一种适用于多工位镀膜机的溅射靶安装结构制造技术

本实用新型专利技术涉及镀膜装置技术领域，尤其为一种适用于多工位镀膜机的溅射靶安装结构，包括装置本体，所述装置本体上表面一侧固定连接有固定柱，还包括：安装座，所述安装座一次额与固定柱一侧固定连接，所述安装座正面设置有旋转机构；镀膜机构，所述镀膜机构设置于装置本体上表面固定连接；本实用新型专利技术，通过设置的旋转机构和镀膜机构，有效的为本装置提供了多工位溅射结构，同时有效的提高了每个工位的溅射密封性，保证在镀膜时每个镀膜的工位都相对密封，提高了生产的精度防止出现串流的现象，有效的提高了本装置的生产效率，提高本装置的实用性。用性。用性。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于多工位镀膜机的溅射靶安装结构


[0001]本技术涉及镀膜装置
，具体为一种适用于多工位镀膜机的溅射靶安装结构。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种；主要思路是分成蒸发和溅射两种，磁控溅射镀膜机上一般都会设置多个靶位，每个靶位上放置不同靶材，每种靶材镀膜时需要充入不同的气体，一个靶材镀膜完再进行下一个靶材，这种一个靶材镀完再进行下一个的方式可以满足一定的使用要求，由于上一次镀膜气体会残留，影响下一个镀膜效果，所以现在的单工位镀膜机的生产效率一直都比较低下，所以需要有多工位的镀膜机来提高产量，但是现有耳朵多工位镀膜机也存在着在工位间没有很好的隔绝导致气体流窜等问题，导致生产的效果不佳，影响生产效率。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种适用于多工位镀膜机的溅射靶安装结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于多工位镀膜机的溅射靶安装结构，包括装置本体(1)，所述装置本体(1)上表面一侧固定连接有固定柱(2)，其特征在于，还包括：安装座(3)，所述安装座(3)一侧与固定柱(2)一侧固定连接，所述安装座(3)正面设置有旋转机构(4)；镀膜机构(6)，所述镀膜机构(6)设置于装置本体(1)上表面固定连接。2.根据权利要求1所述的一种适用于多工位镀膜机的溅射靶安装结构，其特征在于：所述旋转机构(4)包括：安装槽(9)，所述安装槽(9)设置有若干个，所有所述安装槽(9)在安装座(3)正面呈圆周阵列且与安装座(3)表面滑动连接，每个所述安装槽(9)内均固定连接一个固定机构(10)；固定筒(11)，所述固定筒(11)设置有若干个，所述固定筒(11)设置于安装槽(9)之间且两端分别于相邻的安装槽(9)一侧固定连接；电动转盘(7)，所述电动转盘(7)与安装座(3)中部固定连接，所述电动转盘(7)输出端固定连接有若干个连接柱(8)，每个所述连接柱(8)分别与相邻的安装槽(9)一侧固定连接。3.根据权利要求2所述的一种适用于多工位镀膜机的溅射靶安装结构，其特征在于：所述固定机构(10)包括：固定座(20)，所述固定座(20)与安装槽(9)固定连接，所述固定座(20)内部两侧分别固定连接有一个电动推杆(21)；固定板(22)，所述固定板(22)共设置有两个且分别与两个电动推杆(21)输出端固定连接。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴文锋，蔡婷婷，霍宁，
申请(专利权)人：富时精工南京有限公司，
类型：新型
国别省市：