下载一种阳极水冷型霍尔离子源的技术资料

文档序号:37659324

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本实用新型公开一种阳极水冷型霍尔离子源,涉及离子发生装置技术领域;包括壳体,所述壳体内依次设有永磁体、衬垫和阳极,所述衬垫上开设有气孔,所述壳体外侧一端设有阴极;所述阳极内部开设有冷却水道,所述冷却水道一端通过进水口外接有绝缘的进水管,另一...
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