【技术实现步骤摘要】
一种搬运装置
[0001]本技术涉及工件清洗
，具体涉及一种搬运装置。
技术介绍
[0002]目前，晶圆的主要加工方式为片加工的方式，在对晶圆进行加工的时候，需要夹持或吸附晶圆以对晶圆进行搬运转移，使晶圆在不同工位进行不同操作。
[0003]但是，现有的搬运装置在使用的时候，移动精度无法保证，则晶圆在转接工位的位置不够准确，工件转移过程无法正常进行，或者转移过程容易发生晶圆损坏的情况。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题，本申请提供的搬运装置，可以提高搬运精度，允许搬运组件移动时存在一定的偏差，提升搬运装置的适配性。
[0005]本申请提供一种搬运装置，所述搬运装置包括驱动机构和搬运组件，所述驱动机构用于驱动所述搬运组件沿预定方向移动，所述驱动机构包括第一连接块，所述第一连接块上开设有限位孔，所述搬运组件包括第二连接块和浮动接头，所述浮动接头的一端与所述第二连接块固定连接或者一体设置，所述浮动接头的另一端至少部分插入所述第一连接块上的所述限位孔，所述浮动接头相对所述限位孔可在所述预
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种搬运装置，所述搬运装置包括驱动机构和搬运组件，所述驱动机构用于驱动所述搬运组件沿预定方向移动，其特征在于，所述驱动机构包括第一连接块，所述第一连接块上开设有限位孔，所述搬运组件包括第二连接块和浮动接头，所述浮动接头的一端与所述第二连接块固定连接或者一体设置，所述浮动接头的另一端至少部分插入所述第一连接块上的所述限位孔，所述浮动接头相对所述限位孔可在所述预定方向活动。2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述浮动接头设有限位部，所述限位部用于限制所述浮动接头从所述限位孔内滑出；所述浮动接头位于所述限位孔内的部分的横截面小于所述限位孔的横截面。3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述限位部设置在所述浮动接头的上端，所述限位部能够抵接在所述第一连接块的上表面。4.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述第一连接块包括第一板体和第二板体，所述第一板体和所述第二板体的延伸方向成一定角度，所述限位孔开设于所述第二板体上，所述第二板体位于所述第二连接块的上表面，所述浮动接头的一端与所述第二连接块的上表面固定连接，所述浮动接头的另一端穿过所述第二板体上的所述限位孔。5.根据权利要求4所述的搬运装置，其特征在于，所述第一板体和所述第二板体的延伸方向成90度。6.根据权利要求1
技术研发人员：钮成杰，马强，
申请(专利权)人：苏州镁伽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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