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一种二维非耦合纳米级运动平台机构,属于纳米级位移输出及定位技术领域。包括动平台及内外框架,之间通过柔性导向连接筋板交错连接构成一体化结构,即:内框架的一对称边框与动平台间连接有柔性导向连接筋板,另一对称边框与外边框间连接有柔性导向连接筋板;...该专利属于中国科学院沈阳自动化研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院沈阳自动化研究所授权不得商用。
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一种二维非耦合纳米级运动平台机构,属于纳米级位移输出及定位技术领域。包括动平台及内外框架,之间通过柔性导向连接筋板交错连接构成一体化结构,即:内框架的一对称边框与动平台间连接有柔性导向连接筋板,另一对称边框与外边框间连接有柔性导向连接筋板;...