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本发明公开的一种三点高度调整平行度的晶圆平台，包括平台本体、调平底板以及设置在调平底板与平台本体内侧的多个调节机构；多个调节机构沿平台本体周向均布；平台本体顶部设置有若干个吸盘与顶升孔，吸盘与顶升孔间隔设置；相邻的两个调节机构之间设置有拉簧...
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