自动抱夹多尺寸晶圆搬运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及自动抱夹多尺寸晶圆搬运装置，其包括驱动结构、移动结构、夹持结构和夹持驱动结构；驱动结构至少包括电机组件和丝杠模组；移动结构至少包括滑动底板和支撑板；支撑板垂直设置在所述滑动底板上，夹持结构至少包括第一夹持轴、第一夹持块，第二夹持轴和第二夹持块；夹持驱动结构用于驱动第一夹持轴和第二夹持轴转动，以带动第一夹持块和第二夹持块处于夹紧晶圆的状态或者松开晶圆的状态。本装置可以满足不同厚度晶圆的批量搬运，实现了晶圆搬运多样性；并且通过夹持轴和夹紧块的翻转使晶圆出盒固定变得简单方便，极大地提高了晶圆搬运效率。在整个晶圆运动过程中减少了人为操作，降低了晶圆污染报废的概率。降低了晶圆污染报废的概率。降低了晶圆污染报废的概率。

【技术实现步骤摘要】
自动抱夹多尺寸晶圆搬运装置


[0001]本技术属于半导体行业中晶圆承载及搬运装置
，具体涉及一种自动抱夹多尺寸晶圆搬运装置。

技术介绍

[0002]半导体行业中，如晶圆清洗等，需要将晶圆成批量出盒和传送，并且由于晶圆需要在多个工艺位多次循环移动，当晶圆需要成批量的从上一工位移动到下一工位时，如晶圆生产中的清洗工序，大多通过人为手动操作，先将晶圆从当前工位手动取出来，一个一个放入晶圆盒内，然后拿着晶圆盒移动到下一工位，再将晶圆盒内晶圆取出，一个一个放入所需工位。这样的操作过程无法快速高效完成搬运，并且在人工接触晶圆后产生的颗粒污染会对晶圆产生致命缺陷，从而导致晶圆报废。
[0003]在成批量搬运晶圆过程中，单片的传送晶圆大大降低了搬运效率；频繁的人为接触晶圆极易污染，影响晶圆制造质量。如何快速、高效的搬运晶圆，就成为了制约行业发展的重要因素。因此有必要开发一种方便成批量搬运晶圆的装置来解决现阶段发现的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，为了克服现有相关技术的不足，本技术的目的在于提供一种自动抱夹多尺寸晶圆搬运装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动抱夹多尺寸晶圆搬运装置，其特征在于：其包括驱动结构、移动结构、夹持结构和夹持驱动结构；其中所述驱动结构至少包括电机组件和丝杠模组；所述电机组件用于驱动所述丝杠模组转动；所述移动结构至少包括滑动底板和支撑板；所述支撑板垂直设置在所述滑动底板上，所述滑动底板能够在所述丝杠模组上往复运动；所述夹持结构至少包括第一夹持轴、第一夹持块，第二夹持轴和第二夹持块；所述第一夹持块固定设置在所述第一夹持轴上，所述第一夹持轴的一端穿设在所述支撑板上，所述第二夹持块固定设置在所述第二夹持轴上，所述第二夹持轴的一端穿设在所述支撑板上；所述夹持驱动结构用于驱动所述第一夹持轴和所述第二夹持轴转动，以带动所述第一夹持块和所述第二夹持块处于夹紧晶圆的状态或者松开晶圆的状态。2.根据权利要求1所述的自动抱夹多尺寸晶圆搬运装置，其特征在于：所述夹持驱动结构包括气缸组件、气缸连接件、第一旋转臂、第一鱼眼接头上、第一鱼眼接头下、第一连杆、第二旋转臂、第二鱼眼接头上、第二鱼眼接头下和第二连杆；其中所述第一旋转臂的一端与所述第一夹持轴的一端固定连接，所述第一旋转臂的另一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛立群，张凯峰，安国栋，刘冬梅，
申请(专利权)人：北京锐洁机器人科技有限公司，
类型：新型
国别省市：