一种检测用于芯片测试板卡的继电器的装置制造方法及图纸

本公开揭示了一种检测用于芯片测试板卡的继电器的装置，包括：测试机，用于输出激励控制信号；继电器，用于基于激励控制信号控制测试机上的芯片测试通道对芯片上的待测芯片管脚进行切换测试；检测单元，用于读取激励控制信号以及用于读取继电器在控制芯片测试通道对芯片上待测芯片管脚进行切换测试时输出的响应信号，并通过比对激励控制信号和响应信号以对继电器进行检测。以对继电器进行检测。以对继电器进行检测。

【技术实现步骤摘要】
一种检测用于芯片测试板卡的继电器的装置


[0001]本公开属于半导体测试
，具体涉及一种检测用于芯片测试板卡的继电器的装置。

技术介绍

[0002]随着芯片设计与制造行业的飞速发展，半导体的制造规模越来越大，芯片管脚数量在某些类型芯片上明显增多，而测试机平台的使用成本往往会随着测试机测试通道的资源数量增加而增加。尤其是面对日益增长的芯片管脚数量，在测试前需要对芯片测试所需要的资源进行评估，需要选用满足芯片测试要求的测试机。
[0003]目前，在一些特殊产品以及测试要求下，以3380D平台为例，测试机IO通道共有256个。如测试QFN56、QFN64等封装芯片，甚至更多管脚封装的芯片，在对此类芯片进行测试时，如果将测试机通道与芯片管脚一一对应连接，则一台测试机同时能够测试的最大芯片数量受到测试机通道数限制。如3380D对QFN64封装芯片，一般只能够做到对4颗芯片同时测试。且一般测试方案中大部分IO管脚只会进行开短路(OS，OPEN/SHORT)测试，大部分IO管脚在除OS测试外都不会用到，会造成测试机IO通道的资源闲置。目前，为了充分利用IO测试机资源，实现增加并行测试数量，可以通过控制器和继电器实现测试机通道在两个芯片管脚之间进行切换，如图1所示，使用控制器对继电器进行控制，在使用G6KU
‑
2Y条件下，能够通过一个控制信号RL0，同时控制测试机通道ATE CH1和ATE CH2(测试机通道类型包括IO、DPS、PMU)，使测试机通道ATE CH1能够在芯片管脚IC PIN1与IC PIN2之间切换，以及使测试机通道ATE CH2能够在芯片管脚IC PIN3与IC PIN4之间切换，实现测试机一个测试通道对两个芯片管脚进行测量或者供电，可以提高测试效率，能够使用资源较少的测试机满足较高需求的芯片测试，显著降低生产成本。
[0004]在部分芯片测试中，会要求对芯片管脚进行开短路(OS，OPEN/SHORT)测试后再将芯片管脚切换连接至外围电路。如图2所示，通过控制器控制继电器，在使用G6KU
‑
2Y条件下，能够通过控制信号RL0同时控制芯片管脚IC PIN1与IC PIN2，使芯片管脚IC PIN1能够在测试机通道ATE CH1与外围电路OUT PIN1之间切换；使芯片管脚IC PIN2能够在测试机通道ATE CH2与外围电路OUT PIN2之间切换，从而满足芯片不同测试项的芯片管脚连接要求。
[0005]在实际使用继电器对IO通道进行扩展切换时，由于继电器只受测试机控制信号RL0控制，而不会将继电器的工作状态反馈至测试机，使得测试机无法获得继电器的状态信息，即测试机不知道继电器是否切换成功，故当继电器失效时，测试机的测试通道可能会无法切换，导致测试通道一直连接某一管脚，从而导致测试数据的管脚与程序控制的应测管脚对应不上。
[0006]例如在对IO测试通道进行扩展，如图1用测试机通道ATE CH1测量芯片管脚IC PIN1与IC PIN2时，OS测试的是芯片管脚IC PIN1、IC PIN2上的电压。当测试机用ATE CH1测完芯片管脚IC PIN1后，继电器如果不能将测试机通道ATE CH1正确连接到芯片管脚IC PIN2，则会导致测试机测量到的数据依旧为芯片管脚IC PIN1的数据，但是该数据会被测试
机保存为芯片管脚IC PIN2的数据，导致数据错误。如果芯片管脚IC PIN1测量数据满足测试要求，即PASS，但芯片管脚IC PIN2实际为FAIL，故当继电器失效或者切换错误时，OS测试无法测到所有需测管脚，导致部分芯片管脚(如IC PIN1)测量两次，部分芯片管脚(如IC PIN2)未测，且在OS测试中不同管脚PASS设置的上下限一样，会导致测试机判断芯片管脚IC PIN1与IC PIN2的OS测试通过，但实际整个芯片为不良品，且无法通过数据检查出来漏测情况。在生产过程中会出现大量不良品漏测，需要对电路进行检查以及对整批产品进行复测，导致测试可靠性以及生产效率降低。尤其是在面对不可复测芯片时，已测一次的芯片将不可复测，只能整批丢弃，产生经济损失。

技术实现思路

[0007]针对现有技术中的不足，本公开的目的在于提供一种检测用于芯片测试板卡的继电器的装置，该装置能够基于继电器对待测芯片管脚进行切换测试的同时对继电器本身的工作状态进行检测，以避免继电器因损坏而导致芯片管脚漏测从而造成不良品未被检出。
[0008]为实现上述目的，本公开提供以下技术方案：
[0009]一种检测用于芯片测试板卡的继电器的装置，包括：
[0010]测试机，用于输出激励控制信号；
[0011]继电器，用于基于激励控制信号控制测试机上的芯片测试通道对芯片上的待测芯片管脚进行切换测试；
[0012]检测单元，用于读取激励控制信号以及用于读取继电器在控制芯片测试通道对芯片上待测芯片管脚进行切换测试时输出的响应信号，并通过比对激励控制信号和响应信号以对继电器进行检测。
[0013]优选的，所述继电器包括切换部分和输出部分，其中，
[0014]切换部分用于基于激励控制信号以控制测试机上的芯片测试通道对待测芯片管脚进行切换测试；
[0015]输出部分用于切换部分在基于激励控制信号控制芯片测试通道对待测芯片管脚进行切换测试的同时输出响应信号。
[0016]优选的，所述检测单元包括微控制单元MCU。
[0017]优选的，所述装置还包括稳压单元，用于对继电器进行稳压控制。
[0018]本公开还提供一种检测用于芯片测试板卡的继电器的方法，包括以下步骤：
[0019]S100：测试机输出激励控制信号；
[0020]S200：继电器基于激励控制信号控制测试机上的芯片测试通道对芯片上的待测芯片管脚进行切换测试；
[0021]S300：检测单元实时读取激励控制信号以及读取继电器在基于激励控制信号控制芯片测试通道对芯片上的待测芯片管脚进行切换测试时输出的响应信号，并通过比对激励控制信号和响应信号以对继电器进行检测。
[0022]优选的，步骤S300中，若激励控制信号和响应信号为同电平信号，则继电器正常；若激励控制信号和响应信号为异电平信号，则继电器异常。
[0023]本公开还提供一种检测用于芯片测试板卡的多个继电器阵列的装置，包括：
[0024]测试机，用于输出激励控制信号；
[0025]检测单元，用于读取多个继电器阵列在激励控制信号的激励下输出的多个响应信号序列，并通过对多个响应信号序列进行比对，以对继电器阵列中的异常继电器进行检测。
[0026]优选的，所述检测单元包括微控制单元MCU。
[0027]本公开还提供一种检测用于芯片测试板卡的多个继电器阵列的方法，包括以下步骤：
[0028]S1000：测试机输出激励控制信号；
[0029]S2000：检测单元读取多个继电器阵列在激励控制信号的激励下输出的多个响应信号序列；
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测用于芯片测试板卡的继电器的装置，包括：测试机，用于输出激励控制信号；继电器，用于基于激励控制信号控制测试机上的芯片测试通道对芯片上的待测芯片管脚进行切换测试；检测单元，用于读取激励控制信号以及用于读取继电器在控制芯片测试通道对芯片上待测芯片管脚进行切换测试时输出的响应信号，并通过比对激励控制信号和响应信号以对继电器进行检测。2.根据权利要求1所述的装置，其中，优选的，所述继电器包括切换部分和输出部分，其中，切换部分用于基于激励控制信号以控制测试机上的芯片测试通道对待测芯片管脚进行切换测试；输出部分用于切换部分在基于激励控制信号控制芯片测试通道对待测芯片管脚进行切换测试的同时输出响应信号。3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述检测单元包括微控制单元MCU。4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述装置还包括稳压单元，用于对继电器进行稳压控制。5.一种检测用于芯片测试板卡的继电器的方法，包括以下步骤：S100：测试机输出激励控制信号；S200：继电器基于激励控制信号控制测试机上的芯片测试通道对芯片上的待测芯片管脚进...

【专利技术属性】
技术研发人员：阳靖，钱向东，卢旭坤，蒋卓怡，李沛东，旷法佳，张亦锋，
申请(专利权)人：上海利扬创芯片测试有限公司，
类型：发明
国别省市：