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本实用新型涉及一种晶圆转运装置，包括：机座；升降装置，升降装置安装在机座上；旋转装置，旋转装置安装在机座上；伸缩装置，伸缩装置安装在旋转装置上；及陶瓷托盘，陶瓷托盘为长条形，陶瓷托盘的顶面设有转运槽，侧面设有避位插槽，避位插槽与转运槽相通，...
该专利属于吉姆西半导体科技（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉姆西半导体科技（无锡）有限公司授权不得商用。

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