用于多点x射线的基于场发射体的电子源制造技术

本发明专利技术公开了用于多点ｘ射线的基于场发射体的电子源。提供一种包括多个电子发生器（１０）的多点ｘ射线发生器（９０）。每个电子发生器（１０）包括：发射体元件（２６），用于发射电子束（２８）；网状栅格（３２），其邻近每个发射体元件（２６）以便增强在该发射体元件（２６）的表面处的电场；以及聚焦元件（３４），其被定位成接收来自每一个发射体元件（２６）的电子束（２８）并且聚焦所述电子束（２８）以在屏蔽的阳极靶（３８、４０）上形成焦斑（３９），所述屏蔽的阳极靶（３８、４０）结构在由所述多个电子发生器（１０）所产生的多个电子束（２８）撞击时产生ｘ射线焦斑（３９）的阵列。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般而言涉及场型电子发射体，更具体而言，涉及这样一种 系统，该系统用于限制场型电子发射体阵列中的电弧放电效应，聚焦由 发射体产生的电子束，以及控制发射体阵列中的各个发射体。场发射体 单元包括保护和聚焦方案，该方案用于最小化电子束的衰减以及允许将 电子束聚焦成期望的斑点尺寸。提供一种允许以最小数量的控制通道来 单独控制在阵列中的场发射体单元的控制系统。
技术介绍
场型电子发射体阵列中的电子发射是根据Fowler-Nordheim理论产 生的，所述Fowler-Nordheim理论使干净金属表面的场发射电流密度与 在该表面处的电场相联系。大多数场型电子发射体阵列通常包括由许多 场发射体器件组成的阵列。发射体阵列可以被微加工或纳米加工以便在 单个芯片上包含数万个发射体器件。当被正确驱动时，每个发射体器件 可以从该发射体器件的尖端部分发射电子束或电子流。场发射体阵列具 有许多应用，其中之一是用在场发射体显示器中，所迷显示器可以作为 平板显示器来实施。另外，场发射体阵列可以具有在微波管、x射线管、 以及其它微电子器件中作为电子源的应用。电子发射场发射体器件自身可以采用多种形式，例如本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多点ｘ射线发生器（９０），包括：　多个电子发生器（１０），其被布置成形成电子发生器矩阵（８８），所述电子发生器矩阵（８８）包括电连接到所述多个电子发生器（１０）的多个激励连接（９２），并且其中每个电子发生器（１０）被连接到一对所述 激励连接（９２）以从其接收电位；　阳极靶（３８），其被配置成在由所述多个电子发生器（１０）所产生的多个电子束（２８）撞击时产生ｘ射线焦斑（３９）的阵列，从而提供对象的断层摄影成像；　阳极护罩（４０），其围绕所述阳极靶（３８）定位 以捕获从所述阳极靶（３８）输出的反向轰击离子；以及　其中每个电子发生器（１０）还包括：　发射体元件（２...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：Y邹，ME维尔米利，LP因津纳，VB内库莱斯，JS普赖斯，Y曹，A卡亚法，
申请(专利权)人：通用电气公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]