一种晶圆转运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种晶圆转运装置，包括：机座；升降装置，升降装置安装在机座上；旋转装置，旋转装置安装在机座上；伸缩装置，伸缩装置安装在旋转装置上；及陶瓷托盘，陶瓷托盘为长条形，陶瓷托盘的顶面设有转运槽，侧面设有避位插槽，避位插槽与转运槽相通，陶瓷托盘的一端固定在伸缩装置上；其中，升降装置用于带动陶瓷托盘升降，旋转装置用于带动陶瓷托盘转动，伸缩装置用于带动陶瓷托盘移动，晶圆位于转运槽内。本实用新型专利技术提供的一种晶圆转运装置通过采用陶瓷托盘使用寿命长，并且通过避位插槽缩小了托盘的大小，通过升降装置、旋转装置和伸缩装置实现晶圆的转运，结构紧凑、体积小、运行稳定、可靠。可靠。可靠。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆转运装置


[0001]本技术涉及一种晶圆生产设备，尤其是一种晶圆转运装置。

技术介绍

[0002]为了减小设备的占用空间，生产晶圆的设备之间的距离较小，尤其是相邻工序的之间的设备，既能减少占用的空间，同时能够减少转运的时间，但是如何实现较小空间的晶圆转运是亟待解决的问题，同时现有的金属托盘在转运晶圆时容易污染晶圆，并且宽度较大，容易与支撑晶圆的支撑柱发生干涉。

技术实现思路

[0003]为解决上述问题，本技术提供一种结构紧凑、体积小、不易污染晶圆、不易与支撑柱干涉的一种晶圆转运装置，具体技术方案为：
[0004]一种晶圆转运装置，包括：机座；升降装置，所述升降装置安装在所述机座上；旋转装置，所述旋转装置安装在所述机座上；伸缩装置，所述伸缩装置安装在所述旋转装置上；及陶瓷托盘，所述陶瓷托盘为长条形，所述陶瓷托盘的顶面设有转运槽，侧面设有避位插槽，所述避位插槽与所述转运槽相通，所述陶瓷托盘的一端固定在所述伸缩装置上；其中，所述升降装置用于带动所述陶瓷托盘升降，所述旋转装置用于带动所述陶瓷托盘转动，所述伸缩装置用于带动所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆转运装置，其特征在于，包括：机座(6)；升降装置(5)，所述升降装置(5)安装在所述机座(6)上；旋转装置(4)，所述旋转装置(4)安装在所述机座(6)上；伸缩装置(2)，所述伸缩装置(2)安装在所述旋转装置(4)上；及陶瓷托盘(1)，所述陶瓷托盘(1)为长条形，所述陶瓷托盘(1)的顶面设有转运槽(11)，侧面设有避位插槽(13)，所述避位插槽(13)与所述转运槽(11)相通，所述陶瓷托盘(1)的一端固定在所述伸缩装置(2)上；其中，所述升降装置(5)用于带动所述陶瓷托盘(1)升降，所述旋转装置(4)用于带动所述陶瓷托盘(1)转动，所述伸缩装置(2)用于带动所述陶瓷托盘(1)移动，晶圆位于所述转运槽(11)内。2.根据权利要求1所述的一种晶圆转运装置，其特征在于，所述转运槽(11)的底部设有下沉槽(12)，所述下沉槽(12)与所述转运槽(11)相通。3.根据权利要求1所述的一种晶圆转运装置，其特征在于，所述陶瓷托盘(1)的端部设有插入圆弧面(14)。4.根据权利要求1所述的一种晶圆转运装置，其特征在于，所述伸缩装置(2)包括：伸缩底板(27)，所述伸缩底板(27)固定在所述旋转装置(4)上；伸缩电机(26)，所述伸缩电机(26)安装在所述伸缩底板(27)的一端；带传动装置，所述带传动装置与所述伸缩电机(26)连接；及伸缩座(22)，所述伸缩座(22)滑动安装在所述伸缩底板(27)上，且与所述带传动装置连接，所述陶瓷托盘(1)安装在所述伸缩座(22)上。5.根据权利要求4所述的一种晶圆转运装置，其特征在于，还包括：连接板(21)，所述连接板(21)安装在所述伸缩座(22)顶部的连接块(221)上，所述陶瓷托盘(1)安装在所述连接板(21)上；及伸缩罩壳(28)，所述伸缩罩壳(28)安装在所述伸缩底板(27)上，所述伸缩罩壳(28)的顶部设有伸缩孔(281)，所述连接块...

【专利技术属性】
技术研发人员：程泽西，王利，莫科伟，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：