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本实用新型涉及自动抱夹多尺寸晶圆搬运装置，其包括驱动结构、移动结构、夹持结构和夹持驱动结构；驱动结构至少包括电机组件和丝杠模组；移动结构至少包括滑动底板和支撑板；支撑板垂直设置在所述滑动底板上，夹持结构至少包括第一夹持轴、第一夹持块，第二夹...
该专利属于北京锐洁机器人科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京锐洁机器人科技有限公司授权不得商用。

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