【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于纳米级位移输出及定位
，具体地说是一种利用压电陶瓷驱动 的二维非耦合纳米级运动平台机构。该平台机构在两个一维压电陶瓷驱动器的驱动下，可 以实现二维非耦合的纳米级运动。
技术介绍
随着纳米技术的兴起和迅猛发展，高精度，高分辨率，高可靠性的纳米级运动平台 系统在微机电系统、纳米制造技术、微电子及纳米电子技术、纳米生物工程等众多高科技领 域将发挥越来越重要的作用。传统用于纳米级运动平台的机构形式主要有机械传动式(如滑动导轨和滚动导 轨等)、摩擦传动式、弹性变形式、压电元件式等。但普遍存在着位移分辨率低、有间隙或多 维运动耦合等问题。因而在研究精确纳米操作、加工、装配技术上受到了很大的制约。
技术实现思路
针对上述存在的技术问题，为了实现二维非耦合、无间隙纳米尺度位移输出及定 位，本专利技术提供一种基于压电陶瓷驱动的二维非耦合纳米级运动平台机构。本专利技术采用的技术方案如下一种二维非耦合纳米级运动平台机构，包括动平台及内外框架，之间通过柔性导 向连接筋板交错连接构成一体化结构，即内框架的一对称边框与动平台间连接有柔性导 向连接筋板，另一对称边框与外边框间...
【技术保护点】
一种二维非耦合纳米级运动平台机构，其特征在于：包括动平台及内外框架，之间通过柔性导向连接筋板交错连接构成一体化结构，即：内框架的一对称边框与动平台间连接有柔性导向连接筋板，另一对称边框与外边框间连接有柔性导向连接筋板；在动平台与内边框及内外边框间的另一对边框上分别对称设有压电陶瓷驱动器和预紧驱动弹簧，压电陶瓷驱动器与外控制器连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：董再励，刘柱，丁晓辉，周磊，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳自动化研究所，
类型：发明
国别省市：89
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