一种阳极水冷型霍尔离子源制造技术

本实用新型专利技术公开一种阳极水冷型霍尔离子源，涉及离子发生装置技术领域；包括壳体，所述壳体内依次设有永磁体、衬垫和阳极，所述衬垫上开设有气孔，所述壳体外侧一端设有阴极；所述阳极内部开设有冷却水道，所述冷却水道一端通过进水口外接有绝缘的进水管，另一端通过出水口外接有绝缘的出水管；所述阳极内侧贴合有导电的阳极衬垫。本实用新型专利技术提供的阳极水冷型霍尔离子源，阳极无需频繁拆卸，且可以进行水冷。冷。冷。

【技术实现步骤摘要】
一种阳极水冷型霍尔离子源


[0001]本技术涉及离子发生装置
，特别是涉及一种阳极水冷型霍尔离子源。

技术介绍

[0002]离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。现代真空镀膜技术中，各种类型的离子源被广泛使用，用途主要包括：离子轰击清洁基片表面(离子预清洗)、离子轰击改善薄膜质量(离子辅助沉积)、离子束溅射、离子束刻蚀等等。其中使用最广泛的应该是霍尔离子源(End
‑
HallIonSource)。
[0003]离子源工作时，等离子体产生大量的热量，等离子体区的温度能超过500℃。因此，阳极和衬垫一般采用耐高温的金属材料制造，比如钼、钛等。离子源工作时需要通冷却水，但是，只用于冷却壳体和保护永磁体，而离子源阳极是没有水冷的。阳极不通冷却水的原因在于：阳极工作在等离子体区，阳极表面很容易产生氧化层，也会飘进来镀膜产生的薄膜粉尘，这些杂质会影响阳极的导电性能，少量的杂质会导致离子源工作状态改变，较多的杂质会导致离子源停止工作。所以，阳极需要定期拆卸下来，打磨清理其表面杂质。频繁拆卸会导致下列几个问题：本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阳极水冷型霍尔离子源，其特征在于：包括壳体，所述壳体内依次设有永磁体、衬垫和阳极，所述衬垫上开设有气孔，所述壳体外侧一端设有阴极；所述阳极内部开设有冷却水道，所述冷却水道一端通过进水口外接有绝缘的进水管，另一端通过出水口外接有绝缘的出水管；所述阳极内侧贴合有导电的阳极衬垫。2.根据权利要求1所述的阳极水冷型霍尔离子源，其特征在于：所述阳极采用无氧铜材质制造。3.根据权利要求1所述的阳极水冷型霍尔离子源，其特征在于：所述进水管和出水管采用塑料管道。4.根据权利要求1所述的阳极水冷型霍尔离子源，其特征在于：所述阳极衬垫纵截面为锥形结构，所述阳极衬垫与所述阳...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙旭，
申请(专利权)人：北京实创精仪科技有限公司，
类型：新型
国别省市：