一种三点高度调整平行度的晶圆平台制造技术

本发明专利技术公开的一种三点高度调整平行度的晶圆平台，包括平台本体、调平底板以及设置在调平底板与平台本体内侧的多个调节机构；多个调节机构沿平台本体周向均布；平台本体顶部设置有若干个吸盘与顶升孔，吸盘与顶升孔间隔设置；相邻的两个调节机构之间设置有拉簧，拉簧一端设置在平台本体的底部，拉簧的另一端设置在调平底板的顶部；多个调节机构用于调整平台本体的水平度；本发明专利技术通过三个调节机构对平台本体不同位置进行高度调节，能够更精准的将平台调至所需的状态，同时，调平底板与平台本体之间通过拉簧进行固定，防止第一球体或第二球体、第三球体脱离对应的槽口，调节精度高，同时安全可靠。安全可靠。安全可靠。

【技术实现步骤摘要】
一种三点高度调整平行度的晶圆平台


[0001]本专利技术涉及晶圆平台调节领域，更具体的，涉及一种三点高度调整平行度的晶圆平台。

技术介绍

[0002]目前半导体晶圆量测中都会存在要求产品在测试平台上平面角度无法满足要求，绝大多数场合都是采用人工手动操作来实现水平摆放。人工操作不管是在测试平台平面角度的调节还是调节速度方面以及产品放置速度都满足不了实际的生产速度和要求，需要一款全自动的平面角度调节技术，可以精准的将产品调节至合适的平面角度，速度快、效率高、精度高、质量好。该平台设计为并联运动多轴系统，可用于倾斜运动，该平台以微型形式提供超高精度，非接触式组件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供最佳性能、质量和使用寿命，目前多为手动实现其平面角度调节。
[0003]现有技术需要通过人工先将产品手动摆放至测试平台上之后再开始调节旋钮使测试平台调节至合适的姿态，这种操作方法时间成本过高、速度慢、效率低且人为的目测或测量会造成平面角度调节不准确且重复调节性能不一致，即无法得到理想的平面角度。

技术实现思路

[0004]为了解决上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三点高度调整平行度的晶圆平台，其特征在于，包括：平台本体、调平底板以及设置在调平底板与平台本体内侧的多个调节机构；多个调节机构沿所述平台本体周向均布；所述平台本体顶部设置有若干个吸盘与顶升孔，所述吸盘与所述顶升孔间隔设置；相邻的两个调节机构之间设置有拉簧，所述拉簧一端设置在所述平台本体的底部，所述拉簧的另一端设置在所述调平底板的顶部；多个所述调节机构用于调整平台本体的水平度。2.根据权利要求1所述的一种三点高度调整平行度的晶圆平台，其特征在于，所述调节机构为3个，所述调节机构固定安装在调平底板的顶部，相邻的两个所述调节机构之间角度为120度，3个所述调节机构分别为第一调节机构、第二调节机构与第三调节机构。3.根据权利要求2所述的一种三点高度调整平行度的晶圆平台，其特征在于，所述调平底板中心位置设置有旋转机构，所述旋转机构顶部设置有升降台，所述升降台顶部设置有顶针，所述顶针的位置与所述顶升孔的位置一一对应，所述升降台外侧设置有凸轮随动器。4.根据权利要求3所述的一种三点高度调整平行度的晶圆平台，其特征在于，所述旋转机构外侧设置有多个支撑板，所述支撑板顶部设置有连接块，所述连接块上设置有导向槽，所述凸轮随动器配合设置在所述导向槽内，所述导向槽一端的高度大于所述导向槽另一端的高度。5.根据权利要求3所述的一种三点高度调整平行度的晶圆平台，其特征在于，所述旋转机构底部设置有从动轮，所述调平底板顶部设置有电机，所述电机的轴端连接有主动轮，所述主动轮与所述从动轮之间通过皮带连接。6.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘曜轩，罗伟凯，余岱璟，孟占坤，朱建成，刘大曙，李军岗，李华，
申请(专利权)人：苏州威达智科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：