激光腔室以及气体激光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种激光腔室以及气体激光装置，通过将放电电极下流测的引导部设计为具有两个不同角度的引导面，其中位于上游侧的引导面与放电方向之间的角度大于位于下游的引导面与放电方向之间的角度，即使在电极突出于引导部的情况下，通过上述引导面，激光气体在附壁效应的作用下沿着该引导面而外扩流动，从而使得大量的激光气体能够快速通过一对放电电极之间，提升了电极间的气体流速，保证了气体激光装置的性能。气体激光装置的性能。气体激光装置的性能。

【技术实现步骤摘要】
激光腔室以及气体激光装置


[0001]本技术涉及激光领域，尤其涉及一种激光腔室以及气体激光装置。

技术介绍

[0002]在气体激光装置中，在激光腔室内的一对放电电极之间重复进行放电，当一对放电电极之间存在因上一次的放电产生的放电生成物时，会引起放电异常，因此，需要通过风扇等设备使激光腔室内的激光气体循环，从而去除放电电极之间的放电生成物。当需要提高重复放电的频率时，则需要使放电电极之间的气体的速度(即电极间气体流速)加快。
[0003]在现有技术中，在激光腔室内的放电电极附近设置引导部来引导气流，可以实现电极间气体流速的提升。
[0004]图1是现有的激光腔室内的引导部件的一示意图。如图1所示，在激光腔室内，用于放电的上电极1和下电极2相对设置，在上电极1和下电极2的激光气体的下游侧，即图1中的右侧，分别设置有三棱柱形状的上引导部3和下引导部4，上引导部3和下引导部4在上电极1和下电极2的长度方向上延伸。如图1所示，上引导部3和下引导部4分别具有上引导面5和下引导面6，上引导面5和下引导面6为一斜面，其与放电方向(图1中的上下方向)的夹角分别为第1角度和第2角度，第1角度和第2角度可以相同，上引导面5和下引导面6之间的距离d向下游侧逐渐增大，这样，通过将使得上电极1和下电极2之间的流路形状为前尖后宽的喷嘴形状，可以实现电极间气体流速的提升。
[0005]应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本技术的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本技术的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

技术实现思路

[0006]本技术的专利技术人发现，在对气体激光装置进行装配或操作调整时，放电电极可能明显的突出于引导部，导致气流从引导面剥离，从而导致无法使大量的气体快速流过。
[0007]图2是现有的激光腔室内的激光气体流过电极的一示意图。如图2所示，在放电方向上，上电极1向下突出于上引导部3，从上方流过的部分激光气体无法被上引导部3的引导面5引导，导致流动的剥离。由此，导致激光腔室内的气体流动性减弱，一对电极之间无法快速流过大量的激光气体，从而无法提高重复放电的频率，导致气体激光装置性能的下降。
[0008]本技术实施例提供一种激光腔室以及气体激光装置，能够通过新设计的引导面对流过电极之间的激光气体进行有效的引导，使得大量的激光气体能够快速通过一对电极之间，提升了电极间的气体流速，保证了气体激光装置的性能。
[0009]根据本技术实施例的第一方面，提供一种激光腔室，其设置在气体激光装置中，所述激光腔室包括：壳体，其内部填充有激光气体；第1放电电极，其设置在所壳体的内部；第2放电电极，其设置在所述壳体的内部并且与所述第1放电电极相对；风扇，其产生使激光气体在所述壳体的内部循环的气流，并且，所述激光气体在所述第1放电电极与所述第
2放电电极之间流过；第1引导部，其设置在所述第1放电电极的激光气体流动的下游侧；以及第2引导部，其设置在所述第2放电电极的激光气体流动的下游侧，所述第1引导部和所述第2引导部在所述第1放电电极和所述第2放电电极的放电方向上相对的设置，所述第1引导部具有引导所述激光气体的第1引导面和第2引导面，所述第2引导面位于所述第1引导面的激光气体流动的下游侧，并且所述第1引导面与所述放电方向之间的角度大于所述第2引导面与所述放电方向之间的角度。
[0010]根据本技术实施例的第二方面，其中，所述第1引导面与所述放电方向之间的角度小于或等于90度。
[0011]根据本技术实施例的第三方面，其中，所述第2引导部具有引导所述激光气体的第3引导面和第4引导面，所述第4引导面位于所述第3引导面的激光气体流动的下游侧，并且所述第3引导面与所述放电方向之间的角度大于所述第4引导面与所述放电方向之间的角度。
[0012]根据本技术实施例的第四方面，其中，所述第3引导面与所述放电方向之间的角度小于或等于90度。
[0013]根据本技术实施例的第五方面，其中，所述第2引导部具有引导所述激光气体的第5引导面。
[0014]根据本技术实施例的第六方面，其中，所述激光腔室还包括：第3引导部，其设置在所述第1放电电极的激光气体流动的上游侧。
[0015]根据本技术实施例的第七方面，其中，所述第3引导部具有引导所述激光气体的第6引导面。
[0016]根据本技术实施例的第八方面，提供一种气体激光装置，所述气体激光装置包括：本技术实施例的第一方面至第七方面中的任一方面所述的激光腔室；电源，其与所述激光腔室的内部的第1放电电极和第2放电电极连接；以及谐振器，其以夹着所述激光腔室的方式设置。
[0017]本技术的有益效果之一在于：通过将放电电极下流测的引导部设计为具有两个不同角度的引导面，其中位于上游侧的引导面与放电方向之间的角度大于位于下游的引导面与放电方向之间的角度，即使在电极突出于引导部的情况下，通过上述引导面，激光气体在附壁效应的作用下沿着该引导面而外扩流动，从而使得大量的激光气体能够快速通过一对放电电极之间，提升了电极间的气体流速，保证了气体激光装置的性能。
[0018]参照后文的说明和附图，详细公开了本技术的特定实施方式，指明了本技术的原理可以被采用的方式。应该理解，本技术的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本技术的实施方式具有许多改变、修改和等同。
[0019]针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。
[0020]应该强调，术语“具有/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。
附图说明
[0021]所具有的附图用来提供对本技术实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本技术的实施方式，并与文字描述一起来阐释本技术的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
[0022]图1是现有的激光腔室内的引导部件的一示意图；
[0023]图2是现有的激光腔室内的激光气体流过电极的一示意图；
[0024]图3是本技术实施例的气体激光装置的结构的一示意图；
[0025]图4是本技术实施例的气体激光装置的部分结构的另一角度的一示意图；
[0026]图5是图4中的区域A中的部分结构的一放大图；
[0027]图6是本技术实施例的第1引导部15的另一示意图；
[0028]图7是本技术实施例的第1引导部15与第2引导部16的另一示意图；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光腔室，其设置在气体激光装置中，其特征在于，所述激光腔室包括：壳体，其内部填充有激光气体；第1放电电极，其设置在所壳体的内部；第2放电电极，其设置在所述壳体的内部并且与所述第1放电电极相对；风扇，其产生使激光气体在所述壳体的内部循环的气流，并且，所述激光气体在所述第1放电电极与所述第2放电电极之间流过；第1引导部，其设置在所述第1放电电极的激光气体流动的下游侧；以及第2引导部，其设置在所述第2放电电极的激光气体流动的下游侧，所述第1引导部和所述第2引导部在所述第1放电电极和所述第2放电电极的放电方向上相对的设置，所述第1引导部具有引导所述激光气体的第1引导面和第2引导面，所述第2引导面位于所述第1引导面的激光气体流动的下游侧，并且所述第1引导面与所述放电方向之间的角度大于所述第2引导面与所述放电方向之间的角度。2.根据权利要求1所述的激光腔室，其特征在于，所述第1引导面与所述放电方向之间的角度小于或等于90度。3.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中诚，西埜阳祐，嘉藤真英，
申请(专利权)人：极光先进雷射株式会社，
类型：新型
国别省市：