一种晶圆切割用夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及夹持装置领域，具体涉及一种晶圆切割用夹持装置，其技术方案是：包括底座，本实用新型专利技术的有益效果是：通过设置支撑板，在支撑板上开设凹槽二，支撑板的顶面固转动安装螺纹杆二，螺纹杆二的外壁螺纹连接移动套二，移动套二上固定安装连接块二，连接块二固定安装移动块二，设置安装块，安装块上转动连接螺纹杆一，螺纹杆一螺纹连接移动套一，移动套一固定安装有推块，推块底端固定安装有连接块一，连接块一上固定安装有移动块一，套托上开设凹槽一，移动块一滑动连接在凹槽一上，来实现转动把手二来将按压套向下移动，来按压住圆晶，转动把手一来移动推块，带动圆晶进行移动，达到按压圆晶和移动圆晶的效果。达到按压圆晶和移动圆晶的效果。达到按压圆晶和移动圆晶的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆切割用夹持装置


[0001]本技术涉及夹持装置领域，具体涉及一种晶圆切割用夹持装置。

技术介绍

[0002]晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片，这就是“晶圆”。在晶圆的生产加工过程中，需要经历众多的工序加工，其中切割更是必不可少的一部分。
[0003]在晶圆的加工过程中，需要将硅晶棒进行切断，滚磨和切片，这都需要进行切割，而一般的加工切割都需要一定的夹持装置进行限定，现有的夹持装置限定效果不佳，无法控制切割的厚度大小；而且在晶圆切割加工时，无论是机械切割还是线切割等等，都会产生废屑或烟雾等等，而废屑的飞溅会对切割后的晶圆表面造成损伤。
[0004]因此，专利技术一种晶圆切割用夹持装置很有必要。

技术实现思路

[0005]为此，本技术提供一种晶圆切割用夹持装置，通过把圆晶放置在套托上，转动把手二将按压套向下移动，贴合圆晶的外壁在转动把手一，让推块推动圆晶移动，打开风机，在进行打磨，打磨的碎屑通过进物口被风机抽取到收集盒内部，以解决现有的夹持装置限定效果不佳，无法控制切割的厚度大小和不能够收集废屑和烟雾的问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆切割用夹持装置，包括底座，所述底座的右端固定安装有连接板，所述底座和连接板的底面两侧均固定安装有稳定块，所述底座的顶面左端固定安装有安装块，所述底座的顶面固定安装有支撑块，所述支撑块的顶端固定安装有套托，所述套托的内部底面开设有凹槽一，所述安装块上设有螺纹杆一，所述螺纹杆一的右端螺纹连接有移动套一，所述移动套一的右端固定安装有推块。
[0007]优选的，所述推块的底端固定安装有连接块一，所述连接块一的顶端固定安装有移动块一，所述移动块一能够滑动连接在凹槽一的内壁上，所述推块的外壁贴合套托的内壁。
[0008]优选的，所述螺纹杆一的左端固定安装有连接杆一，所述螺纹杆一上的连接杆一穿过安装块的外壁且转动安装在安装块上，所述螺纹杆一上的连接杆一的左端固定安装有把手一，所述螺纹杆一上的连接杆一上固定安装有限位块一，所述限位块一设有两个，两个所述限位块一分别固定安装在安装块的两侧。
[0009]优选的，所述底座的后侧固定安装有支撑板，所述支撑板设为L形板，所述支撑板的顶端设有螺纹杆二，所述螺纹杆二的底端螺纹连接有移动套二，所述移动套二的底端固
定安装有按压套，所述螺纹杆二的顶端固定安装有连接杆二。
[0010]优选的，所述螺纹杆二上的连接杆二穿过支撑板的顶端外壁且转动安装在支撑板的顶端，所述螺纹杆二上的连接杆二的顶端固定安装有把手二，所述螺纹杆二上的连接杆二固定安装有限位块二，所述限位块二设有两个，两个所述限位块二分别固定安装在支撑板的顶端两侧。
[0011]优选的，所述支撑板上开设有凹槽二，所述移动套二的外壁固定安装有连接块二，所述连接块二远离移动套二的一端固定安装有移动块二，所述移动块二滑动安装在凹槽二的内壁中。
[0012]优选的，所述底座的顶面右端固定安装有外壳一，所述连接板的顶面固定安装有外壳二，所述外壳二的顶端内部设有风机，所述外壳一左端内部镶嵌有进物口，所述进物口的右端固定安装有管道，所述管道远离进物口的一端穿过外壳二的内壁且安装在风机上。
[0013]优选的，所述风机的底端设有出物口，所述出物口穿过外壳二内部的隔层外壁，所述风机的顶端固定安装有安装板，所述安装板通过螺钉固定安装在外壳二的内壁上。
[0014]优选的，所述外壳二的内部底部开设有空腔，所述外壳二上的空腔设有收集盒，所述收集盒的右端固定安装有把手三，所述收集盒能够在外壳二内部滑动。
[0015]本技术的有益效果是：
[0016]1.通过设置支撑板，在支撑板上开设凹槽二，支撑板的顶面固转动安装螺纹杆二，螺纹杆二的外壁螺纹连接移动套二，移动套二上固定安装连接块二，连接块二固定安装移动块二，设置安装块，安装块上转动连接螺纹杆一，螺纹杆一螺纹连接移动套一，移动套一固定安装有推块，推块底端固定安装有连接块一，连接块一上固定安装有移动块一，套托上开设凹槽一，移动块一滑动连接在凹槽一上，来实现转动把手二来将按压套向下移动，来按压住圆晶，转动把手一来移动推块，带动圆晶进行移动，达到按压圆晶和移动圆晶的效果；
[0017]2.通过设置外壳一和外壳二，外壳一上镶嵌进物口，进物口上固定安装管道，管道连接风机，风机上固定安装有出物口，出物口对准收集盒，收集盒上固定安装把手收纳，来实现当进行打磨时，启动风机将碎屑吸入到收集和内，拉动把手三来将收集盒进行清理，达到收集碎屑和烟雾的效果
附图说明
[0018]图1为本技术提供的主视图；
[0019]图2为本技术提供的剖视图；
[0020]图3为本技术提供的按压套和套托的主视图；
[0021]图4为本技术提供的支撑板剖视图；
[0022]图5为本技术提供的主视图；
[0023]图6为本技术提供的外壳一和外壳二的剖视图。
[0024]图中：底座1、稳定块11、连接板12、安装块13、支撑块14、套托15、凹槽一151、支撑板16、凹槽二161、外壳一17、外壳二18、移动套一2、推块21、螺纹杆一22、限位块一23、把手一24、连接块一25、移动块26、移动套二3、按压套31、螺纹杆二32、限位块二33、把手二34、连接块二35、移动块二36，进物口4、管道41、风机42、出物口43、安装板44、螺钉45、收集盒46、把手三47。
具体实施方式
[0025]以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。
[0026]参照附图1
‑
6，本技术提供的一种晶圆切割用夹持装置，包括底座1，底座1的右端固定安装有连接板12，底座1和连接板12的底面两侧均固定安装有稳定块11，底座1的顶面左端固定安装有安装块13，底座1的顶面固定安装有支撑块14，支撑块14的顶端固定安装有套托15，套托15的内部底面开设有凹槽一151，安装块13上设有螺纹杆一22，螺纹杆一22的右端螺纹连接有移动套一2，移动套一2的右端固定安装有推块21，推块21的底端固定安装有连接块一25，连接块一25的顶端固定安装有移动块一26，移动块一26能够滑动连接在凹槽一151的内壁上，推块21的外壁贴合套托15的内壁，螺纹杆一22的左端固定安装有连接杆一，螺纹杆一22上的连接杆一穿过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割用夹持装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的右端固定安装有连接板(12)，所述底座(1)和连接板(12)的底面两侧均固定安装有稳定块(11)，所述底座(1)的顶面左端固定安装有安装块(13)，所述底座(1)的顶面固定安装有支撑块(14)，所述支撑块(14)的顶端固定安装有套托(15)，所述套托(15)的内部底面开设有凹槽一(151)，所述安装块(13)上设有螺纹杆一(22)，所述螺纹杆一(22)的右端螺纹连接有移动套一(2)，所述移动套一(2)的右端固定安装有推块(21)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用夹持装置，其特征在于：所述推块(21)的底端固定安装有连接块一(25)，所述连接块一(25)的顶端固定安装有移动块一(26)，所述移动块一(26)能够滑动连接在凹槽一(151)的内壁上，所述推块(21)的外壁贴合套托(15)的内壁。3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用夹持装置，其特征在于：所述螺纹杆一(22)的左端固定安装有连接杆一，所述螺纹杆一(22)上的连接杆一穿过安装块(13)的外壁且转动安装在安装块(13)上，所述螺纹杆一(22)上的连接杆一的左端固定安装有把手一(24)，所述螺纹杆一(22)上的连接杆一上固定安装有限位块一(23)，所述限位块一(23)设有两个，两个所述限位块一(23)分别固定安装在安装块(13)的两侧。4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用夹持装置，其特征在于：所述底座(1)的后侧固定安装有支撑板(16)，所述支撑板(16)设为L形板，所述支撑板(16)的顶端设有螺纹杆二(32)，所述螺纹杆二(32)的底端螺纹连接有移动套二(3)，所述移动套二(3)的底端固定安装有按压套(31)，所述螺纹杆二(32)的顶端固定安装有连接杆二。5.根据权利要求4所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴加明，
申请(专利权)人：苏州浦丰鑫电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：