温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于电磁执行器技术领域，尤其涉及一种微型电磁执行器及其制备方法，所述微型电磁执行器包括：转子和定子；转子包括永磁薄膜和质量块，质量块设置于永磁薄膜的上方；定子包括硅基板、驱动线圈和检测线圈；硅基板位于永磁薄膜的下方，驱动线圈设置于硅基...
该专利属于深圳陕煤高新技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳陕煤高新技术研究院有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。