一种面板行业用IGZO/铝兼容蚀刻液及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种面板行业用IGZO/铝兼容蚀刻液，其包含按重量计40

【技术实现步骤摘要】
一种面板行业用IGZO/铝兼容蚀刻液及其制备方法


[0001]本专利技术涉及液晶显示器薄膜晶体管(TFT)行业电子化学品
，具体涉及一种面板行业用IGZO/铝兼容蚀刻液及其制备方法。

技术介绍

[0002]一般而言，平板显示装置根据驱动方法分为无源驱动方式和有源驱动方式，有源驱动方式具有使用薄膜晶体管(TFT)的电路。这样的电路主要用于液晶显示装置(LCD)和有机电致发光显示装置(OELD)等平板显示装置中。上述有源驱动方式的平板显示装置不仅分辨率及视频呈现能力优异，而且对于显示装置的大面积化更加有利。
[0003]这样的有源驱动方式的平板显示装置需要通过将由相互不同的导电物质形成的各个导电膜图案化来形成包含栅电极、源电极/漏电极的薄膜晶体管、众多的配线及像素电极。例如，栅电极由作为低电阻的导电物质的Al、Mo、Cu及它们的合金形成。此外，源电极/漏电极由Mo、Cr、Al及它们的合金形成，作为像素电极，由ITO或IZO或IGZO的透明电极形成。此外，上述导电膜可以由单层膜形成，但为了获得更佳的特性，也可以由利用相互不同的物质形成的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种面板行业用IGZO/铝兼容蚀刻液，其包含按重量计40
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60％磷酸；5
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9％硝酸；3
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6％有机酸；0.5
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0.8％部分水解聚丙烯酰胺；0.1
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1％氯化盐；0.1
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0.8％碱性化合物；和使蚀刻液总重量成为100％的水。2.权利要求1的蚀刻液，其中所述有机酸选自有机羧酸化合物、乙酸、丙酸、丁酸、琥珀酸、柠檬酸、乳酸、苹果酸、酒石酸、丙二酸、马来酸、戊二酸、乌头酸。3.权利要求2的蚀刻液，其中所述有机酸选自柠檬酸。4.权利要求1的蚀刻液，其中所述部分水解聚丙烯酰胺的水解度选自15％
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30％。5.权利要求1的蚀刻液，其中所述氯化盐选自氯化钠、氯化钾和氯化铵。6.权利要求5的蚀刻液，其中所述氯化盐选自氯化钠。7.权利要求1的蚀刻液，其中所述碱性化合物选自氨、氢氧化...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁晓雷，戈烨铭，汤晓春，
申请(专利权)人：江阴润玛电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：