【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于产生激光束的系统、设备和方法
技术介绍
[0001]软件、电子器件和材料科学的进步催生了许多先进的科学仪器,这些科学仪器利用和实施激光器来执行各种关键操作。特别地,这些先进的科学仪器中的许多科学仪器可采用激光器来实现高通量。
[0002]激光器是一种基于电磁辐射的受激发射经由光学放大过程发射光的设备。激光器发射相干光,也就是说,激光的频率和波形是相同的。激光束的空间相干性可使得激光束能够在一距离上保持狭窄,并且在激光束传播时最小限度地扩散,因此激光束可用作准直光束。许多激光器产生可由高斯函数近似的高斯光束和/或高斯形状轮廓;然而,一些应用可能受益于具有平顶形状的轮廓。
技术实现思路
[0003]本专利技术公开并且描述了用于产生具有平坦强度轮廓的光束或平顶光束的系统、设备和方法。在一个方面,一对柱面透镜阵列可用于沿二极管激光器的慢轴线(X)对光束轮廓进行均匀化。在另一个方面,激光束可通过使用快轴线准直透镜沿快轴线(Y)被准直。
[0004]在一个方面,为了增加功率密度,多个准直的激光束沿y方向非常接近地堆叠。在一些实施方式中,激光二极管可相对于彼此倾斜,以移动(shift)每个光束的强度峰值,并且因此组合光束可具有改善强度均匀性的平顶轮廓。
[0005]在一个方面,两个类似的激光二极管光束可通过使用偏振组合立方体进行偏振组合,以使总功率加倍。
[0006]在当前专利技术的另一个方面,可以使用分色镜以一定间距形成两条不同波长的高功率均匀线。
附图说明
[0007]对于本专利技术的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.如本文中所描述的方法、设备或系统。2.一种用于产生平顶激光束的设备或系统,所述设备或系统包括:光源;第一柱面透镜阵列,所述第一柱面透镜阵列具有面向所述光源的多个凸透镜;第二柱面透镜阵列,所述第二柱面透镜阵列具有背向所述光的多个凸透镜。3.根据权利要求2所述的设备或系统,所述第一柱面透镜阵列和所述第二柱面透镜阵列被可操作地布置成使得所述第一柱面透镜阵列接收来自所述光源的光,第二透镜阵列接收来自第一透镜阵列的光,并且由此产生具有平顶强度轮廓的光束或平顶光束。4.根据权利要求2或3中任一项所述的设备或系统,所述第一透镜阵列和所述第二透镜阵列限定一对柱面透镜阵列。5.根据权利要求2、3或4中任一项所述的设备或系统,所述第一透镜阵列和所述第二透镜阵列之间的距离大于所述第二透镜阵列的焦距,但小于所述第一透镜阵列的焦距和所述第二透镜阵列的焦距的总和。6.根据权利要求4或5所述的设备或系统,所述一对透镜阵列被能操作地布置成沿二极管激光器的慢轴线(X)对光束轮廓进行均匀化。7.根据权利要求2至6中任一项所述的设备或系统,所述第一透镜阵列和所述第二透镜阵列被可操作地布置成接收激光束,所述第一透镜阵列和所述第二透镜阵列对所述激光束进行准直。8.根据权利要求7所述的设备或系统,通过包括并且使用快轴线准直透镜或柱面透镜,或所述快轴线准直透镜和所述柱面透镜两者来沿快轴线(Y)进行所述准直。9.根据权利要求6、7或8中任一项所述的设备或系统,多个准直的激光束沿y方向非常接近地堆叠,以增加功率密度。10.根据权利要求2至9中任一项所述的设备或系统,所述光源包括两个或更多个激光二极管;所述激光二极管相对于彼此倾斜,以移动每个光束的强度峰值,并且因此组合光束具有改善强度均匀性的平顶轮廓。11.根据权利要求2至10中任一项所述的设备或系统,所述光源包括两个或更多个激光二极管;所述激光二极管产生两个类似的激光二极管光束,所述激光二极管光束通过包括和使用偏振组合立方体进行偏振组合,以使总功率加倍。12.根据权利要求2至11中任一项所述的设备或系统,所述设备或系统包括两个或更多个分色镜,所述分色镜以一定间距形成两条不同波长的高功率均匀线。13.根据前述权利要求中任一项所述的设备或系统,所述设备或系统还包括快轴线准直透镜或慢轴线准直透镜,或所述快轴线准直透镜和所述慢轴线准直透镜两者。14.根据前述权利要求中任一项所述的设备或系统,所述设备或系统还包括慢轴线准直透镜或柱面透镜,或所述慢轴线准直透镜和所述柱面透镜两者。15.根据前述权利要求中任一项所述的设备或系统,所述设备或系统还包括一个或多个聚焦透镜。16.根据前述权利要求中任一项所述的设备或系统,所述光源是二极管激光器。
17.根据前述权利要求中任一项所述的设备或系统,所述光源是一个或多个二极管激光器。18.根据前述权利要求中任一项所述的设备或系统,所述设备或系统还包括快轴线准直透镜,所述快轴线准直透镜具有两个或更多个半圆柱形凸透镜或微透镜,所述两个或更多个半圆柱形凸透镜或微透镜沿结构的一个侧面的整个长度延伸。19.一种用于产生平顶激光束的设备或系统,所述设备或系统包括:光源;快轴线准直透镜;慢轴线准直透镜;一对柱面透镜阵列;以及,一个或多个聚焦透镜,所述一个或多个聚焦透镜用于将光束聚焦在成像平面上。20.根据权利要求19所述的设备或系统,所述一对柱面透镜阵列沿所述光源的慢轴线对光束轮廓进行均匀化。21.根据权利要求19或20中任一项所述的设备或系统,所述一个或多个聚焦透镜对所接收到的细光束进行组合和/或成像,并且使所述接收到的细光束在成像平面上重叠。22.根据权利要求19至21中任一项所述的设备或系统,所述设备或系统还具有第一透镜阵列和第二透镜阵列之间的距离,所述距离大于所述第二透镜阵列的焦距,但小于所述第一透镜阵列的焦距和所述第二透镜阵列的焦距的总和。23.一种用于处理激光束的方法,所述方法包括:将激光引导到第一柱面透镜阵列中;将所述激光从第一阵列传播到第二柱面透镜阵列;以及将所得到的光束引导到成像平面。24.根据权利要求23所述的方法,所述方法还包括:沿光束的慢轴线(X)对所述光束进行均匀化。25.根据权利要求23至24中任一项所述的方法,所述方法还包括:沿所述光束的快轴线(Y)对所述光束进行均匀化。26.根据权利要求23至25中任一项所述的方法,所述方法还包括:通过包括并且使用慢轴线准直透镜来沿所述慢轴线(X)对所述光束进行准直。27.根据权利要求23至26中任一项所述的方法,所述方法还包括:通过包括并且使用快轴线准直透镜来沿所述快轴线(Y)对所述光束进行准直。28.根据权利要求23至27中任一项所述的方法,所述方法还包括提供两个或更多个准直的激光束。29.根据权利要求28所述的方法,所述方法还包括:堆叠所述两个或更多个准直的激光束,以增加功率密度。30.根据权利要求29所述的方法,所述方法还包括:使所述光束中的一个或多个光束相对于彼此改变或倾斜,以移动每个光束的强度峰值。31.根据权利要求30所述的方法,所述方法还包括:对光束进行组合以修改平顶轮廓的强度均匀性。32.根据权利要求23至31中任一项所述的方法,所述方法还包括:布置第一透镜阵列和
第二透镜阵列,所述阵列之间具有一距离。33.根据权利要求32所述的方法,所述方法还包括:选择所述第一透镜阵列和所述第二透镜阵列之间的距离,以使所述距离大于所述第二透镜阵列的焦距,但小于所述第一透镜阵列的焦距和所述第二透镜阵列的焦距的总和。34.根据权利要求23至33中任一项所述的方法,所述方法还包括:提供一个或多个偏振组合立方体,以增加总功率。35.根据权利要求23至34中任一项所述的方法,所述方法还包括:包括两个或更多个分色镜,所述分色镜以一间距形成两条不同波长的高功率均匀线。36.一种用于对光源进行准直和均匀化的方法,所述方法包括:提供光源;引导一个或多个细光束通过慢轴线透镜;用所述细光束填充第一柱面透镜阵列的一个或多个微透镜;将所述细光束透射到第二柱面透镜阵列;对所述细光束进行成像以使所述细光束重叠;以及使成像平面中的所述细光束聚焦。37.根据权利要求36所述的方法,所述方法还包括:使用激光二极管作为光源。38.根据权利要求37所述的方...
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