液冷装置及直线电机制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种液冷装置及直线电机。该液冷装置包括：第一冷却组件，具有相互连通的第一进流空间和第一回流空间，第一进流空间与第一回流空间沿第一方向依次设置，第一进流空间被构造为能够通入冷却液并将冷却液输送至第一回流空间；第二冷却组件，具有相互连通的第二进流空间和第二回流空间，第二回流空间与第二进流空间沿第一方向依次设置，第二进流空间被构造为能够通入冷却液并将冷却液输送至第二回流空间；线圈位于第一冷却组件和第二冷却组件之间。本实用新型专利技术的技术方案的液冷装置能够解决采用现有单层冷却方式中难以控制液冷板的温升，且冷却液容易受外界温度影响的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
液冷装置及直线电机


[0001]本技术涉及散热设备
，具体而言，涉及一种液冷装置及直线电机。

技术介绍

[0002]光刻机中对电机的温升要求极其严格，一般要求表面温升不超过1℃。常规技术中一般会采用液冷结构对电机线圈进行冷却，现有的冷却方式主要由浸泡式液冷和液冷板式，浸泡式液冷技术将电机线圈直接浸没在冷却液中，通过冷却液循环带走热量，冷却效率高，但电机可靠性会降低。液冷板式技术是将液冷板贴在电机线圈表面，热量通过热传导到液冷板上，然后通过液冷板中的循环冷却液将热量带走，液冷效率较高，电机可靠性高，因此在光刻机中用的直线电机居多采用这种技术。
[0003]在技术人所知的现有技术中，存在使用上下两个液冷板冷却电机线圈的方式，即在电机线圈的上下两面分别设置一个液冷板，通过冷却液流过液冷板的方式带走线圈的热量。由于每个液冷板只有一层冷却液流道，液流空间有限，很难保证液冷板的温升不超过1℃，并且，用于带走线圈热量的冷却液与外界只有一层液冷板的壁面做隔离，隔热能力不足，导致冷却液容易受到外界温度的影响。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种液冷装置及直线电机，能够解决采用现有单层冷却方式中难以控制液冷板的温升，且冷却液容易受外界温度影响的问题。
[0005]为了实现上述目的，根据本技术的一方面，提供了一种液冷装置，包括：第一冷却组件，具有相互连通的第一进流空间和第一回流空间，第一进流空间与第一回流空间沿第一方向依次设置，第一进流空间被构造为能够通入冷却液并将冷却液输送至第一回流空间；第二冷却组件，具有相互连通的第二进流空间和第二回流空间，第二回流空间与第二进流空间沿第一方向依次设置，第二进流空间被构造为能够通入冷却液并将冷却液输送至第二回流空间；线圈位于第一冷却组件和第二冷却组件之间，其中第一方向为第一冷却组件、线圈和第二冷却组件的排列方向。
[0006]进一步地，第一冷却组件包括沿第一方向依次设置的第一上板、第一隔板和第一下板，第一上板与第一隔板配合形成第一进流空间，第一隔板与第一下板配合形成第一回流空间；第二冷却组件包括沿第一方向依次设置的第二上板、第二隔板和第二下板，第二上板与第二隔板配合形成第二回流空间，第二隔板与第二下板配合形成第二进流空间，第一进流空间、第一回流空间、线圈、第二回流空间和第二进流空间沿第一方向依次布置。
[0007]进一步地，第二冷却组件还包括安装框架，安装框架上开设有容纳槽，铁芯位于容纳槽内，线圈设置在铁芯上。
[0008]进一步地，安装框架上开设有进液孔、第一连通孔、第二连通孔，进液孔与第一进流空间和第二进流空间均连通；第一冷却组件还包括分流块，分流块上开设有出液孔、第三连通孔和第四连通孔，出液孔与第一回流空间和第二回流空间均连通；第二连通孔、第四连
通孔均与进液孔连通；第一连通孔与第三连通孔均与出液孔连通。
[0009]进一步地，第一隔板上开设有第一汇流孔和第五连通孔，第一汇流孔位于第一隔板的第一端，第五连通孔位于第一隔板的第二端；第一进流空间与第一回流空间通过第一汇流孔连通，第五连通孔与第一进流空间连通；和/或，第二隔板上开设有第二汇流孔和第六连通孔，第二汇流孔位于第二隔板的第一端，第六连通孔位于第二隔板的第二端；第二进流空间与第二回流空间通过第二汇流孔连通，第六连通孔与第二进流空间连通。
[0010]进一步地，第一进流空间内对应设置有若干第三流道；第一回流空间内对应设置有若干第一流道；第二进流空间内对应设置有若干第四流道；第二回流空间内对应设置有若干第二流道。
[0011]进一步地，第一下板的上表面开设有第一外凹槽，第一隔板的至少部分位于第一外凹槽内，第一外凹槽的槽底开设有第一内凹槽和第七连通孔，第一内凹槽与第一隔板形成第一回流空间，第一内凹槽的槽底突出有多个第一凸台，相邻的第一凸台之间形成有第一流道，第一内凹槽的槽底开设有第八连通孔；和/或，第二上板的下表面开设有第二外凹槽，第二隔板的至少部分位于第二外凹槽内，第二外凹槽的槽底开设有第二内凹槽和第九连通孔，第二内凹槽与第二隔板形成第二回流空间，第二内凹槽的槽底突出有多个第二凸台，相邻的第二凸台之间形成有第二流道，第二内凹槽的槽底开设有第十连通孔。
[0012]进一步地，第一上板的下表面开设有第三外凹槽，第一隔板的至少部分位于第三外凹槽内，第三外凹槽的槽底开设有第三内凹槽，第三内凹槽与第一隔板形成第一进流空间，第三内凹槽的槽底突出有多个第三凸台，相邻的第三凸台之间形成有第三流道；和/或，第二下板的上表面开设有第四外凹槽，第二隔板的至少部分位于第四外凹槽内，第四外凹槽的槽底开设有第四内凹槽，第四内凹槽与第二隔板形成第二进流空间，第四内凹槽的槽底突出有多个第四凸台，相邻的第四凸台之间形成有第四流道。
[0013]进一步地，第三流道与第一流道错位布置；或者，第三流道与第一流道的纵截面的形状和尺寸相同；或者，第三流道与第一流道的纵截面的形状不同；或者，第三流道与第一流道的纵截面的形状相同但尺寸不同。
[0014]根据本技术的另一方面，提供了一种直线电机，包括定子组件、动子组件以及上述的液冷装置。
[0015]应用本技术的技术方案，冷却液从第一进流空间和第二进流空间进入，分别流动至第一回流空间和第二回流空间内，分别带走线圈上下两面的热量后，从第一回流空间和第二回流空间流出。双回流冷却液的设计，相比于单层冷却的方式，更容易满足第一冷却组件和第二冷却组件外表面温升不超过1℃的要求，并且，第一进流空间内的冷却液将第一回流空间与外界隔离，第二进流空间内的冷却液将第二回流空间与外界隔离，隔热效果更好，使得第一回流空间和第二回流空间内的冷却液将电机的热量通过回液带走，而不容易传递到冷却组件的外表面，从而更容易保证电机表面温升不超过1℃的要求。
附图说明
[0016]构成本技术的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0017]图1示出了本技术的实施例的直线电机的结构示意图；
[0018]图2示出了图1的爆炸示意图；
[0019]图3示出了本技术的实施例的液冷装置的爆炸图；
[0020]图4示出了图3中流道示意图；
[0021]图5示出了图1中散热和冷却的平面示意图；
[0022]图6示出了本技术的实施例的液冷装置的第三流道和第一流道的四个具体实例的纵截面图；以及
[0023]图7示出了第一进流空间和第一回流空间的俯视图。
[0024]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0025]11、第一冷却组件；111、第一上板；1111、第一凸点；1112、第三流道；112、第一隔板；1121、第一汇流孔；1122、第五连通孔；113、第一下板；1131、第二凸点；1132、第一外凹槽；1133、第一内凹槽；1134、第一流道；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液冷装置，其特征在于，包括：第一冷却组件(11)，具有相互连通的第一进流空间(116)和第一回流空间(117)，所述第一进流空间(116)与所述第一回流空间(117)沿第一方向依次设置，所述第一进流空间(116)被构造为能够通入冷却液并将所述冷却液输送至所述第一回流空间(117)；第二冷却组件(13)，具有相互连通的第二进流空间(135)和第二回流空间(136)，所述第二回流空间(136)与所述第二进流空间(135)沿第一方向依次设置，所述第二进流空间(135)被构造为能够通入冷却液并将所述冷却液输送至所述第二回流空间(136)；线圈(121)位于所述第一冷却组件(11)和所述第二冷却组件(13)之间，其中第一方向为所述第一冷却组件(11)、所述线圈(121)和所述第二冷却组件(13)的排列方向。2.根据权利要求1所述的液冷装置，其特征在于，所述第一冷却组件(11)包括沿第一方向依次设置的第一上板(111)、第一隔板(112)和第一下板(113)，所述第一上板(111)与所述第一隔板(112)配合形成所述第一进流空间(116)，所述第一隔板(112)与所述第一下板(113)配合形成所述第一回流空间(117)；所述第二冷却组件(13)包括沿第一方向依次设置的第二上板(132)、第二隔板(133)和第二下板(134)，所述第二上板(132)与所述第二隔板(133)配合形成所述第二回流空间(136)，所述第二隔板(133)与所述第二下板(134)配合形成所述第二进流空间(135)，所述第一进流空间(116)、所述第一回流空间(117)、所述线圈(121)、所述第二回流空间(136)和所述第二进流空间(135)沿第一方向依次布置。3.根据权利要求2中所述的液冷装置，其特征在于，所述第二冷却组件(13)还包括安装框架(131)，所述安装框架(131)上开设有容纳槽，铁芯(122)位于所述容纳槽内，所述线圈(121)设置在所述铁芯(122)上。4.根据权利要求3所述的液冷装置，其特征在于，所述安装框架(131)上开设有进液孔(1311)、第一连通孔(1312)、第二连通孔(1313)，所述进液孔(1311)与所述第一进流空间(116)和所述第二进流空间(135)均连通；所述第一冷却组件(11)还包括分流块(114)，所述分流块(114)上开设有出液孔(1141)、第三连通孔(1142)和第四连通孔(1143)，所述出液孔(1141)与所述第一回流空间(117)和所述第二回流空间(136)均连通；所述第二连通孔(1313)、所述第四连通孔(1143)均与所述进液孔(1311)连通；所述第一连通孔(1312)与所述第三连通孔(1142)均与所述出液孔(1141)连通。5.根据权利要求2所述的液冷装置，其特征在于，所述第一隔板(112)上开设有第一汇流孔(1121)和第五连通孔(1122)，所述第一汇流孔(1121)位于所述第一隔板(112)的第一端，所述第五连通孔(1122)位于所述第一隔板(112)的第二端；所述第一进流空间(116)与所述第一回流空间(117)通过所述第一汇流孔(1121)连通，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡兵，王鑫鑫，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：