一种晶圆切割切口检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开的属于切口检测技术领域，具体为一种晶圆切割切口检测设备，包括放置台，还包括与放置台连接的用于对晶圆的切口进行扫描的扫描检测结构；扫描检测结构包括：安装与放置台顶端用于放置待扫描的晶圆地放置组件；安装与放置台上方的用于扫描晶圆的3D扫描仪；及用于减少外壁光源影响扫描效果的隔绝组件，本实用新型专利技术打开D扫描仪，电机通过联轴器、减速机、转轴从而带动D扫描仪进行角度调节，对晶圆进行扫描，将扫描后的数据传输至成像的电脑上，观察切口，提高检测精度。提高检测精度。提高检测精度。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆切割切口检测设备


[0001]本技术涉及切口检测
，具体为一种晶圆切割切口检测设备。

技术介绍

[0002]现有的申请号：CN201420799832.X，公开了一种晶圆切割切口检测设备，包括用于承载晶圆的暗箱，所述暗箱底部中心处设有承载台，所述暗箱顶部对称分布光源入口和光源出口，所述光源入口处设有红外线发射装置，所述光源出口处设有红外线接收装置，所述红外线接收装置与CPU控制装置相连，所述CPU控制装置与数据显示装置相连。结构简单，操作方便，利用红外线发射装置发射红外线，照射到切口处反射到红外线接收装置，通过CPU控制装置处理反射后的红外信号，在显示装置上显示CPU控制装置的处理结果。若反射波均匀，则说明切口完好，若反射波出现波动，则说切口有缺陷。
[0003]但是上述装置，在放置晶圆时较为麻烦，同时用过红外线的照射通过晶圆的反射进行检测，精度不高，影响产品的质量，同时采用避光玻璃。
[0004]为此，我们专利技术一种晶圆切割切口检测设备。

技术实现思路

[0005]鉴于上述和/或现有一种晶圆切割切口检测设备中存在的问题，提出了本技术。
[0006]因此，本技术的目的是提供一种晶圆切割切口检测设备，能够解决上述提出现有在放置晶圆时较为麻烦，同时用过红外线的照射通过晶圆的反射进行检测，精度不高，影响产品的质量，同时采用避光玻璃的问题。
[0007]为解决上述技术问题，根据本技术的一个方面，本技术提供了如下技术方案：
[0008]一种晶圆切割切口检测设备，其包括：放置台，还包括与放置台连接的用于对晶圆的切口进行扫描的扫描检测结构；
[0009]扫描检测结构包括：
[0010]安装与放置台顶端用于放置待扫描的晶圆地放置组件；
[0011]安装与放置台上方的用于扫描晶圆的3D扫描仪；及
[0012]用于减少外壁光源影响扫描效果的隔绝组件。
[0013]作为本技术所述的一种晶圆切割切口检测设备的一种优选方案，其中：所述放置组件包括：承载台，承载台固定安装与放置台顶端，承载台的顶端铺设有保护膜，保护膜的顶端放置晶圆。
[0014]作为本技术所述的一种晶圆切割切口检测设备的一种优选方案，其中：隔绝组件包括：
[0015]顶板，顶板设于的放置台，顶板顶端与放置台底端固定连接有连接架；
[0016]滑槽，滑槽开设与放置台内，其顶端设为开口结构；
[0017]暗框，暗框外壁与滑槽内壁滑动连接，暗框顶端固定连接有顶部密封板；及
[0018]推动组件，推动组件顶端与暗框外侧连接。
[0019]作为本技术所述的一种晶圆切割切口检测设备的一种优选方案，其中：所述顶板底端开设有连接槽，连接槽内壁与顶部密封板外壁滑动连接。
[0020]作为本技术所述的一种晶圆切割切口检测设备的一种优选方案，其中：所述推动组件包括：
[0021]导向滑槽，导向滑槽开设于滑槽两侧；
[0022]导向块，导向块固定安装于暗框两侧的底端；及
[0023]伸缩杆，伸缩杆底端与放置台的底端固定连接，伸缩杆的顶端与导向块固定连接。
[0024]作为本技术所述的一种晶圆切割切口检测设备的一种优选方案，其中：所述3D扫描仪顶端与顶板底端连接处安装有角度调节结构。
[0025]作为本技术所述的一种晶圆切割切口检测设备的一种优选方案，其中：角度调节结构包括：
[0026]支撑杆，支撑杆顶端与顶板底端固定连接，支撑杆底端开设有凹槽；
[0027]安装架，安装架固定安装与支撑杆一侧，安装架上固定安装有电机，安装架另一侧固定安装有减速机，减速机的输入端与电机的输出端之间连接有联轴器，减速机的输出端延伸至凹槽内固定连接有转轴，转轴外壁与3D扫描仪顶端固定连接。
[0028]作为本技术所述的一种晶圆切割切口检测设备的一种优选方案，其中：暗框内壁贴合有用于避免反光的防反光膜。
[0029]与现有技术相比：
[0030]将切割后的晶圆放置于承载台顶端的保护膜上，控制伸缩杆推动导向块沿着导向滑槽进行上升，带动暗框沿着滑槽上升，将其顶端的顶部密封板与顶板底端开设的连接槽连接，隔绝外部光源；
[0031]打开D扫描仪，电机通过联轴器、减速机、转轴从而带动D扫描仪进行角度调节，对晶圆进行扫描，将扫描后的数据传输至成像的电脑上，观察切口，提高检测精度。
附图说明
[0032]图1为本技术主视图；
[0033]图2为本技术剖视图；
[0034]图3为本技术3D扫描仪侧视图；
[0035]图4为本技术暗框主视图。
[0036]图中：放置台1、顶板2、晶圆3、保护膜4、承载台5、连接架6、3D扫描仪7、支撑杆8、安装架9、电机10、减速机11、转轴12、凹槽13、暗框14、滑槽15、伸缩杆16、导向滑槽17、导向块18、顶部密封板19、连接槽20、联轴器21、防反光膜22。
具体实施方式
[0037]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的实施方式作进一步地详细描述。
[0038]本技术提供一种晶圆切割切口检测设备，具有使用方便、提高扫描质量的优
点，请参阅图1
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4，包括放置台1，还包括与放置台1连接地用于对晶圆3的切口进行扫描的扫描检测结构；
[0039]扫描检测结构包括：安装与放置台1顶端用于放置待扫描的晶圆3的放置组件；安装与放置台1上方的用于扫描晶圆的3D扫描仪7；及用于减少外壁光源影响扫描效果的隔绝组件。
[0040]放置组件包括：承载台5，承载台5固定安装与放置台1顶端，承载台5的顶端铺设有保护膜4，保护膜4的顶端放置晶圆3。
[0041]隔绝组件包括：顶板2，顶板2设于的放置台1，顶板2顶端与放置台1底端固定连接有连接架6；滑槽15，滑槽15开设与放置台1内，其顶端设为开口结构；暗框14，暗框14外壁与滑槽15内壁滑动连接，暗框14顶端固定连接有顶部密封板19；及推动组件，推动组件顶端与暗框14外侧连接，暗框14内壁贴合有用于避免反光的防反光膜22。
[0042]顶板2底端开设有连接槽20，连接槽20内壁与顶部密封板19外壁滑动连接。
[0043]推动组件包括：导向滑槽17，导向滑槽17开设于滑槽15两侧；导向块18，导向块18固定安装于暗框14两侧的底端；及伸缩杆16，伸缩杆16底端与放置台1的底端固定连接，伸缩杆16的顶端与导向块18固定连接，将切割后的晶圆放置于承载台5顶端的保护膜4上，控制伸缩杆16推动导向块18沿着导向滑槽17进行上升，通过导向块18带动暗框14沿着滑槽15进行上升，将暗框14顶端的顶部密封板19与顶板2底端开设的连接槽20连接，隔绝外部光源。
[0044]角度调节结构包括：支撑杆8，支撑杆8顶端与顶板2底端固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割切口检测设备，包括放置台(1)，其特征在于：还包括与放置台(1)连接地用于对晶圆(3)的切口进行扫描的扫描检测结构；扫描检测结构包括：安装与放置台(1)顶端用于放置待扫描的晶圆(3)的放置组件；安装与放置台(1)上方的用于扫描晶圆的3D扫描仪(7)；及用于减少外壁光源影响扫描效果的隔绝组件。2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割切口检测设备，其特征在于，所述放置组件包括：承载台(5)，承载台(5)固定安装与放置台(1)顶端，承载台(5)的顶端铺设有保护膜(4)，保护膜(4)的顶端放置晶圆(3)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割切口检测设备，其特征在于，隔绝组件包括：顶板(2)，顶板(2)设于的放置台(1)，顶板(2)顶端与放置台(1)底端固定连接有连接架(6)；滑槽(15)，滑槽(15)开设与放置台(1)内，其顶端设为开口结构；暗框(14)，暗框(14)外壁与滑槽(15)内壁滑动连接，暗框(14)顶端固定连接有顶部密封板(19)；及推动组件，推动组件顶端与暗框(14)外侧连接。4.根据权利要求3所述的一种晶圆切割切口检测设备，其特征在于，所述顶板(2)底端开设有连接槽(20)，连接槽(20)内壁与顶部密封板(19)外壁滑动连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱玮，胡赵，祝树青，
申请(专利权)人：苏州浦丰鑫电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：