角度调节机构和加工设备制造技术

本实用新型专利技术的实施例提供了一种角度调节机构和加工设备。角度调节机构包括固定座、安装座、被调节件和锁紧件，固定座上设置有凹陷部；安装座包括沿预定轴线相对的第一端部和第二端部，第一端部绕预定轴线可旋转地容纳在凹陷部内；锁紧件带动被调节件和安装座绕预定轴线可旋转，被调节件位于安装座和锁紧件之间，锁紧件压紧被调节件并连接至第二端部。在该角度调节机构中，第一端部绕预定轴线可旋转地容纳在凹陷部内，凹陷部的设置可以使得角度调节机构的结构更加小巧，从而可以节省安装空间，而且在调节过程中凹陷部可以起到较好的导向作用。并且固定座的非凹陷部的部分可以具有较好的机械强度，从而可以为角度调节机构提供足够的连接强度。够的连接强度。够的连接强度。

【技术实现步骤摘要】
角度调节机构和加工设备


[0001]本技术涉及物料加工
，具体地，涉及一种角度调节机构和一种加工设备。

技术介绍

[0002]在以半导体器件(例如晶圆)为例的物料加工领域，半导体器件的切割工序是很重要的一个工序。切割方式通常有两种：一种是刀轮切割，另一种是激光切割。以激光切割(业内也称之为隐形切割，简称隐切)为例，通过将激光光束聚集在待加工物料内部，从而形成炸点。通过精确控制聚焦物镜与物料表面之间的距离，在物料内部形成微裂缝，再通过劈刀或真空裂片使彼此相邻的晶粒分离。
[0003]传统的激光加工设备的波片经常会用在加工机构里。波片是具有特定双折射的透明片。通过旋转波片，从而可以控制光束的偏振态。因此，提供了一种角度调节机构。角度调节机构包括安装本体、锁紧环和波片。锁紧环上设置有两颗螺钉(或者两个小凸台)，从而作为拧紧锁紧环的受力点。然而这种结构由于要考虑机械强度，因此通常安装本体的厚度较大，从而导致角度调节机构的尺寸较大，这样对安装空间的要求也较高。

技术实现思路

[0004]为了至少部分地解决现有技术中存在的问题，根据本技术的一个方面，提供了一种角度调节机构。角度调节机构包括：固定座，所述固定座上设置有凹陷部；安装座，所述安装座包括沿预定轴线相对的第一端部和第二端部，所述第一端部绕所述预定轴线可旋转地容纳在所述凹陷部内；被调节件；以及带动所述被调节件和所述安装座绕所述预定轴线可旋转的锁紧件，所述被调节件位于所述安装座和所述锁紧件之间，所述锁紧件压紧所述被调节件并连接至所述第二端部。
>[0005]示例性地，沿与所述预定轴线垂直的第一侧向方向，所述凹陷部延伸至所述固定座的侧面。
[0006]示例性地，所述固定座上设置有沿所述预定轴线延伸的插孔，所述插孔贯通至所述凹陷部的底壁，所述第一端部插接至所述插孔中。
[0007]示例性地，所述安装座包括基部以及沿所述预定轴线方向从所述基部向所述固定座凸出第一环形凸起，所述第一环形凸起的端部形成所述第一端部，所述第一环形凸起插接至所述插孔内。
[0008]示例性地，所述安装座包括沿所述预定轴线方向从所述基部向远离所述固定座的一侧凸出的第二环形凸起，所述第二环形凸起的端部形成所述第二端部，所述第二环形凸起包围所述被调节件，所述锁紧件压紧所述被调节件并连接至所述第二环形凸起。
[0009]示例性地，所述锁紧件与所述第二环形凸起螺纹连接。
[0010]示例性地，所述固定座上设置有沿垂直于所述预定轴线的第二侧向方向连通至所述插孔的固定孔，所述角度调节机构还包括固定件，所述固定件连接至所述固定孔并抵接
所述第一端部。
[0011]示例性地，所述凹陷部的底壁上设置有螺纹孔，所述安装座上设置有绕所述预定轴线的弧形限位槽，所述角度调节机构还包括螺纹连接件，所述螺纹连接件穿过所述弧形限位槽，并在调节位置和锁紧位置之间螺纹连接至所述螺纹孔，所述螺纹连接件处于所述调节位置时、所述锁紧件带动所述被调节件和所述安装座绕所述预定轴线可旋转，所述螺纹连接件处于所述锁紧位置时锁紧所述安装座。
[0012]示例性地，所述锁紧件的背向所述被调节件的端面上设置有刻槽，所述刻槽垂直于所述预定轴线且与所述预定轴线相交。
[0013]示例性地，所述角度调节机构还包括操作片，所述操作片可拆卸地插接至所述刻槽。
[0014]本技术另一方面还提供了一种加工设备。加工设备包括光学装置，所述光学装置包括前述所述的角度调节机构，所述被调节件为波片。
[0015]本技术实施例提供的角度调节机构，当需要调节被调节件时，可以通过旋转锁紧件，从而可以带动被调节件和安装座绕预定轴线旋转，因此操作简洁。本方案中，第一端部绕预定轴线可旋转地容纳在凹陷部内，凹陷部的设置可以使得角度调节机构的结构更加小巧，从而可以节省安装空间，而且在调节过程中凹陷部可以起到较好的导向作用。并且固定座的非凹陷部的部分可以具有较好的机械强度，从而为角度调节机构提供足够的连接强度。以及，本技术实施例提供的角度调节机构，在调节被调节件时，当锁紧件旋转到位后，被调节件不会改变位置，从而可以避免角度发生改变。因此，角度调节机构的使用效果较好。
[0016]在
技术实现思路
中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本
技术实现思路
部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。
[0017]以下结合附图，详细说明本技术的优点和特征。
附图说明
[0018]本技术的下列附图在此作为本技术的一部分用于理解本技术。附图中示出了本技术的实施方式及其描述，用来解释本技术的原理。在附图中，
[0019]图1为根据本技术的一个示例性实施例的角度调节机构的立体图；
[0020]图2为图1中示出的角度调节机构的爆炸图；
[0021]图3为图1中示出的角度调节机构的主视图；
[0022]图4为图3中的A
‑
A剖视图。
[0023]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0024]100、固定座；110、凹陷部；111、底壁；120、插孔；130、固定孔；140、连接孔；150、螺纹孔；200、安装座；201、第一端部；202、第二端部；210、第一环形凸起；220、第二环形凸起；230、基部；240、弧形限位槽；300、被调节件；400、锁紧件；410、刻槽；500、操作片。
具体实施方式
[0025]在下文的描述中，提供了大量的细节以便能够彻底地理解本技术。然而，本领
域技术人员可以了解，如下描述仅示例性地示出了本技术的优选实施例，本技术可以无需一个或多个这样的细节而得以实施。此外，为了避免与本技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行详细描述。
[0026]根据本技术的一个方面，提供了一种角度调节机构。该角度调节机构可以应用至任意合适的设备中，包括但不限于加工设备或者探伤设备。因此，根据本技术的另一个方面，还提供了一种加工设备。加工设备包括但不限于激光加工设备。该加工设备可以对例如晶圆等物料进行上下料、加工以及其他处理。下面结合具体实施例对本技术实施例的角度调节机构和加工设备进行详细描述。
[0027]如图1
‑
4所示，角度调节机构可以包括固定座100、安装座200、被调节件300以及锁紧件400。
[0028]固定座100可以起到固定的作用。具体地，固定座100可以通过焊接、粘贴或者连接件连接等任意合适的方式连接至其应用至的设备上的支架、基座或者其他任意合适的部件上。在图中示出的实施例中，固定座100上可以设置有一个或者多个连接孔140。角度调节机构还可以包括铆钉、螺钉或者其他任意合适的连接件。该连接件可以穿过连接孔140，从而将固定座100固定至其他部件上。固定座1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种角度调节机构，其特征在于，包括：固定座，所述固定座上设置有凹陷部；安装座，所述安装座包括沿预定轴线相对的第一端部和第二端部，所述第一端部绕所述预定轴线可旋转地容纳在所述凹陷部内；被调节件；以及带动所述被调节件和所述安装座绕所述预定轴线可旋转的锁紧件，所述被调节件位于所述安装座和所述锁紧件之间，所述锁紧件压紧所述被调节件并连接至所述第二端部。2.如权利要求1所述的角度调节机构，其特征在于，沿与所述预定轴线垂直的第一侧向方向，所述凹陷部延伸至所述固定座的侧面。3.如权利要求1所述的角度调节机构，其特征在于，所述固定座上设置有沿所述预定轴线延伸的插孔，所述插孔贯通至所述凹陷部的底壁，所述第一端部插接至所述插孔中。4.如权利要求3所述的角度调节机构，其特征在于，所述安装座包括基部以及沿所述预定轴线方向从所述基部向所述固定座凸出第一环形凸起，所述第一环形凸起的端部形成所述第一端部，所述第一环形凸起插接至所述插孔内。5.如权利要求4所述的角度调节机构，其特征在于，所述安装座包括沿所述预定轴线方向从所述基部向远离所述固定座的一侧凸出的第二环形凸起，所述第二环形凸起的端部形成所述第二端部，所述第二环形凸起包围所述被调节件，所述锁紧件压紧所述被调节件并连接至所述第二环形凸起。6.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡发富，杨深明，
申请(专利权)人：深圳镁伽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：