镜片同轴调节结构、检测模组及激光加工设备制造技术

本申请公开了一种镜片同轴调节结构、检测模组及激光加工设备。镜片同轴调节结构应用于激光加工，包括：固定筒，固定筒的顶端设有相机，固定筒的侧壁设有条形孔，条形孔沿固定筒的轴向设置；镜片安装筒，设于固定筒内，且能沿着固定筒移动；镜片安装筒内设有第一镜片；插销，设于镜片安装筒的外侧；调节筒，套设于固定筒的外侧，调节筒的内壁设有螺纹；插销穿过条形孔并插设于螺纹中。本申请提供一种能沿轴向移动第二镜片从而调节相机两镜片之间距离、保证镜片同轴度的镜片同轴调节结构、检测模组及激光加工设备。激光加工设备。激光加工设备。

【技术实现步骤摘要】
镜片同轴调节结构、检测模组及激光加工设备


[0001]本申请涉及激光加工
，尤其涉及一种镜片同轴调节结构、检测模组及激光加工设备。

技术介绍

[0002]划片机是一种通过激光对晶圆进行划片的设备。划片机上设置有相机，划片过程中，相机用可来检测激光焦点是否在切割道上。划片前，需要调节相机的焦点，使相机能拍摄到清晰画面。
[0003]现有技术中，调节相机时一般是通过两个套在一起的套筒实现，相机安装在一个套筒上，镜片安装在另一套筒上，两个套筒螺纹连接。当拧其中一个套筒时，两个套筒之间就会发生相对移动，实现升降，从而调节镜片与相机之间的距离，也就是调节相机的焦点。这种调节方式中，被调节的镜片在升降的同时还跟随套筒旋转，由于螺纹的齿是有角度的，在调节过程中，两个镜片无法保证完全同轴，会产生偏移。同时，调节过程中相机也会跟随套筒移动，可靠性较差。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本申请提供一种能沿轴向移动第二镜片从而调节相机的两镜片之间距离、保证镜片同轴度的镜片同轴调节结构、检测模组及激光加工设备。
[0005]为达此目的，本申请采用以下技术方案：
[0006]一种镜片同轴调节结构，应用于激光加工，包括：
[0007]固定筒，所述固定筒的顶端设有相机和第一镜片，所述固定筒的侧壁设有条形孔，所述条形孔沿所述固定筒的轴向设置；
[0008]镜片安装筒，设于所述固定筒内，且能沿着所述固定筒移动；所述镜片安装筒内设有第二镜片；
[0009]插销，设于所述镜片安装筒的外侧；
[0010]调节筒，套设于所述固定筒的外侧，所述调节筒的内壁设有螺纹；所述插销穿过所述条形孔并插设于所述螺纹中。
[0011]作为上述镜片同轴调节结构的可选方案，所述螺纹的螺纹槽为矩形槽。
[0012]作为上述镜片同轴调节结构的可选方案，所述插销包括由内向外依次连接的第一段、第二段及第三段；所述第一段与所述镜片安装筒连接，所述第二段位于所述条形孔中；所述第三段位于所述螺纹中；所述第二段的直径大于所述第一段的直径，且所述第二段的靠近所述第一段的一端与所述镜片安装筒的外侧壁抵接。
[0013]作为上述镜片同轴调节结构的可选方案，所述第二段的直径大于所述第三段的直径。
[0014]作为上述镜片同轴调节结构的可选方案，所述第三段的远离所述第二段的一端设有凹槽，所述凹槽将所述第三段分为上下两部分。
[0015]作为上述镜片同轴调节结构的可选方案，所述固定筒的底端设有安装法兰，所述安装法兰用于将所述固定筒安装至激光加工设备的机台；
[0016]所述固定筒的上端外周设有限位台阶，所述调节筒的上下两端分别与所述限位台阶和所述安装法兰抵接，以对所述调节筒进行轴向限位。
[0017]作为上述镜片同轴调节结构的可选方案，所述镜片同轴调节结构还包括：
[0018]连接筒，设于所述固定筒的顶端；
[0019]镜片安装座，设于所述连接筒顶端，所述镜片安装座内设有所述第一镜片，所述镜片安装座的顶端设有所述相机；
[0020]压环，用于将所述镜片安装座安装在所述连接筒顶端。
[0021]一种检测模组，包括如上所述的镜片同轴调节结构，还包括：
[0022]标靶组件，设于所述镜片同轴调节结构的一侧，用于发射光线标靶；
[0023]第一反射镜片，设于所述镜片同轴调节结构的下方，所述第一反射镜片能将所述标靶组件发出的光线标靶沿所述镜片同轴调节结构的轴线方向反射至检测工件上。
[0024]作为上述镜片同轴调节结构的可选方案，所述检测模组还包括：
[0025]焦点检测组件，设于所述镜片同轴调节结构的一侧，用于发射检测激光；
[0026]第二反射镜片，设于所述镜片同轴调节结构的下方，所述第二反射镜片能将所述焦点检测组件发出的激光沿所述镜片同轴调节结构的轴线方向反射至检测工件上。
[0027]一种激光加工设备，包括如上所述的检测模组。
[0028]本申请实施例的有益之处在于：镜片安装筒外侧的插销穿过固定筒上的条形孔后，插入调节筒内壁的螺纹中，当旋转调节筒时，由于条形孔限制插销的周向位移，因此插销只能沿着条形孔直线移动，也就是轴向移动，从而带动镜片安装筒和第二镜片轴向移动，实现第二镜片的升降调节，改变第二镜片与第一镜片之间的距离。由于调节过程中第二镜片只有升降运动，没有旋转，因此能保证第二镜片与第一镜片之间的同轴度。同时，调节过程中固定筒固定不动，也就是说安装在固定筒顶端的相机不会移动，可靠性较高。
附图说明
[0029]图1是本申请一实施例中镜片同轴调节结构的结构示意图；
[0030]图2是本申请一实施例中镜片同轴调节结构的截面结构示意图；
[0031]图3是本申请一实施例中镜片同轴调节结构的分解结构示意图；
[0032]图4是本申请一实施例中镜片同轴调节结构去掉调节筒的侧视结构示意图；
[0033]图5是本申请一实施例中检测模组的结构示意图；
[0034]图6是本申请一实施例中检测模组的截面结构示意图；
[0035]图7是本申请一实施例中检测模组的部分结构示意图；
[0036]图8是本申请一实施例中检测模组另一视角的结构示意图。
[0037]图中：
[0038]100、镜片同轴调节结构；
[0039]110、固定筒；111、条形孔；112、限位台阶；113、密封圈；114、限位挡圈；
[0040]120、镜片安装筒；121、第二镜片；
[0041]130、插销；131、第一段；132、第二段；133、第三段；1331、凹槽；
[0042]140、调节筒； 141、螺纹；
[0043]150、相机； 151、第一镜片
[0044]160、安装法兰；
[0045]170、连接筒；
[0046]180、镜片安装座；
[0047]190、压环；
[0048]200、检测模组；
[0049]210、标靶组件；211、第一反射镜片；212、标靶出光口；213、光源；
[0050]220、焦点检测组件；221、第二反射镜片；222、检测激光出光口。
具体实施方式
[0051]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本申请，而非对本申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请相关的部分而非全部结构。
[0052]在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的含义。
[0053]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镜片同轴调节结构，应用于激光加工，其特征在于，包括：固定筒，所述固定筒的顶端设有相机和第一镜片，所述固定筒的侧壁设有条形孔，所述条形孔沿所述固定筒的轴向设置；镜片安装筒，设于所述固定筒内，且能沿着所述固定筒移动；所述镜片安装筒内设有第二镜片；插销，设于所述镜片安装筒的外侧；调节筒，套设于所述固定筒的外侧，所述调节筒的内壁设有螺纹；所述插销穿过所述条形孔并插设于所述螺纹中。2.根据权利要求1所述的镜片同轴调节结构，其特征在于，所述螺纹的螺纹槽为矩形槽。3.根据权利要求1所述的镜片同轴调节结构，其特征在于，所述插销包括由内向外依次连接的第一段、第二段及第三段；所述第一段与所述镜片安装筒连接，所述第二段位于所述条形孔中；所述第三段位于所述螺纹中；所述第二段的直径大于所述第一段的直径，且所述第二段的靠近所述第一段的一端与所述镜片安装筒的外侧壁抵接。4.根据权利要求3所述的镜片同轴调节结构，其特征在于，所述第二段的直径大于所述第三段的直径。5.根据权利要求3所述的镜片同轴调节结构，其特征在于，所述第三段的远离所述第二段的一端设有凹槽，所述凹槽将所述第三段分为上下两部分。6.根据权利要求1所述的镜片同轴调节结构，其特征在于，所述固定筒的底端设有安装法兰，...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄伟耿，李东宇，曾威，尹建刚，高云峰，
申请(专利权)人：深圳市大族半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：