一种微型电磁执行器及其制备方法技术

本发明专利技术属于电磁执行器技术领域，尤其涉及一种微型电磁执行器及其制备方法，所述微型电磁执行器包括：转子和定子；转子包括永磁薄膜和质量块，质量块设置于永磁薄膜的上方；定子包括硅基板、驱动线圈和检测线圈；硅基板位于永磁薄膜的下方，驱动线圈设置于硅基板上并用于驱动转子在定子上运动；检测线圈设置于硅基板上并用于定位转子的运动轨迹。本发明专利技术通过在所述微型电磁执行器中定子的硅基板上同时设置驱动线圈和检测线圈，使得所述微型电磁执行器能够在驱动所述转子的同时检测所述转子运动轨迹，具备小型化、集成化、驱动和定位一体化等优点；同时无需额外进行组装，使用更加便捷。使用更加便捷。使用更加便捷。

【技术实现步骤摘要】
一种微型电磁执行器及其制备方法


[0001]本专利技术属于电磁执行器
，尤其涉及一种微型电磁执行器及其制备方法。

技术介绍

[0002]MEMS全称是Micro
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Electro
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Mechanical
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System，亦即微电子机械系统。MEMS集成微传感器、微执行器、信号处理电路、通讯接口和微能源等于一体，形成一个微型的智能器件或系统，此器件和系统的尺寸一般在毫米级别乃至更小，内部的结构可达微米至纳米级别。微型电磁执行器具有力密度大、环境适应性强、驱动距离长等优点，可应用于靶向输送、手术机器人等医疗器械中，具有广泛的应用场景。
[0003]微型电磁执行器在使用时通常需要对转子的运动轨迹进行实时检测，但市面上的微型电磁执行器自身均不具备检测功能，需要额外设置的传感器，如激光位移传感器、涡流传感器、隧道磁阻传感器等来进行检测，微型电磁执行器和传感器组装起来较为复杂，给用户使用带来不便。因此，有必要设计一种新的方案以解决上述问题。

技术实现思路

>[0004]本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微型电磁执行器，其特征在于，包括：转子，所述转子包括永磁薄膜和质量块，所述质量块设置于所述永磁薄膜的上方；定子，所述定子包括硅基板、驱动线圈和检测线圈；所述硅基板位于所述永磁薄膜的下方，所述驱动线圈设置于所述硅基板上并用于驱动所述转子在所述定子上运动；所述检测线圈设置于所述硅基板上并用于定位所述转子的运动轨迹。2.根据权利要求1所述的微型电磁执行器，其特征在于，所述检测线圈设置于所述硅基板的顶面上，所述检测线圈包括窄截面段和多个宽截面段，所述窄截面段呈方波状排布于所述硅基板的顶面边缘处；多个所述宽截面段间隔设置于所述硅基板的顶面中间处，每一所述宽截面段均与所述窄截面段的内侧处连接，所述宽截面段用于与所述转子接触。3.根据权利要求2所述的微型电磁执行器，其特征在于，所述检测线圈的周侧涂覆有树脂层，所述树脂层的顶面与所述检测线圈的顶面齐平。4.根据权利要求2所述的微型电磁执行器，其特征在于，相邻两所述宽截面段的径向间距小于所述转子的径向长度，以使所述转子在所述定子的表面运动时与至少一所述宽截面段接触。5.根据权利要求1所述的微型电磁执行器，其特征在于，所述永磁薄膜为多极充磁的永磁薄膜。6.根据权利要求1
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5任意一项所述的微型电磁执行器，其特征在于，所述驱动线圈嵌于所述硅基板的顶面；所述检测线圈设置于所述驱动线圈的上方，所述检测线圈与所述驱动线圈互不接触。7.根据权利要求6所述的微型电磁执行器，其特征在于，所述驱动线圈包括第一相线圈和第二相线圈；所述第一相线圈和所述第二相线圈呈方波状交错设置于所述硅基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：王月，朱瑞威，
申请(专利权)人：深圳陕煤高新技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：