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本申请公开了一种镜片同轴调节结构、检测模组及激光加工设备。镜片同轴调节结构应用于激光加工，包括：固定筒，固定筒的顶端设有相机，固定筒的侧壁设有条形孔，条形孔沿固定筒的轴向设置；镜片安装筒，设于固定筒内，且能沿着固定筒移动；镜片安装筒内设有第...
该专利属于深圳市大族半导体装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市大族半导体装备科技有限公司授权不得商用。

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