挂设电镀夹具的数量，提高实际加工效率和电镀装置的产能，节约成本。
[0025]本专利技术还提供一种电镀装置，该电镀装置稳定性和可靠性高，能够提高其产能和工作效率，达到节约成本的目的。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对本专利技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本专利技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0027]图1为本专利技术实施例所提供的电镀池飞靶组件的结构示意图；
[0028]图2为本专利技术实施例所提供的电镀池飞靶组件的主视图。
[0029]附图标记
[0030]100、支架；110、滚轮；120、第一支撑件；130、第二支撑件；140、第三支撑件；200、第一连接板；300、第二连接板；400、固定轴；500、电镀夹具；510、产品；600、第一加强板；610、第一避让位；700、第二加强板；710、第二避让位；720、导电片。
具体实施方式
[0031]为使本专利技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本专利技术的技术方案。
[0032]在本专利技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0033]在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0034]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0035]如图1
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图2所示，本实施例提供的电镀池飞靶组件，结构简单，稳定性和可靠性高，能够提高生产本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.电镀池飞靶组件，其特征在于，包括：支架(100)，所述支架(100)的下端面设置有滚轮(110)，所述滚轮(110)被配置为在电镀槽顶部的滑轨上滑动；第一连接板(200)和第二连接板(300)，所述第一连接板(200)和所述第二连接板(300)设置在所述支架(100)上；固定轴(400)，所述固定轴(400)的一端与所述第一连接板(200)连接，所述固定轴(400)的另一端与所述第二连接板(300)连接；所述固定轴(400)上等间隔地设置有多个安装位，所述安装位用于安装电镀夹具(500)。2.根据权利要求1所述的电镀池飞靶组件，其特征在于，所述支架(100)包括第一支撑件(120)、第二支撑件(130)和第三支撑件(140)，所述第一支撑件(120)与所述第三支撑件(140)连接，所述第二支撑件(130)与所述第三支撑件(140)连接，且所述第三支撑件(140)和所述固定轴(400)平行设置；所述第一支撑件(120)靠近所述第三支撑件(140)的一端朝向所述固定轴(400)倾斜，所述第二支撑件(130)靠近所述第三支撑件(140)的一端朝向所述固定轴(400)倾斜。3.根据权利要求2所述的电镀池飞靶组件，其特征在于，所述电镀池飞靶组件还包括第一加强板(600)，所述第一加强板(600)架设在所述第三支撑件(140)上。4.根据权利要求3所述的电镀池飞靶组件，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩友生，方荣平，赵改兵，
申请(专利权)人：昆山东威科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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