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本实用新型涉及镀膜装置技术领域，尤其为一种适用于多工位镀膜机的溅射靶安装结构，包括装置本体，所述装置本体上表面一侧固定连接有固定柱，还包括：安装座，所述安装座一次额与固定柱一侧固定连接，所述安装座正面设置有旋转机构；镀膜机构，所述镀膜机构设...
该专利属于富时精工（南京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过富时精工（南京）有限公司授权不得商用。

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